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CrSiN纳米复合薄膜的摩擦学性能 被引量:6
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作者 王海新 耿中荣 张广安 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期24-30,共7页
采用中频非平衡反应磁控溅射技术在单晶硅P(111)基材上制备了CrSiN纳米复合薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、Kevex能谱仪(EDX)、高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪对薄膜的相结构、化学成分组成和力学性... 采用中频非平衡反应磁控溅射技术在单晶硅P(111)基材上制备了CrSiN纳米复合薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、Kevex能谱仪(EDX)、高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪对薄膜的相结构、化学成分组成和力学性能进行了测试分析。利用球-盘式摩擦磨损试验机(UMT-2)考察了薄膜和GCr15钢球对磨的摩擦学性能并采用扫描电镜(SEM)观察磨痕形貌。结果表明:CrN薄膜中Si元素的掺杂改变了薄膜晶体结构,所制备的CrSiN复合薄膜为多相复合结构,即nc-CrN/aSi3N4所组成的纳米晶/非晶复合结构。CrSiN纳米复合薄膜的力学性能均优于CrN薄膜,其硬度均高于CrN薄膜的硬度,其中Si原子数分数为12.6%时薄膜的硬度达到最大,对应纳米晶/非晶复合强化。CrSiN纳米复合薄膜的摩擦因数低于CrN薄膜,具有很好的抗磨损性能,并具有一定的润滑作用。 展开更多
关键词 crsin 纳米复合薄膜 摩擦学性能 润滑
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氮离子注入浓度对弹条钢基体Cr/CrSiN复合涂层的摩擦学性能影响研究 被引量:3
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作者 王振 蔡振兵 +3 位作者 沈明学 彭金方 李彦军 朱旻昊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第19期2689-2693,共5页
在轨道用扣件弹条钢(60Si2Cr)上注入不同浓度的氮离子,用电弧离子镀技术沉积了Cr过渡层,并在其上制备了CrSiN/Cr复合涂层。在UMT-3多功能摩擦磨损机上对复合层进行了法向载荷为20N的摩擦磨损实验,探讨了经不同氮离子注入浓度后Cr/CrSiN... 在轨道用扣件弹条钢(60Si2Cr)上注入不同浓度的氮离子,用电弧离子镀技术沉积了Cr过渡层,并在其上制备了CrSiN/Cr复合涂层。在UMT-3多功能摩擦磨损机上对复合层进行了法向载荷为20N的摩擦磨损实验,探讨了经不同氮离子注入浓度后Cr/CrSiN复合涂层摩擦磨损行为和损伤机理,研究发现,经氮离子注入后,复合涂层表面硬度明显的增加,随着离子注入浓度的升高涂层的耐磨性逐渐提高,其磨损机制主要为剥落和磨粒磨损。 展开更多
关键词 离子注入 crsin涂层 摩擦磨损 磨损机理
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电弧离子镀CrSiN薄膜的内应力控制与厚膜化 被引量:1
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作者 聂朝胤 安藤彰朗 +1 位作者 潘婧 贾晓芳 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期119-123,共5页
采用电弧离子镀技术在不锈钢SUS440C基片上沉积了CrSiN薄膜,并在此基础上通过引入Cr应力缓和层制备了CrSiN/Cr多层薄膜,研究了Cr应力缓和层对缓解CrSiN薄膜内部应力、增强膜基结合力、提高薄膜沉积厚度的作用。利用X射线衍射仪及sin2ψ... 采用电弧离子镀技术在不锈钢SUS440C基片上沉积了CrSiN薄膜,并在此基础上通过引入Cr应力缓和层制备了CrSiN/Cr多层薄膜,研究了Cr应力缓和层对缓解CrSiN薄膜内部应力、增强膜基结合力、提高薄膜沉积厚度的作用。利用X射线衍射仪及sin2ψ法测试计算了薄膜的内部应力、采用扫描电镜及透射电镜观察了薄膜的显微结构,采用微米划痕仪测试了膜基结合强度。结果表明:20~30 nm极薄Cr层的导入,缓解了CrSiN薄膜内部应力的积累,降低了薄膜整体的内部应力,选择合适的Cr层数,最大可降低内部应力1/2。CrSiN/Cr多层膜仍保持了原有的连续柱状晶生长模式,CrSiN层与Cr层间,界面完整清晰,Si-N非晶部分缓解了CrSiN中CrN晶格与Cr层中Cr晶格间的失配,使得层间结合紧密牢固。划痕仪测试结果表明膜基结合强度与薄膜内部应力呈现出高度的相关性,Cr应力缓和层的导入改善了薄膜的膜基结合力、提高了薄膜可沉积厚度。 展开更多
