Al_2O_3基气敏元件反应过程中脱附量的研究

1

作者 余萍 肖定全 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2002年第6期77-79,共3页

气敏元件的性能不但与材料的显微结构有关,而且与气敏过程中氧化还原的产物及量的多少相关.针对此问题,借助于TGA热分析系统对3种不同晶粒尺寸的Al_2O_3基气敏元件在不同温度工作时的脱附量、吸附量进行了研究.

关键词 al2o3基气敏元件 反应过程 脱附量 传感器 吸附量

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α-Fe_2O_3基纳米陶瓷制备的CO气敏元件 被引量：1

2

作者 沈水发 刘宏 +2 位作者 施云波 陈耐生 黄金陵 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期193-195,共3页

报道了本课题组对α－Ｆｅ２Ｏ３基纳米陶瓷制备的ＣＯ气敏元件的中试工作，结果表明中试批量制得的元件能耗低、对ＣＯ有高的灵敏度、良好的选择性及稳定性，制件的成品率较高、成本低。现正着手准备工业规模生产。

关键词 Α-FE2o3 纳米陶瓷 气敏元件 中试 一氧化碳

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低功耗In_2O_3基LPG气敏元件 被引量：1

3

作者 詹自力 蒋登高 +1 位作者 宋文慧 常剑 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第5期31-32,36,共3页

采用In2O3超细粉体,掺杂Au和金属氧化物(SiO2,Fe2O3等),按照直热式气敏元件工艺制成珠状气敏元件,通过Al2O3 Pd的表面催化层处理,研制出功耗低于100mW(在空气中)的液化石油气(LPG)气敏元件。并分析了元件的气敏机理。

关键词 三氧化二铟 低功耗 液化石油气 气敏元件 IN2o3 LPG 气体传感器

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In_2O_3气敏元件的研制及影响因素的研究 被引量：4

4

作者 程知萱 潘庆谊 董晓雯 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期173-176,共4页

以氯化铟为前驱体,OP 10为形貌控制剂,采用溶胶凝胶法制备了纳米In2 O3粉体,并以TG DSC ,XRD ,TEM等多种手段对粉体进行了表征。以此粉体为气敏材料,采用涂敷烧结的方法制成旁热式气敏传感元件,研究了该元件对三甲胺(TMA)的检测性能,重... 以氯化铟为前驱体,OP 10为形貌控制剂,采用溶胶凝胶法制备了纳米In2 O3粉体,并以TG DSC ,XRD ,TEM等多种手段对粉体进行了表征。以此粉体为气敏材料,采用涂敷烧结的方法制成旁热式气敏传感元件,研究了该元件对三甲胺(TMA)的检测性能,重点讨论存在NH3干扰情况下的气敏性能。结果表明:3 5 0℃煅烧1h制备的In2 O3粉体,晶粒尺寸<2 0nm ,呈立方晶型;该粉体制成的气敏元件对TMA气体的检测灵敏度比起H2 ,C2 H5OH等气体要高的多,因此可用于选择性检测TMA ;此外,该元件对NH3也有一定的响应,进一步研究发现NH3存在对TMA检测的影响主要是NH3在In2 O3材料表面的吸附所至。掺杂Pd2 + 可提高In2 O3材料的检测灵敏度,降低检测温度;Pd2 +的掺杂量在质量分数0 .2 %～5 %PdCl2 In2 O3范围内变化对TMA检测灵敏度的影响不明显。 展开更多

关键词 气敏元件 纳米In2o3 三甲胺 NH3

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Fe_2O_3/ZnO复合氧化物气敏元件的制备与性能 被引量：1

5

作者 刘元隆 钟荣 胡继豹 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第12期104-106,共3页

