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利用图像处理实现平面工作台三自由度位移的同步检测 被引量：4
1
作者 吴鹰飞 周兆英 《光学技术》 CAS CSCD 2002年第4期326-328,331,共4页
为了实现平面工作台三自由度位移的同步检测 ,研制了图像处理位移检测系统。以CCD相机为核心 ,结合显微镜放大、图像采集和图像处理构成检测系统。图像处理软件用VC编制 ,计算并绘制了工作台三自由度位移随时间的变化关系 ,以及工作台... 为了实现平面工作台三自由度位移的同步检测 ,研制了图像处理位移检测系统。以CCD相机为核心 ,结合显微镜放大、图像采集和图像处理构成检测系统。图像处理软件用VC编制 ,计算并绘制了工作台三自由度位移随时间的变化关系 ,以及工作台在平面内的运动轨迹。系统的位移检测不受工作台大幅转动的影响。检测系统达到了亚像素级的位移分辨率。选择合适的显微镜放大倍率 ,可使检测系统既有较高的位移分辨率 。 展开更多
关键词 位移测量 图像处理 cccd相机 平面工作台 同步检测
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