关键词 电弧离子镀 crsin薄膜 Cr应力缓和层 内部应力 膜基结合强度
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磁控溅射CrSiN涂层及其摩擦磨损性能研究
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作者 付保英 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2022年第7期36-41,共6页
采用磁控溅射沉积方法,改变Si靶功率制备不同Si含量的CrSiN涂层。通过X射线能谱仪、X射线衍射仪、X射线光电子能谱分析仪、扫描电镜分析涂层的化学成分、晶体结构和微观形貌,使用纳米划痕仪和摩擦磨损试验仪测试涂层的硬度、结合力和摩... 采用磁控溅射沉积方法,改变Si靶功率制备不同Si含量的CrSiN涂层。通过X射线能谱仪、X射线衍射仪、X射线光电子能谱分析仪、扫描电镜分析涂层的化学成分、晶体结构和微观形貌,使用纳米划痕仪和摩擦磨损试验仪测试涂层的硬度、结合力和摩擦磨损行为。结果表明:随着Si靶功率的增加,CrSiN涂层中Si含量增加,涂层由疏松的三角锥结构转变为致密的CrN纳米晶粒和Si_(3)N_(4)非晶复合结构,涂层硬度、结合力和摩擦系数均呈现先增加后减小的趋势,当Si靶功率为60 W时,涂层具有最佳的摩擦磨损性能,涂层硬度、结合力和摩擦系数分别为23.7 GPa、29.4 N和0.29。 展开更多
关键词 磁控溅射 crsin涂层 SI含量 微观结构 摩擦磨损
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TC4钛合金表面沉积CrSiN/SiN纳米多层膜在3.5%NaCl溶液中的腐蚀磨损性能 被引量:13
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作者 何倩 孙德恩 曾宪光 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期74-80,共7页
为了研究纳米多层膜的耐腐蚀性能以及腐蚀磨损机理,采用离子源辅助磁控溅射在TC4钛合金表面制备不同调制周期的CrSiN/SiN纳米多层膜。使用扫描电子显微电镜、能谱仪表征涂层的微观结构、腐蚀形貌以及元素分布;使用划痕仪、纳米压痕仪、... 为了研究纳米多层膜的耐腐蚀性能以及腐蚀磨损机理,采用离子源辅助磁控溅射在TC4钛合金表面制备不同调制周期的CrSiN/SiN纳米多层膜。使用扫描电子显微电镜、能谱仪表征涂层的微观结构、腐蚀形貌以及元素分布;使用划痕仪、纳米压痕仪、维氏硬度计测量涂层的膜基结合力、硬度、弹性模量及断裂韧性,采用电化学工作站以及销盘磨损仪测量涂层耐腐蚀性和腐蚀磨损性。结果表明:调制周期为90 nm与360 nm时涂层耐腐蚀性能较好,腐蚀电流密度分别为1.31×10^(-8)A·cm^(-2)和1.20×10^(-8)A·cm^(-2)。此外,调制周期为45nm时,涂层硬度及弹性模量最大,分别为(22.5±0.6)GPa和(226.4±6.3)GPa,且腐蚀磨损率最低,为9.67×10^(-7)mm^3·N^(-1)·m^(-1)。多层膜结构显著改善了TC4钛合金的耐腐蚀及腐蚀磨损性能。 展开更多
关键词 TC4钛合金 crsin/SiN纳米多层膜 调制周期 腐蚀磨损
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等离子体增强磁控溅射CrSiN涂层摩擦磨损行为 被引量:7
6
作者 周子超 张豪 +4 位作者 张雪 常伟杰 宋玲玲 黄传 多树旺 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期185-191,共7页
目的基于细晶强化理论,借助新型涂层制备技术获得综合性能优良的CrSiN涂层,研究Si含量对涂层微观结构、力学性能及耐磨性能的影响规律。方法采用等离子体增强磁控溅射技术,制备四种含有不同Si含量的CrSiN涂层。使用X射线能谱仪(EDS)、X... 目的基于细晶强化理论,借助新型涂层制备技术获得综合性能优良的CrSiN涂层,研究Si含量对涂层微观结构、力学性能及耐磨性能的影响规律。方法采用等离子体增强磁控溅射技术,制备四种含有不同Si含量的CrSiN涂层。使用X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM),分析涂层的化学成分、晶体结构、微观形貌和表面粗糙度。使用纳米压痕/划痕仪测试涂层的显微硬度、杨氏模量和结合力。使用摩擦磨损试验仪考察涂层的摩擦磨损行为。结果CrSiN涂层中Si含量随着Si靶功率的增加而增加。所有涂层中均未检测到含Si物相,主要由CrN相组成。随着Si含量的增加,CrN(111)衍射峰逐渐减弱直至消失,涂层由疏松的三角锥结构逐渐变为致密平整的CrN纳米晶和Si3N4非晶共存的复合结构,涂层表面粗糙度显著降低,涂层的显微硬度、杨氏模量、结合力及耐磨性能均呈现先增后降的趋势。结论Si含量为18.5%的CrSiN涂层具有最佳的耐磨性能,此时涂层的硬度、杨氏模量、结合力和平均摩擦系数分别约为27 GPa、327 GPa、30 N和0.289。 展开更多