以Fe2O3和ZnO为原料,直接混合烧结制得7种不同烧结温度和原料配比的Fe2O3/ZnO复合氧化物元件,并对其进行气敏性能测试,结果发现:不同烧结温度和原料配比的Fe2O3/ZnO复合氧化物元件对不同的气体有不同的气敏性,烧结温度为800℃,Fe2O3∶Zn... 以Fe2O3和ZnO为原料,直接混合烧结制得7种不同烧结温度和原料配比的Fe2O3/ZnO复合氧化物元件,并对其进行气敏性能测试,结果发现:不同烧结温度和原料配比的Fe2O3/ZnO复合氧化物元件对不同的气体有不同的气敏性,烧结温度为800℃,Fe2O3∶ZnO摩尔比为0.5∶1的气敏元件对硫化氢具有较好的气敏综合性能。 展开更多

关键词 复合氧化物 气敏元件 生态环境材料 FE2o3 ZNo

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载气及化学物质对稀土α-Fe_2O_3气敏元件灵敏度的影响 被引量：1

6

作者 陈慧兰 张雪琴 +1 位作者 刘新庆 狄春华 《传感器技术》 CSCD 1993年第3期11-14,共4页

测定了掺La_2O_3,CeO_2,Pr_6O_(11),Nd_2O_3稀土氧化物的α-Fe_2O_3元件在不同载气(空气、纯氧和纯氮)中对于煤气的灵敏度以及在空气中对于烷烃、烯烃、炔烃、醇类、芳环及杂环等化学物质的灵敏度变化。根据半导体气敏元件的吸附氧机理... 测定了掺La_2O_3,CeO_2,Pr_6O_(11),Nd_2O_3稀土氧化物的α-Fe_2O_3元件在不同载气(空气、纯氧和纯氮)中对于煤气的灵敏度以及在空气中对于烷烃、烯烃、炔烃、醇类、芳环及杂环等化学物质的灵敏度变化。根据半导体气敏元件的吸附氧机理对上述现象和规律进行了讨论。 展开更多

关键词 FE2o3 气敏元件 吸附氧机理

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Al_2O_3掺杂ZnO纳米粉体的制备及气敏特性研究 被引量：4

7

作者 田野 潘国峰 杨瑞霞 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第3期11-14,共4页

采用sol-gel法制备了w（Al2O3）为2%-4%的Al2O3-ZnO纳米粉体,利用XRD和SEM等测试手段分析了粉体的微观结构。研究了Zn2＋浓度、pH值和清洗对粉体制备的影响。采用静态配气法测试了由所制粉体制成的气敏元件对丙酮、乙醇、甲醇等气体的... 采用sol-gel法制备了w（Al2O3）为2%-4%的Al2O3-ZnO纳米粉体,利用XRD和SEM等测试手段分析了粉体的微观结构。研究了Zn2＋浓度、pH值和清洗对粉体制备的影响。采用静态配气法测试了由所制粉体制成的气敏元件对丙酮、乙醇、甲醇等气体的气敏性能。结果表明：用该法得到的粉体材料颗粒粒径小,工作温度为160℃时,由w（Al2O3）为3%的粉体在700℃退火制得的气敏元件对体积分数为40%的丙酮的灵敏度最高可达到7 779,响应-恢复时间均为1s. 展开更多

关键词 ZNo al2o3 SoL-GEL法 气敏性能 灵敏度

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基于静电纺丝法制备Cd掺杂的In_2O_3纳米纤维及对甲醛的气敏特性研究

8

作者 申莎莎 《山西师范大学学报（自然科学版）》 2012年第2期39-43,共5页

本文采用了静电纺丝方法制备了Cd掺杂的In2O3复合纳米纤维,通过X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对纳米纤维材料进行了相关表征.研究了纯In2O3和另外两种不同Cd掺杂的In2O3纳米纤维材料制作的三种气敏元件对室内甲醛气体的气敏特性.结果... 本文采用了静电纺丝方法制备了Cd掺杂的In2O3复合纳米纤维,通过X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对纳米纤维材料进行了相关表征.研究了纯In2O3和另外两种不同Cd掺杂的In2O3纳米纤维材料制作的三种气敏元件对室内甲醛气体的气敏特性.结果表明在以摩尔比为1∶1复合时,用静电纺丝方法分别制备出In2O3和CdO纳米纤维后再按1∶1掺杂制作的气敏元件工作温度较低为280℃,在10 ppm时其响应可达13,响应/恢复时间为34 s/35 s;并且具有良好的选择性. 展开更多

