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SiC高温激活退火炉反应室的温场均匀性研究
1
作者
周铁
吴永明
张毅
《机床与液压》
北大核心
2024年第2期181-186,共6页
SiC高温激活退火炉反应室的温度高、结构复杂,通工艺气体时易导致反应室内温度不均匀,影响产品质量。为获得高均匀温场的反应室,根据退火炉的设备数据建立反应室的物理模型;基于固体和流体传热、表面对表面辐射传热模型等,应用COMSOL Mu...
SiC高温激活退火炉反应室的温度高、结构复杂,通工艺气体时易导致反应室内温度不均匀,影响产品质量。为获得高均匀温场的反应室,根据退火炉的设备数据建立反应室的物理模型;基于固体和流体传热、表面对表面辐射传热模型等,应用COMSOL Multiphysics6.0系统构建退火炉反应室仿真模型。通过改变工艺管、衬管结构,优化加热器距离、气体流量、隔热屏高度等参数来模拟退火炉反应室的温度分布情况。仿真结果表明:将工艺管和衬管设计为嵌套结构,加热器距离为9 mm、流量为25 L/min、隔热屏高度为178 mm时,最大温差由340℃降至±4℃,反应室内温场均匀性达到最优。
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关键词
退火反应室
高均匀温场
COMSOL
Multiphysics6.0系统
仿真分析
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职称材料
题名
SiC高温激活退火炉反应室的温场均匀性研究
1
作者
周铁
吴永明
张毅
机构
广东工业大学机电工程学院
出处
《机床与液压》
北大核心
2024年第2期181-186,共6页
基金
产学研合作研发项目。
文摘
SiC高温激活退火炉反应室的温度高、结构复杂,通工艺气体时易导致反应室内温度不均匀,影响产品质量。为获得高均匀温场的反应室,根据退火炉的设备数据建立反应室的物理模型;基于固体和流体传热、表面对表面辐射传热模型等,应用COMSOL Multiphysics6.0系统构建退火炉反应室仿真模型。通过改变工艺管、衬管结构,优化加热器距离、气体流量、隔热屏高度等参数来模拟退火炉反应室的温度分布情况。仿真结果表明:将工艺管和衬管设计为嵌套结构,加热器距离为9 mm、流量为25 L/min、隔热屏高度为178 mm时,最大温差由340℃降至±4℃,反应室内温场均匀性达到最优。
关键词
退火反应室
高均匀温场
COMSOL
Multiphysics6.0系统
仿真分析
Keywords
annealing reaction chamber
high uniform temperature field
COMSOL Multiphysics 6.0 system
simulation analysis
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SiC高温激活退火炉反应室的温场均匀性研究
周铁
吴永明
张毅
《机床与液压》
北大核心
2024
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