关键词 等离子体增强磁控溅射技术 crsin涂层 SI含量 微观结构 力学性能 摩擦磨损
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Si含量对NbN/CrSiN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响 被引量:3
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作者 袁庆 李伟 +5 位作者 刘平 张柯 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期1044-1048,共5页
采用磁控溅射工艺在Si底片依次沉积NbN、CrSiN纳米层,通过改变靶材的Si含量,制备出一系列NbN/CrSiN纳米多层膜。分别采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究Si含量对NbN/CrSiN纳米多层膜... 采用磁控溅射工艺在Si底片依次沉积NbN、CrSiN纳米层,通过改变靶材的Si含量,制备出一系列NbN/CrSiN纳米多层膜。分别采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究Si含量对NbN/CrSiN纳米多层膜显微结构和力学性能的影响。实验结果表明,随着Si含量的增加,NbN相的结晶程度先增加后降低,薄膜的硬度和弹性模量也是先增高后降低,在n(Si)∶n(Nb)=3∶22时获得最高硬度和弹性模量,分别为31.92和359.3GPa。显微结构表征表明,当n(Si)∶n(Nb)=3∶22时,NbN/CrSiN纳米多层膜柱状晶生长状况最好,CrSiN层在NbN层的模板作用下转变为面心立方结构,并与NbN层呈共格外延生长。薄膜力学性能的提高主要与CrSiN与NbN形成的共格外延生长结构有关。 展开更多
关键词 NbN/crsin纳米多层膜 微观结构 力学性能 共格外延生长
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CrN和CrSiN薄膜在不同介质下的摩擦学性能 被引量:5
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作者 鞠鹏飞 王海新 +3 位作者 蒲吉斌 苏培博 宋晓航 张广安 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2016年第10期86-90,140,共6页
采用中频非平衡反应磁控溅射法在单晶硅P(111)和不锈钢(304SS)基材上制备CrN和CrSiN薄膜;利用球-盘式摩擦磨损试验机(CSM)考察2种薄膜在不同介质(空气、去离子水、质量分数3.5%NaCl溶液)中和WC/Co球对摩的摩擦学性能。结果表明:大气环境... 采用中频非平衡反应磁控溅射法在单晶硅P(111)和不锈钢(304SS)基材上制备CrN和CrSiN薄膜;利用球-盘式摩擦磨损试验机(CSM)考察2种薄膜在不同介质(空气、去离子水、质量分数3.5%NaCl溶液)中和WC/Co球对摩的摩擦学性能。结果表明:大气环境下,CrN与CrSiN薄膜的磨损机制主要是磨粒磨损;水润滑下,CrN薄膜主要因机械抛光作用,CrSiN薄膜主要因摩擦化学反应,使得摩擦因数减小;在3.5%NaCl溶液中CrN薄膜易被腐蚀,由于NaCl颗粒析出以及涂层接触区域的腐蚀和磨损产物,作为第三体的润滑作用,导致摩擦磨损发生明显变化,而CrSiN薄膜不易被腐蚀,主要因摩擦化学反应,使得摩擦磨损性能发生显著变化。 展开更多
关键词 CRN薄膜 crsin薄膜 摩擦磨损 磁控溅射
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CrSiN-Ag薄膜的制备及性能 被引量:1
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作者 王卫玲 喻利花 许俊华 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期12-17,共6页
为拓宽氮化物薄膜的应用范围、研究Ag元素的加入对CrSiN-Ag薄膜性能的影响,采用射频磁控溅射在单晶硅Si(100)和304不锈钢上制备了不同Ag含量的CrSiN-Ag薄膜,利用能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪、摩擦磨损仪和三维形貌仪等... 为拓宽氮化物薄膜的应用范围、研究Ag元素的加入对CrSiN-Ag薄膜性能的影响,采用射频磁控溅射在单晶硅Si(100)和304不锈钢上制备了不同Ag含量的CrSiN-Ag薄膜,利用能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪、摩擦磨损仪和三维形貌仪等对薄膜的成分、微观结构、力学和不同温度下的摩擦磨损性能进行表征。结果表明:CrSiN-Ag薄膜呈面心立方(fcc)结构,Ag以晶态的形式存在于CrSiN薄膜中;随着Ag含量的增加,CrSiN-Ag薄膜的硬度先升高后逐渐降低,当Ag含量增加到6.84%(原子分数)时硬度最大,为26.55 GPa。室温时,CrSiN-Ag薄膜的摩擦系数随着Ag含量的增加而减小,磨损率随着Ag含量的增加先减小后增大;当Ag含量为6.84%时,CrSiN-Ag薄膜的高温摩擦系数随着温度的升高先增加后减小,磨损率随着温度的升高而增加。 展开更多