关键词 静电纺丝 气敏元件 甲醛 IN2o3

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Al2O3基金属陶瓷材料在进气歧管注塑模具的应用研究

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作者 郭容 刘咸超 《南方农机》 2019年第20期161-162,共2页

轻质材料制造汽车零部件是实现汽车轻量化的有效途径之一。尼龙6添加玻纤增强的工程塑料在制造成型发动机进气歧管有较大的优势,主要体现在可成型复杂的结构、质轻、节能环保和效益好等方面。利用分片注塑模具成型的进气歧管性能优良,... 轻质材料制造汽车零部件是实现汽车轻量化的有效途径之一。尼龙6添加玻纤增强的工程塑料在制造成型发动机进气歧管有较大的优势,主要体现在可成型复杂的结构、质轻、节能环保和效益好等方面。利用分片注塑模具成型的进气歧管性能优良,且制造成本低,生产效率高。模具的材料性能是影响生产质量和模具寿命重要因素之一,模具的材料选用应充分考虑PA6/GF进气歧管注塑模具的各项影响因素,注重开发新型模具材料,做到合理选材,文章对Al2O3基金属陶瓷材料在进气歧管注塑模具的应用展开了研究。 展开更多

关键词 al2o3基复合金属陶瓷 模具材料 进气歧管

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基于高岭土多孔基板的In2O3微米梳制备及其气敏性能 被引量：2

10

作者 卢瑞 钟祥熙 +4 位作者 殷尧禹 李昂 魏德洲 沈岩柏 张云海 《金属矿山》 CAS 北大核心 2019年第8期185-191,共7页

采用模压-烧结法制备高岭土多孔基板,考察烧结温度对高岭土多孔基板表面形貌与孔隙结构的影响,通过热蒸发法在高岭土多孔基板上制备出In2O3微米材料,并采用XRD、SEM、FTIR、阿基米德排水法等检测手段考察多孔基板及In2O3微米材料的形貌... 采用模压-烧结法制备高岭土多孔基板,考察烧结温度对高岭土多孔基板表面形貌与孔隙结构的影响,通过热蒸发法在高岭土多孔基板上制备出In2O3微米材料,并采用XRD、SEM、FTIR、阿基米德排水法等检测手段考察多孔基板及In2O3微米材料的形貌与结构。结果表明,在烧结温度1 200℃时所获高岭土多孔基板的孔径尺寸在45μm左右,显气孔率为32.71%,体积密度为1.48 g/cm^3,抗弯强度为15.08 MPa。在该多孔基板上所制备的In2O3产物呈梳状结构,梳齿直径和长度分别在1~10μm和20~80μm范围内,梳柄长度约为1 mm,结晶良好。对In2O3微米梳的气敏检测结果表明:In2O3微米梳对NO2气体具有良好的选择性、可逆性和重复性;其对浓度为0.001%的NO2气体的灵敏度随着工作温度的升高呈先升高后降低的趋势,响应时间和恢复时间随之减少,且在最佳工作温度200℃时达到最大值,为44.4,此时的响应时间和恢复时间分别为21 s和106 s;In2O3微米梳对NO2气体的灵敏度随着NO2浓度的增加而增加,两者之间呈线性相关,响应时间随着NO2浓度的增加而缩短,恢复时间则随之增长。 展开更多

关键词 高岭土多孔基板 In2o3微米材料 No2气敏特性

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SnO_2-La_2O_3复合膜/玻璃光波导气敏元件与性能研究 被引量：2

11

作者 努尔比亚.衣布拉音 海日沙.阿不来提 +1 位作者 热扎克.卡地尔 阿布力孜.伊米提 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第8期12-14,共3页

