266 nm纳秒固体激光在PS上打孔的工艺实验研究

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作者 齐立涛 李存涛 刘凤聪 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期513-519,共7页

为了研究266 nm纳秒固体激光在聚苯乙烯(PS)上打孔的材料去除机理、工艺规律和优化工艺参数,采用了单因素实验法和正交实验法进行了单脉冲和多脉冲打孔的实验研究。分析了材料的去除机理,得到了脉冲数量、脉冲能量以及离焦量对微孔直径... 为了研究266 nm纳秒固体激光在聚苯乙烯(PS)上打孔的材料去除机理、工艺规律和优化工艺参数,采用了单因素实验法和正交实验法进行了单脉冲和多脉冲打孔的实验研究。分析了材料的去除机理,得到了脉冲数量、脉冲能量以及离焦量对微孔直径和深度的影响规律,获得了满足要求的工艺参数的优化组合。结果表明,单脉冲打孔条件下,脉冲能量为0.110 mJ时加工出的微孔形状规则、圆度较好以及重铸层宽度较小,脉冲能量为0.500 mJ时,加工出的微孔形状和圆度质量变差,重铸层宽度增大;多脉冲打孔条件下,脉冲能量为0.040 mJ时,加工出的通孔入口处无重铸层,去除机理以光化学作用为主,脉冲能量为0.390 mJ时,加工出的通孔入口处重铸层较为明显,且入口边缘出现过烧蚀现象,去除机理以光热作用为主;脉冲能量和离焦量对孔径影响较大,脉冲数量和正离焦量对孔深影响较大;正交实验得到的优化参数组合为脉冲数量50、脉冲能量0.021 mJ、离焦量0μm时,可以加工出质量较好的微孔。本研究为266 nm纳秒激光加工聚苯乙烯靶球提供了参考依据。 展开更多

关键词 激光技术 材料去除机理 工艺实验 266 nm纳秒激光 聚苯乙烯 微孔

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高功率266 nm全固态单频连续波激光器研究进展 被引量：1

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作者 王华行 毛佳佳 +7 位作者 叶帅 胡平 周雪 聂鸿坤 李涛 张百涛 何京良 杨克建 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第4期63-73,共11页

高功率单频连续波266 nm激光在大容量信息存储、高分辨光谱监测及高精度紫外光刻等领域具有重要应用价值,近年来已成为国内外紫外激光领域的研究热点之一。文中首先综合比较了用于产生高功率266 nm紫外激光的非线性光学晶体基本性能,并... 高功率单频连续波266 nm激光在大容量信息存储、高分辨光谱监测及高精度紫外光刻等领域具有重要应用价值,近年来已成为国内外紫外激光领域的研究热点之一。文中首先综合比较了用于产生高功率266 nm紫外激光的非线性光学晶体基本性能,并根据主要的激光器频率锁定方法,重点分析了H?nsch-Couillaud(H-C)频率锁定和Pound-Drever-Hall(PDH)频率锁定方法的优缺点以及连续波单频266 nm激光器发展现状,介绍了本课题组最新研究成果,即基于H-C频率锁定方法实现了功率1.1 W的单频连续波266 nm紫外激光稳定输出。最后,针对进一步提升全固态单频连续波266 nm激光器性能亟需解决的问题和可能解决路径进行了简要分析和展望。 展开更多

关键词 全固态单频连续波激光器 266 nm 共振增强 频率锁定

原文传递

单脉冲266 nm固体激光烧蚀蓝宝石的工艺和机理 被引量：2

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作者 齐立涛 李雪 刘亚升 《黑龙江科技大学学报》 CAS 2020年第4期416-421,464,共7页

