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Linnik白光干涉仪自动对焦及光程差最小化 被引量:1
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作者 李勇 吴奎 +1 位作者 卢荣胜 董敬涛 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第11期8-16,共9页
众所周知由于两个干涉臂光路不匹配和参考镜面与被测表面的离焦,要得到相干长度非常短的Linnik白光干涉仪的干涉条纹是非常困难的。本文提出了一种自动调节的方法来解决这个问题。为了实现参考镜面和被测表面的对焦,在商用DVD读取头的... 众所周知由于两个干涉臂光路不匹配和参考镜面与被测表面的离焦,要得到相干长度非常短的Linnik白光干涉仪的干涉条纹是非常困难的。本文提出了一种自动调节的方法来解决这个问题。为了实现参考镜面和被测表面的对焦,在商用DVD读取头的基础上,对其像散法进行改进,具体方法是对和信号SS设定一个阈值,通过此阈值对归一化后的FES曲线(NFES)进行裁剪,从而获得一个与离焦距离成单调关系的曲线(TNFES),其过零点对应的就是焦点。经过实验证明,改进后的自动对焦系统的动态范围为190?m,平均灵敏度70mV/?m,平均标准偏差0.041?m,分辨率4.4nm,不确定度55nm。此外为了最小化两个干涉臂的光程差,本文采用均方根RMSFC算法来计算成像在CCD上的干涉条纹的对比度,通过找到其最大值来最小化光程差。实验证明本文提出的自动方法可以有效地获得Linnik白光干涉仪的干涉条纹。 展开更多
关键词 自动对焦 Linnik白光干涉仪 DVD读取头 fes曲线
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热力学分析在连续镀锌过程中的应用 被引量:1
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作者 韦影 尹付成 +1 位作者 彭梅香 苏旭平 《湘潭大学自然科学学报》 CAS CSCD 2002年第4期65-69,共5页
热力学分析结合相图研究可用于解决生产实际问题 .在连续镀锌过程中 ,锌液中铝是一种很重要的添加元素 ,它对镀锌质量有直接的影响 .但锌池中铝含量的测量与控制还存在困难 .在对Fe -Zn -Al三元体系Fe溶解度曲线的热力学分析的基础上 ,... 热力学分析结合相图研究可用于解决生产实际问题 .在连续镀锌过程中 ,锌液中铝是一种很重要的添加元素 ,它对镀锌质量有直接的影响 .但锌池中铝含量的测量与控制还存在困难 .在对Fe -Zn -Al三元体系Fe溶解度曲线的热力学分析的基础上 ,用Matlab编制了带有图形用户界面的程序 ,把热力学分析应用于计算锌池中的有效铝含量 。 展开更多
关键词 热力学分析 连续镀锌 有效铝 fe溶解度曲线 电镀工艺 质量控制
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