研制了掺有不同质量分数La2O3的SnO2复合薄膜,并测定了该薄膜和各种挥发性有机物饱和蒸气接触前后的的吸光度变化,其中含有3.0%La2O3的SnO2薄膜在氯苯蒸气气氛中的吸光度变化较大。选用3.0%La2O3的SnO2复合薄膜作为敏感试剂固定在Sn掺... 研制了掺有不同质量分数La2O3的SnO2复合薄膜,并测定了该薄膜和各种挥发性有机物饱和蒸气接触前后的的吸光度变化,其中含有3.0%La2O3的SnO2薄膜在氯苯蒸气气氛中的吸光度变化较大。选用3.0%La2O3的SnO2复合薄膜作为敏感试剂固定在Sn掺杂玻璃光波导表面,研制出一种光波导气敏元件,并对氯苯蒸气进行了检测。室温下该敏感元件对于体积分数为4×10-6的氯苯蒸气有很明显响应。 展开更多

关键词 Sno2-La2o3复合膜 气敏元件 氯苯蒸气

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Y_2O_3-SnO_2常温气敏薄膜的Sol-Gel制备及性能研究 被引量：5

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作者 方国家 刘祖黎 +3 位作者 吉向东 王汉忠 黄宜军 姚凯伦 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期69-74,共6页

以无机盐ＳｎＣｌ２·２Ｈ２Ｏ，Ｙ（ＮＯ３）３·６Ｈ２Ｏ为原料，无水乙醇为溶剂，采用溶胶－凝胶工艺制备了Ｙ２Ｏ３掺杂的ＳｎＯ２薄膜．采用差热－失重分析研究了Ｙ２Ｏ３掺杂的ＳｎＯ２干凝胶粉末的热分解、晶化过程．研... 以无机盐ＳｎＣｌ２·２Ｈ２Ｏ，Ｙ（ＮＯ３）３·６Ｈ２Ｏ为原料，无水乙醇为溶剂，采用溶胶－凝胶工艺制备了Ｙ２Ｏ３掺杂的ＳｎＯ２薄膜．采用差热－失重分析研究了Ｙ２Ｏ３掺杂的ＳｎＯ２干凝胶粉末的热分解、晶化过程．研究了Ｙ２Ｏ３－ＳｎＯ２薄膜的电学和气敏性能．从实验中得到了Ｙ２Ｏ３掺杂份量对ＳｎＯ２薄膜电学及气敏性能的影响．实验表明Ｙ２Ｏ３掺杂的ＳｎＯ２薄膜在常温下对ＮＯｘ具有较好的灵敏度和选择性，并具有较好的响应恢复性能；在常温下对Ｈ２Ｓ气体也具有一定的灵敏度． 展开更多

关键词 sol-gel工艺 Y2o3-Sno2薄膜 制备 气敏元件 气

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高稳定性的γ－Fe_2O_3的合成及其气敏性能研究 被引量：4

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作者 曾桓兴 罗红梅 +1 位作者 张天舒 张瑞芳 《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第4期305-308,共4页

本文采用空气氛化Ｆｅ（ＣＯ＿３）＿ｘ（ＯＨ）＿（２（１－ｘ））悬浮液体系，控制体系的ｐＨ和掺入适量的钇元素，合成出纳米级铁黄γ－ＦｅＯＯＨ微晶。由ＤＴＡ－ＴＧ和ＸＲＤ分析得出，由γ－ＦｅＯＯＨ直接脱水得到的γ－Ｆｅ＿... 本文采用空气氛化Ｆｅ（ＣＯ＿３）＿ｘ（ＯＨ）＿（２（１－ｘ））悬浮液体系，控制体系的ｐＨ和掺入适量的钇元素，合成出纳米级铁黄γ－ＦｅＯＯＨ微晶。由ＤＴＡ－ＴＧ和ＸＲＤ分析得出，由γ－ＦｅＯＯＨ直接脱水得到的γ－Ｆｅ＿２Ｏ＿３样品，具有很好的热稳定性，其γ－α相变温度可达７２５℃，且粒径为纳米级，并具有很好的气敏灵敏度和选择性。６００℃烧结的气敏元件，对液化石油气（ＬＰＧ）的灵敏度Ｓ大于７０；而在７００℃下烧结的元件，对Ｃ＿２Ｈ＿２灵敏度Ｓ大于４０；它们均对选定测试的气体ＣＯ、Ｈ＿２、汽油（Ｐｅｔｒｏｌ）。Ｃ＿２Ｈ＿２和ＬＰＧ有很好的选择性。 展开更多