为探讨266 nm纳秒固体激光单脉冲烧蚀蓝宝石的机理,通过改变激光能量研究烧蚀微孔的尺寸和质量,采用原子力显微镜表征烧蚀微孔,确定激光脉冲能量和微孔直径的关系,得到266 nm纳秒激光烧蚀蓝宝石的阈值,给出了微孔的直径和深度随激光能... 为探讨266 nm纳秒固体激光单脉冲烧蚀蓝宝石的机理,通过改变激光能量研究烧蚀微孔的尺寸和质量,采用原子力显微镜表征烧蚀微孔,确定激光脉冲能量和微孔直径的关系,得到266 nm纳秒激光烧蚀蓝宝石的阈值,给出了微孔的直径和深度随激光能量的变化关系。结果表明,微孔的直径和深度随激光能量密度的增加而增加。低能量密度烧蚀蓝宝石时,具有较高的烧蚀质量,随着能量密度的增加,烧蚀质量变差。低能量密度时以光化学作用为主,高能量密度时以光热作用为主,存在光化学和光热共同作用的过渡区域。 展开更多

关键词 266 nm纳秒固体激光 蓝宝石 烧蚀阈值 烧蚀机理 单脉冲

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266nm激光光解C2H5SSC2H5产物的激光诱导荧光光谱 被引量：3

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作者 郝海燕 刘振 祖莉莉 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2015年第11期2029-2035,共7页

有机硫化物是大气主要污染物之一,其在大气中的光解产物还将造成二次污染,除了存在于有机硫化物中,S―S键还存在于胱氨酸等蛋白质中,S―S键的形成和断裂决定该类蛋白质的活性.本工作中,我们研究了用实验室常见的Nd:YAG激光器的四倍频266... 有机硫化物是大气主要污染物之一,其在大气中的光解产物还将造成二次污染,除了存在于有机硫化物中,S―S键还存在于胱氨酸等蛋白质中,S―S键的形成和断裂决定该类蛋白质的活性.本工作中,我们研究了用实验室常见的Nd:YAG激光器的四倍频266 nm激光光解C2H5SSC2H5过程,通过激光诱导荧光(LIF)光谱方法检测乙硫自由基C2H5S等光解产物.实验表明266 nm激光主要光解C2H5SSC2H5的S―S键产生C2H5S自由基.本文应用密度泛函理论的Becke3-Lee-Yang-Parr泛函(B3LYP方法)得到C2H5SSC2H5的S―S键、C―S键和C―C键的解离势能曲线,可知在266 nm光解条件下,C2H5SSC2H5在基态能够发生S―S键、C―S键解离,C―C键不发生解离.本文采用全活化空间自洽场(CASSCF)方法优化得到态和态的C2H5S自由基结构及其跃迁的绝热激发能,以辅助解析实验检测的C2H5S自由基的LIF光谱.实验结合理论计算最终得出,本实验266 nm光解条件下,C2H5SSC2H5主要发生S―S键解离,不排除少量分子发生C―S键解离的可能性. 展开更多

关键词 C2H5S自由基 266 nm光解 S―S键解离 绝热激发能 LIF光谱

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266nm紫外固体激光切割碳纤维复合材料的实验研究 被引量：3

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作者 齐立涛 刘凤聪 张耀东 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第3期402-407,共6页

为了研究266nm紫外固体激光切割碳纤维增强复合材料(CFRP)的工艺规律,采用单因素实验法、正交实验法和多元线性回归分析法,进行了266nm紫外固体激光切割CFRP的实验研究,得出了激光脉冲能量、扫描速率对切缝宽度和热影响区宽度的影响规... 为了研究266nm紫外固体激光切割碳纤维增强复合材料(CFRP)的工艺规律,采用单因素实验法、正交实验法和多元线性回归分析法,进行了266nm紫外固体激光切割CFRP的实验研究,得出了激光脉冲能量、扫描速率对切缝宽度和热影响区宽度的影响规律。结果表明,切缝宽度和热影响区宽度随激光脉冲能量的增大而增大,随扫描速率的增大而减小;实验中最小热影响区宽度为82μm,最小切缝宽度为50μm;激光扫描速率对切缝宽度影响的显著性水平更高,而激光脉冲能量对热影响区宽度影响的显著性水平更高;所获得的经验公式能够定量描述切缝宽度、热影响区宽度与激光脉冲能量、扫描速率之间的关系。本研究对266nm紫外固体激光切割CFRP的应用具有一定的参考意义。 展开更多

