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基于正交试验Ti_(0.33)Al_(0.67)N膜层制备工艺研究 被引量：2
1
作者 张会霞 刘崇林 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2013年第14期113-114,119,共3页
选用纯Ti靶与Ti0.33Al0.67合金靶制备Ti0.33Al0.67N膜层,在对基体材料进行离子渗氮之后,采用正交试验对多弧离子镀中的工艺参数进行优化,通过观察膜层结合力、表面形貌、显微硬度和膜层厚度选择最佳的工艺参数。
关键词 多弧离子镀 Ti0 33al0 67N 正交试验
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Ti_(0.33)Al_(0.67)N复合梯度膜层的高温抗氧化性能 被引量：3
2
作者 张会霞 战宏伟 《有色金属工程》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期18-20,共3页
研究梯度Ti0.33Al0.67N膜层与其他膜层的高温抗氧化性能。结果表明,40Cr基体在300℃时已出现明显氧化。TiN膜层在500℃左右时开始出现氧化现象,导致膜层硬度、膜基结合力等性能显著下降。在800℃的氧化环境中,梯度Ti0.33Al0.67N膜层性... 研究梯度Ti0.33Al0.67N膜层与其他膜层的高温抗氧化性能。结果表明,40Cr基体在300℃时已出现明显氧化。TiN膜层在500℃左右时开始出现氧化现象,导致膜层硬度、膜基结合力等性能显著下降。在800℃的氧化环境中,梯度Ti0.33Al0.67N膜层性能最佳,TiN膜层出现明显氧化现象,40Cr基体氧化现象十分严重。梯度Ti0.33Al0.67N膜层的高温抗氧化性能比40Cr基体和TiN膜层优异,涂层适合应用于高温环境。 展开更多
关键词 材料科学与工程 复合梯度膜层 抗氧化性能 Ti0 33al0 67N
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工艺参数对Ti_(0.33)Al_(0.67)N梯度膜层形貌及性能的影响
3
作者 张会霞 杨建明 +1 位作者 冯光光 战宏伟 《有色金属工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期29-32,共4页
研究基体负偏压、氮分压及合金靶电流等工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层性能的影响。结果表明,Ti0.33Al0.67N梯度膜层随着各工艺参数的增大表面形貌得到改善、沉积率增大,当超过某一个值时,却随着参数的增加形貌恶劣、沉积率降低。工... 研究基体负偏压、氮分压及合金靶电流等工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层性能的影响。结果表明,Ti0.33Al0.67N梯度膜层随着各工艺参数的增大表面形貌得到改善、沉积率增大,当超过某一个值时,却随着参数的增加形貌恶劣、沉积率降低。工艺参数对膜层显微硬度影响的次序为:TiAl合金靶电流>基体负偏压>氮分压。对膜基结合力影响次序为:基体负偏压>氮分压>TiAl合金靶电流。在试验设计的参数水平范围内,在齿轮材料40Cr表面较优的镀覆工艺参数:基体负偏压150 V、TiAl靶电流60 A、氮分压0.5 Pa。 展开更多
关键词 梯度膜层 工艺参数 Ti0 33al0 67N
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