关键词 气敏元件 r-Fe2o3 氧化物半导体 高稳定性 合成

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基于MEMS纳米孔Al2O3基板的CuCl2／CuPc传感器及机理研究 被引量：2

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作者 施云波 郭建英 +2 位作者 张洪泉 时强 安宏亮 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期54-58,共5页

用MEMS微加工方法，以具有90～100nm孔柱的Al2O3膜为基板，设计并制作了具有φ0．2mm微孔通道的气体传感器芯片，并通过真空镀膜方法把CuCl2杂化修饰的CuPc蒸镀成气敏膜，以微壳封装方法制成微结构传感器，实现了主动吸气的检测模式，... 用MEMS微加工方法，以具有90～100nm孔柱的Al2O3膜为基板，设计并制作了具有φ0．2mm微孔通道的气体传感器芯片，并通过真空镀膜方法把CuCl2杂化修饰的CuPc蒸镀成气敏膜，以微壳封装方法制成微结构传感器，实现了主动吸气的检测模式，提高了响应时间和气敏性。通过SEM观察，可见良好的膜表面形貌和尺寸：Al2O3膜基板厚度为0．25mm，侧面为柱状紧密体，表面呈现90～100nm纳米孔活性态；用做电极和加热器的Pt膜的厚度为500nm，柱状密排；敏感膜厚为150nm，连续规整；微壳深度为150～200μm。测试结果表明，传感器对液氯蒸气具有较好的气敏性，其灵敏度为0．01％ Cl2浓度下的5倍以上，响应时间小于30s，并呈现N型半导体的变化规律。分析了改变通气状态和加热电压等条件时对传感器气敏性的影响，探讨了CuPc有机半导体的气敏机理。 展开更多

关键词 MEMS al2o3纳米孔柱 微壳封装 CuPc传感器 气敏机理

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α-Fe_2O_3超微粒的制备及其气敏性能的研究 被引量：1

15

作者 潘庆谊 徐甲强 +1 位作者 刘铭 王国喜 《河南科学》 1990年第2期34-39,共6页

本文采用制备超微粒的方法制得α—Fe_2O_3,并用该材料制作成α-Fe_2O_3系气敏元件。由该材料及添加微量元素后所制作的元件对乙醇有良好的选择性和灵敏度。文中同时也讨论了不同加热功率、不同的电极材料对元件气敏性能的影响。并对α-... 本文采用制备超微粒的方法制得α—Fe_2O_3,并用该材料制作成α-Fe_2O_3系气敏元件。由该材料及添加微量元素后所制作的元件对乙醇有良好的选择性和灵敏度。文中同时也讨论了不同加热功率、不同的电极材料对元件气敏性能的影响。并对α-Fe_2O_3的气敏机理作了扼要的讨论。 展开更多

关键词 Α-FE2o3 制备 气敏元件 气敏性能

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掺Sm_2O_3的SnO_2纳米粉体对C_2H_2气敏特性的研究

16

作者 范会涛 张彤 +1 位作者 漆奇 刘丽 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期319-323,共5页

用化学沉淀法制备了SnO2纳米材料,利用XRD和SEM对合成产物进行了表征.采用旁热式结构制成了以SnO2为基体材料,掺杂Sm2O3的气体传感器.通过元件对C2H2气敏特性的测试表明:Sm2O3的掺杂可以明显地提高SnO2气敏材料对C2H2气体的灵敏度,当工... 用化学沉淀法制备了SnO2纳米材料,利用XRD和SEM对合成产物进行了表征.采用旁热式结构制成了以SnO2为基体材料,掺杂Sm2O3的气体传感器.通过元件对C2H2气敏特性的测试表明:Sm2O3的掺杂可以明显地提高SnO2气敏材料对C2H2气体的灵敏度,当工作温度为180℃,C2H2浓度为1000ppm时,元件的灵敏度为64,响应恢复时间分别为3和20s.讨论了不同相对湿度对元件气敏特性的影响. 展开更多