关键词 激光技术 工艺规律 正交实验 266nm紫外固体激光 激光切割 碳纤维增强复合材料切割

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266nm纳秒固体激光在CH薄膜上打孔的工艺实验研究 被引量：2

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作者 齐立涛 刘凤聪 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第6期767-772,共6页

为了研究266nm纳秒固体激光在CH膜上打孔的工艺规律和材料去除机理,采用单因素控制变量的方法,进行了单脉冲和多脉冲打孔的实验研究,分析了266nm纳秒固体激光对CH膜材料的去除机理;取得了激光脉冲能量、脉冲数量对孔径和孔深影响规律的... 为了研究266nm纳秒固体激光在CH膜上打孔的工艺规律和材料去除机理,采用单因素控制变量的方法,进行了单脉冲和多脉冲打孔的实验研究,分析了266nm纳秒固体激光对CH膜材料的去除机理;取得了激光脉冲能量、脉冲数量对孔径和孔深影响规律的数据。结果表明,单脉冲打孔条件下,当激光脉冲能量为0.014mJ时,微孔直径和深度最小,当激光脉冲能量为0.326mJ时,微孔直径和深度最大,孔径和孔深随着激光脉冲能量的增大而增大;多脉冲打孔条件下,当激光脉冲能量较低时,激光对CH膜的单脉冲烧蚀率约为0.56μm/pulse,当激光脉冲能量较高时,激光对CH膜的单脉冲烧蚀率约为1μm/pulse,孔径和孔深随着激光脉冲数量的增加而增大;266nm纳秒固体激光在CH膜上打孔时的微孔形状规则,大小均匀,微孔周围无残渣、碎屑等抛出物,边缘无热影响区,可推断其材料去除机理主要为“光化学蚀除”。该研究对266nm纳秒固体激光加工CH膜的应用具有一定的参考意义。 展开更多

关键词 激光技术 激光加工CH膜 工艺实验 266nm纳秒固体激光 微孔 烧蚀特征 材料去除

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266nm激光光解间氟溴苯和对氟溴苯(英文)

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作者 谷希斌 王光俊 +4 位作者 黄建华 陈茂笃 韩克利 何国钟 楼南泉 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2000年第12期1062-1066,共5页

采用 266 nm紫外激光对间氟溴苯和对氟溴苯进行了光解动力学研究，在多个角度探测了光解碎片 Br和 C6H4F的时间飞渡谱 (TOF).从光解碎片的平动能分布 P(Et)可以得到：间氟溴苯和对氟溴苯大约有 46.8％和 41.7％的可资用能分配到碎片的... 采用 266 nm紫外激光对间氟溴苯和对氟溴苯进行了光解动力学研究，在多个角度探测了光解碎片 Br和 C6H4F的时间飞渡谱 (TOF).从光解碎片的平动能分布 P(Et)可以得到：间氟溴苯和对氟溴苯大约有 46.8％和 41.7％的可资用能分配到碎片的平动能，其余的分配到碎片的内能；且各向异性参数被确定为 0.7和－ 0.4.为了更好地解释实验结果，我们利用从头计算方法对反应体系进行了计算，并与实验结果吻合 .由此，我们提出了比较合理的光解机理且对氟原子的取代效应进行了讨论 . 展开更多

关键词 266nm激光光解 间氟溴苯 对氟溴苯

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紧凑型全固态266nm脉冲激光器

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作者 张辰 高兰兰 邵志强 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期491-495,共5页

报道了利用激光二极管端面抽运Nd∶YAG晶体,通过Cr4+∶YAG晶体可饱和吸收被动调Q,KTP晶体腔外倍频及BBO晶体腔外四倍频,实现266 nm连续脉冲输出。简要分析了被动调Q基本原理,计算并模拟了1064 nm基频光在理想状态下Cr4+∶YAG晶体不同初... 报道了利用激光二极管端面抽运Nd∶YAG晶体,通过Cr4+∶YAG晶体可饱和吸收被动调Q,KTP晶体腔外倍频及BBO晶体腔外四倍频,实现266 nm连续脉冲输出。简要分析了被动调Q基本原理,计算并模拟了1064 nm基频光在理想状态下Cr4+∶YAG晶体不同初始透过率对脉冲激光单脉冲能量的影响。LD抽运功率为4.8 W时,得到266 nm紫外激光平均输出功率为5.63 mW,单脉冲能量约为0.5μJ。在紧凑型毫瓦级266 nm激光器实用化方面取得了一定进展。 展开更多

