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N2流量对脉冲溅射CrNx薄膜结构和耐蚀性的影响 被引量：1
1
作者 鲁媛媛 丁旭 +1 位作者 罗甲文 吴坤尧 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期2599-2603,共5页
采用脉冲磁控溅射法在不同氮气流量下制备出CrN_x薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和电化学工作站对薄膜进行了系统分析,以研究氮气流量对其微观结构和耐蚀性的影响规律。结果表明:氮气流量较低时,薄膜... 采用脉冲磁控溅射法在不同氮气流量下制备出CrN_x薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和电化学工作站对薄膜进行了系统分析,以研究氮气流量对其微观结构和耐蚀性的影响规律。结果表明:氮气流量较低时,薄膜的物相为Cr_2N^+CrN的复合相,当氮气流量增加至150sccm,物相转变为CrN单相;表面和截面形貌照片显示,随着氮气流量的增多,薄膜的表面粗糙度逐渐减小、致密度也得到改善。物相的变化和致密度的改善,使得腐蚀电流密度随氮气流量的增加而降低,即腐蚀速度逐渐减小,当氮气流量为150sccm时薄膜表现出最好的耐蚀性。 展开更多
关键词 脉冲溅射 crnx 薄膜 氮气流量 微观结构 耐蚀性
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CrN_x薄膜的制备及结构分析 被引量：1
2
作者 于玉城 赵广彬 +1 位作者 晋勇 刘志远 《真空》 CAS 北大核心 2007年第1期21-25,共5页
用正交设计法L16设计了五因素四水平共16种工艺,用热阴极离子镀在GCr15块规上制备CrNx薄膜。用X射线衍射议(XRD)分别对16个试样进行了物相分析及结构分析,用显微硬度计(25g)测试了显微硬度,并对检测结果进行了分析讨论。结果表明:工艺... 用正交设计法L16设计了五因素四水平共16种工艺,用热阴极离子镀在GCr15块规上制备CrNx薄膜。用X射线衍射议(XRD)分别对16个试样进行了物相分析及结构分析,用显微硬度计(25g)测试了显微硬度,并对检测结果进行了分析讨论。结果表明:工艺参数的变化对于CrNx薄膜的制备会产生重要影响。 展开更多
关键词 crnx薄膜 热阴极离子镀 XRD
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电弧离子镀CrN_x薄膜的组织结构与性能研究
3
作者 王怀川 李凤岐 +3 位作者 赵彦辉 徐丽 于宝海 宋篪 《沈阳理工大学学报》 CAS 2016年第6期23-27,共5页
采用电弧离子镀技术在高速钢（HSS）基体上制备CrN_x薄膜,考察氮气气压对CrN_x薄膜的表面形貌、结构、显微硬度及摩擦系数的影响。用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、摩擦磨损试验机等分别测试分析薄膜的表面形貌、薄膜的结构、显... 采用电弧离子镀技术在高速钢（HSS）基体上制备CrN_x薄膜,考察氮气气压对CrN_x薄膜的表面形貌、结构、显微硬度及摩擦系数的影响。用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、摩擦磨损试验机等分别测试分析薄膜的表面形貌、薄膜的结构、显微硬度以及摩擦系数。结果表明,氮气气压较低时（0.1Pa）,薄膜以Cr相为主;随着氮气气压的升高（0.5~4.0Pa）,薄膜中出现了Cr_2N和Cr的混合相,薄膜以Cr_2N相为主;随着氮气气压的升高,薄膜的显微硬度在氮气气压为0.5Pa和4.0Pa时出现极值,CrN_x薄膜的最大摩擦系数和平均摩擦系数都有所减少。 展开更多
关键词 crnx薄膜 电弧离子镀 氮气分压 显微硬度 摩擦系数
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