期刊导航
期刊开放获取
重庆大学
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
压电式高温液滴喷射元件研制
被引量：
1
1
作者
邹凯
张文斌
+8 位作者
关胜
孙海轶
彭凯伦
邹家杰
李学红
王成
冷雨欣
梁瑞虹
周志勇
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第8期987-988,共2页
极紫外(Extreme ultra-violet,EUV)光刻机光源主要采用激光产生等离子体技术,用高功率激光轰击锡液滴靶产生13.5 nm波长的EUV光。其中,基于逆压电效应的压电式高温锡液滴喷射元件是获取高重频高温锡液滴靶的关键部件。本项工作突破了耐...
极紫外(Extreme ultra-violet,EUV)光刻机光源主要采用激光产生等离子体技术,用高功率激光轰击锡液滴靶产生13.5 nm波长的EUV光。其中,基于逆压电效应的压电式高温锡液滴喷射元件是获取高重频高温锡液滴靶的关键部件。本项工作突破了耐250℃高温微细压电陶瓷管的组成设计和精细制备,以及高温锡液滴喷射元件的结构设计和封装等关键技术,成功研制了压电式高温液滴喷射元件。并通过自主搭建高温锡液滴靶光学检测平台,基于此高温液滴喷射元件实现了重复频率20 kHz,直径~100μm的高温锡液滴靶的稳定输出。
展开更多
关键词
极紫外光刻
微细压电陶瓷管
高温液滴发生器
高温
压电陶瓷
下载PDF
职称材料
题名
压电式高温液滴喷射元件研制
被引量：
1
1
作者
邹凯
张文斌
关胜
孙海轶
彭凯伦
邹家杰
李学红
王成
冷雨欣
梁瑞虹
周志勇
机构
中国科学院大学
中国科学院上海硅酸盐研究所
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第8期987-988,共2页
基金
上海市科委集成电路科技支撑专项项目(20501110100)。
文摘
极紫外(Extreme ultra-violet,EUV)光刻机光源主要采用激光产生等离子体技术,用高功率激光轰击锡液滴靶产生13.5 nm波长的EUV光。其中,基于逆压电效应的压电式高温锡液滴喷射元件是获取高重频高温锡液滴靶的关键部件。本项工作突破了耐250℃高温微细压电陶瓷管的组成设计和精细制备,以及高温锡液滴喷射元件的结构设计和封装等关键技术,成功研制了压电式高温液滴喷射元件。并通过自主搭建高温锡液滴靶光学检测平台,基于此高温液滴喷射元件实现了重复频率20 kHz,直径~100μm的高温锡液滴靶的稳定输出。
关键词
极紫外光刻
微细压电陶瓷管
高温液滴发生器
高温
压电陶瓷
Keywords
EUV lithography
micro piezoelectric ceramic tube
piezoelectric high-temperature nozzle
hightemperature piezoelectric ceramic
分类号
TQ174 [化学工程—陶瓷工业]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电式高温液滴喷射元件研制
邹凯
张文斌
关胜
孙海轶
彭凯伦
邹家杰
李学红
王成
冷雨欣
梁瑞虹
周志勇
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