关键词 全固态 脉冲 倍频

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实用化266nm紫外激光器的研究 被引量：5

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作者 赵书云 肖磊 +2 位作者 王旭 张弛 刘磊 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2012年第8期883-886,共4页

报道了LD端面泵浦Nd∶YVO4晶体、声光调Q 1064 nm准连续紫外激光,采用LBO晶体和BBO晶体分别进行腔内二倍频和腔外四倍频,从而获得266 nm紫外激光输出,脉冲宽度22 ns、重复频率为20 kHz、平均功率1.12 W,光-光转换效率(532～266 nm)21.37%。

关键词 266nm紫外激光 二次谐波 四次谐波

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关于266nm紫外激光器的探究 被引量：1

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作者 董野 《通讯世界（下半月）》 2015年第12期313-314,共2页

266nm紫外激光器具有的高效率、全固化、工作稳定、使用年限长等优势,使得其近年来在诸多领域内得到了很好的应用。现已成为国际上众多激光器研究学者关注的焦点和未来激光器发展的热点。围绕着266nm紫外激光器,本文主要介绍了紫外激光... 266nm紫外激光器具有的高效率、全固化、工作稳定、使用年限长等优势,使得其近年来在诸多领域内得到了很好的应用。现已成为国际上众多激光器研究学者关注的焦点和未来激光器发展的热点。围绕着266nm紫外激光器,本文主要介绍了紫外激光的特点与应用领域,266nm紫外激光器倍频的基本原理与实验装置,并对实验结果进行了详细分析。 展开更多

关键词 266nm 紫外激光器 研究 实验

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The o-chlorotoluene photodissociation at 266 nm

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作者 邓伟侨 詹际平 +2 位作者 韩克利 何国钟 楼南泉 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 1998年第5期471-478,共8页

Based on the ab initio calculation results, the hydrogen atom transfer has been investigated. In order to explain the experimental results, a new mechanism is proposed, that is, hydrogen transfer occurs before but not... Based on the ab initio calculation results, the hydrogen atom transfer has been investigated. In order to explain the experimental results, a new mechanism is proposed, that is, hydrogen transfer occurs before but not after Cl atom eliminates from aromatic ring. The calculation result strongly supports this mechanism. 展开更多

关键词 o \|chlorotoluene PHOTODISSOCIATION at 266 nm transfer of H ATOM energy barrier B3LYP ab INITIO calculation.

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Two-photon Dissociation Study of Carbon Disulfide in Acetonitrile at 266 nm

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作者 房豪杰 张仁熙 +3 位作者 欧阳彬 朱承驻 董文博 侯惠奇 《Chinese Journal of Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2006年第1期146-148,共3页

用为在在 266 nm 的 acetonitrile 答案的碳二硫化物的二光子光致离解的学习的激光闪光 photolysis/transient 吸收技术，在有在 260 nm 的最大的吸收的 240370 nm 和随后的分离产品 CS ( 3 )以内的 Rydberg 州的 CS2 ( 6sg )的短暂... 用为在在 266 nm 的 acetonitrile 答案的碳二硫化物的二光子光致离解的学习的激光闪光 photolysis/transient 吸收技术，在有在 260 nm 的最大的吸收的 240370 nm 和随后的分离产品 CS ( 3 )以内的 Rydberg 州的 CS2 ( 6sg )的短暂紫外力的吸收光谱直接被观察。在氮和氧的 CS (3 ) 的一生浸透了溶液也在我们的实验被学习。 展开更多

关键词 光子分裂 碳 二硫化物 乙腈 光化学

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实用化全固态266nm激光器的研究 被引量：11

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作者 耿爱丛 张鸿博 +4 位作者 王桂玲 薄勇 许祖彦 王晓青 沈德忠 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期767-769,共3页