关键词 crsin-Ag薄膜 微观结构 力学性能 摩擦磨损性能
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Corrosion and wear behaviors of PVD CrN and CrSiN coatings in seawater 被引量:19
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作者 单磊 章杨荣 +3 位作者 王永欣 李金龙 蒋欣 陈建敏 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第1期175-184,共10页
To improve the tribological performance of 316 L in seawater, the CrN and CrSiN coatings were deposited by multi-arc ion plating. The coatings were systematically characterized. Corrosion properties were evaluated by ... To improve the tribological performance of 316 L in seawater, the CrN and CrSiN coatings were deposited by multi-arc ion plating. The coatings were systematically characterized. Corrosion properties were evaluated by immersion test and anodic polarization measurement. The friction and wear properties of the CrN and CrSiN coatings were investigated by ball-on-disk tribometer in artificial seawater. The results show that the CrN coating has strong(111) and(200) preferred orientations and the intensity of the peaks decreases for the CrSiN coating. The hardness of the CrSiN coating is higher than that of the CrN coating. The CrSiN coating presents better corrosion resistance in seawater. The friction coefficient and wear rate of the CrSiN coating are lower than those of the CrN coating, indicating positive effect of Si addition on tribological performance in seawater. The coatings could significantly improve the wear resistance of the 316 L in seawater. 展开更多
关键词 crsin coating WEAR CORROSION seawater
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关于CrN基涂层的研究进展 被引量:4
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作者 梁进觉 陈诗敏 +2 位作者 孔少于 薛书文 邹长伟 《岭南师范学院学报》 2017年第6期44-50,共7页
有关于CrN涂层的研究已经有很多,过渡金属和非金属的掺入会大大影响CrN涂层的物理化学性能.在制备的过程一般采用的是PVD技术如多弧离子镀、磁控溅射和离子喷射等方法.根据研究的趋向,为了改善CrN涂层中的柱状晶结构,未来的研究趋势是... 有关于CrN涂层的研究已经有很多,过渡金属和非金属的掺入会大大影响CrN涂层的物理化学性能.在制备的过程一般采用的是PVD技术如多弧离子镀、磁控溅射和离子喷射等方法.根据研究的趋向,为了改善CrN涂层中的柱状晶结构,未来的研究趋势是追求多元多层纳米复合涂层.本文将从二元涂层CrN、三元涂层CrSiN、四元涂层CrSiAlN和CrSiON进行综述近年来的最新研究. 展开更多
关键词 CRN crsin CrSiAlN CrSiON
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