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氮氧比对AlO_xN_y薄膜结构和光学性能的影响
1
作者
孟建平
杜淼
+2 位作者
刘晓鹏
付志强
郝雷
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期972-975,共4页
以单晶硅(111)和载玻片为基体,采用离子束辅助沉积技术沉积AlO_xN_y薄膜,使用XPS、XRD和椭偏仪研究了氮氧比对AlO_xN_y薄膜的成分、相结构和光学常数的影响。结果表明,随着氮氧比减小,薄膜中氮含量减小,氧含量增加;薄膜由非晶态转变为...
以单晶硅(111)和载玻片为基体,采用离子束辅助沉积技术沉积AlO_xN_y薄膜,使用XPS、XRD和椭偏仪研究了氮氧比对AlO_xN_y薄膜的成分、相结构和光学常数的影响。结果表明,随着氮氧比减小,薄膜中氮含量减小,氧含量增加;薄膜由非晶态转变为结晶态,结晶相为AlO_xN_y。沉积薄膜的消光系数为零,呈现电介质特性。随着氮氧比减小,沉积薄膜的折射率减小。随着氮氧比的减小,薄膜中的Al-O键增多是导致AlO_xN_y薄膜折射率减小的主要原因。
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关键词
aloxny薄膜
氮氧比
离子束辅助沉积
折射率
消光系数
原文传递
题名
氮氧比对AlO_xN_y薄膜结构和光学性能的影响
1
作者
孟建平
杜淼
刘晓鹏
付志强
郝雷
机构
北京有色金属研究总院
中国地质大学(北京)
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期972-975,共4页
基金
国家科技支撑计划(2015BAA02B04)
文摘
以单晶硅(111)和载玻片为基体,采用离子束辅助沉积技术沉积AlO_xN_y薄膜,使用XPS、XRD和椭偏仪研究了氮氧比对AlO_xN_y薄膜的成分、相结构和光学常数的影响。结果表明,随着氮氧比减小,薄膜中氮含量减小,氧含量增加;薄膜由非晶态转变为结晶态,结晶相为AlO_xN_y。沉积薄膜的消光系数为零,呈现电介质特性。随着氮氧比减小,沉积薄膜的折射率减小。随着氮氧比的减小,薄膜中的Al-O键增多是导致AlO_xN_y薄膜折射率减小的主要原因。
关键词
aloxny薄膜
氮氧比
离子束辅助沉积
折射率
消光系数
Keywords
aloxny
films
nitrogen-oxygen ratio
IBAD(ion beam assisted deposition)
refractive index
extinction coefficient
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氮氧比对AlO_xN_y薄膜结构和光学性能的影响
孟建平
杜淼
刘晓鹏
付志强
郝雷
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
0
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