报道了W级实用化全固态266nm紫外激光器的设计和应用。在简单紧凑的平平直腔内,使用声光Q进行调制,通过LD端面抽运Nd:YVO4激光晶体产生平均功率8W的1064nm近红外光。采用Ⅱ类临界相位匹配的KTP晶体进行腔内倍频,产生平均功率5W的532nm... 报道了W级实用化全固态266nm紫外激光器的设计和应用。在简单紧凑的平平直腔内,使用声光Q进行调制,通过LD端面抽运Nd:YVO4激光晶体产生平均功率8W的1064nm近红外光。采用Ⅱ类临界相位匹配的KTP晶体进行腔内倍频,产生平均功率5W的532nm绿光。然后,采用Ⅰ类临界相位匹配CsLiB6O10(CLBO)晶体进行腔外四倍频,产生平均功率1.3W、脉宽约11ns和重复频率20kHz的266nm紫外激光。用该紫外激光器清洗发光二极管(LED)基板,结果表明:激光器性能稳定,清洗效果良好。 展开更多

关键词 激光技术 全固态266nm激光器 四倍频 ND:YVO4 CsLiB6O10(CLBO) 紫外光

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二极管泵浦Nd∶GdVO_4晶体紫外激光器的研究 被引量：10

14

作者 范秀伟 王云 +2 位作者 彭倩倩 刘杰 何京良 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期331-334,共4页

报道了用BBO晶体对激光二极管泵浦Nd∶GdVO4晶体声光调Q1064nm激光进行四倍频,在泵浦功率为12.5W时,获得平均功率196mW准连续波266nm紫外激光输出,1064nm^266nm光-光转换效率为10.1%,532nm^266nm转换效率为30.1%。

关键词 266nm紫外激光 四倍频 全固态

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全固态连续单频266nm深紫外激光器 被引量：2

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作者 赵彪 秦玮霞 +1 位作者 李凤琴 卢华东 《量子光学学报》 北大核心 2020年第2期194-201,共8页

采用I类角度匹配的BBO晶体外腔倍频全固态连续单频532 nm绿光激光器,设计了紧凑稳定的四镜环形倍频腔结构,利用腔外偏振锁腔的方式,实现了高光束质量、高转换效率的全固态连续单频266 nm深紫外激光器。泵浦功率为3 W、输出镜在532 nm处... 采用I类角度匹配的BBO晶体外腔倍频全固态连续单频532 nm绿光激光器,设计了紧凑稳定的四镜环形倍频腔结构,利用腔外偏振锁腔的方式,实现了高光束质量、高转换效率的全固态连续单频266 nm深紫外激光器。泵浦功率为3 W、输出镜在532 nm处定点透射率为2.5%时,获得了最大输出功率810 mW的紫外激光输出,当输出功率稳定在730 mW时,长期功率稳定性三小时内优于±1.5%,光束质量因子M^2<1.5。 展开更多

关键词 全固态 266nm深紫外激光器 单频 连续波

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紫外激光解离气相(η_6-C_6H_6)Cr(CO)_3分子的瞬态红外光谱研究

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作者 王文华 金佩 +2 位作者 刘延伟 佘永柏 傅克坚 《量子电子学报》 CAS CSCD 1992年第1期21-22,共2页

由于有机金属化合物的光催化活性,近年来有机金属化合物的光化学研究引起了人们极大的兴趣。本文用瞬态红外吸收光谱技术比较详细地研究了气相（η⁶-C₆H₆）Cr（C... 由于有机金属化合物的光催化活性,近年来有机金属化合物的光化学研究引起了人们极大的兴趣。本文用瞬态红外吸收光谱技术比较详细地研究了气相（η⁶-C₆H₆）Cr（CO）₃分子的355nm和266nm激光解离过程。 紫外解离光源（355nm和266nm）由Nd:YAG激光器输出经三倍和四倍频而获得。激光的脉冲宽度约为5ns,重复频率为3Hz,通常使用的能量密度为2—5mJ/cm²。 展开更多

关键词 激光解离 有机金属化合物 光谱研究 中国科学院 266nm激光 反应动力学 物理研究所 红外 ND:YAG激光器 光催化活性

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