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题名阿基米德曲线形双晶压电执行器的设计与分析
被引量：1
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作者
杨辰烨
雷静桃
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机构
上海大学
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出处
《电子机械工程》
2020年第2期1-4,共4页
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基金
2019上海市浦江人才计划资助项目(19PJ1403900)
国家自然科学基金资助项目(51775323)。
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文摘
文中开展了具有阿基米德曲线形驱动臂的微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)双晶压电执行器的设计、模拟仿真以及实验验证。为验证不同设计的表现,分别设计并制造了全驱动型和半驱动型压电执行器。这2种压电执行器通过商业化的生产工艺制造,与更复杂的MEMS系统兼容。采用有限元法分析了2种执行器的位移与驱动力,还开展实验分别测试了2种执行器的位移与驱动力。研究表明,在相同的驱动电压下,全驱动型压电执行器的性能优于半驱动型压电执行器。当驱动电压为110 V时,半驱动型和全驱动型执行器的实验测量位移分别约为17μm和29μm,相应的驱动力的实验测量值分别约为9 mN和15 mN,实验结果与有限元分析结果相符。仿真和实验结果表明文中提出的执行器设计方案是合理的。
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关键词
阿基米德曲线
压电执行器
有限元分析
电极构型
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Keywords
archimedes'spiral
piezoelectric actuator
finite element analysis
electrode pattern
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分类号
TN61
[电子电信—电路与系统]
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