关键词 SNo2 SM2o3 C2H2 气敏元件 纳米粉体

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Eu_2O_3—SnO_2薄膜气敏元件的研制

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作者 钟仕科 元美玲 《江西教育学院学报》 1991年第4期60-62,共3页

本文研究了 Eu_2O_3—SnO_2复合薄膜气敏元件的制作工艺和敏感性能。测量结果表明,这种元件对丙酮敏感,且具有选择性好,响应时间和恢复时间短等优点。

关键词 薄膜 丙酮 气敏元件 Eu2o3-Sno2

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Yb-In_2O_3纳米管的制备及其对甲醛的优异气敏性能 被引量：5

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作者 王雪松 王国光 +5 位作者 李海英 王连元 刘丽 郭雪馨 王晗 廉红伟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期221-226,共6页

采用单管静电纺丝的方法成功制备了纯的与Yb掺杂的In_2O_3纳米管(Yb-In_2O_3).利用扫描电子显微镜和X射线衍射对样品的结构和形貌进行了表征,制作了基于纯In_2O_3和Yb-In_2O_3纳米管的气敏元件.研究表明,Yb-In_2O_3纳米管气敏元件在230... 采用单管静电纺丝的方法成功制备了纯的与Yb掺杂的In_2O_3纳米管(Yb-In_2O_3).利用扫描电子显微镜和X射线衍射对样品的结构和形貌进行了表征,制作了基于纯In_2O_3和Yb-In_2O_3纳米管的气敏元件.研究表明,Yb-In_2O_3纳米管气敏元件在230℃下对100 ppm甲醛的灵敏度为69.8,是纯In_2O_3纳米管气敏元件对同浓度甲醛灵敏度(18.4)的3.8倍,其对100 ppm甲醛的响应恢复时间分别为4 s和84 s.并且,基于Yb-In_2O_3纳米管的气敏元件对100 ppb甲醛的灵敏度达到2.5.此外,该气敏元件还具有出色的选择性及稳定性,具备良好的实际应用前景. 展开更多

关键词 Yb-In2o3纳米管 甲醛 气敏元件

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影响气敏α-Fe_2O_3超细粒体粒度因素的研究 被引量：1

19

作者 谢锋 《传感器技术》 CSCD 1999年第5期12-16,共5页

讨论化学共沉淀法工艺与粒度的关系。用化学共沉淀法,采用适当的掺杂、起始浓度、共沉淀温度和老化时间可以获得粒度较小的粉体。讨论了α-Fe2O3的气敏机理以及掺杂对其灵敏度的影响。优选出合理的工艺而制得的粉体,其粒度在0.21μm以下... 讨论化学共沉淀法工艺与粒度的关系。用化学共沉淀法,采用适当的掺杂、起始浓度、共沉淀温度和老化时间可以获得粒度较小的粉体。讨论了α-Fe2O3的气敏机理以及掺杂对其灵敏度的影响。优选出合理的工艺而制得的粉体,其粒度在0.21μm以下,用此材料制得的电阻式α-Fe2O3气敏元件,其灵敏度RA/RG(0.5)在6.0以上。 展开更多

关键词 气敏元件 粒度 灵敏度 Α-FE2o3 超细粒体

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纳米In_2O_3的微乳液合成及酒敏性能 被引量：10

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作者 詹自力 蒋登高 +2 位作者 常剑 钟可创 宋文慧 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期552-554,共3页

采用微乳液法制备超细In2O3粉体,粉体粒径为8 nm,在In2O3基体材料中掺杂Pd及金属氧化物,研制出实用性的热线型C2H5OH气敏元件,该元件功耗低(小于300 mW),选择性高,长期稳定性好。并考察了温度、湿度变化对气敏元件性能的影响,分析了元... 采用微乳液法制备超细In2O3粉体,粉体粒径为8 nm,在In2O3基体材料中掺杂Pd及金属氧化物,研制出实用性的热线型C2H5OH气敏元件,该元件功耗低(小于300 mW),选择性高,长期稳定性好。并考察了温度、湿度变化对气敏元件性能的影响,分析了元件的气敏机理。 展开更多

关键词 纳米In2o3 C2H5oH 气敏元件

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