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一种用于测量高层大气风场的新型地基Fabry-Perot干涉仪 被引量:2
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作者 王后茂 王咏梅 +1 位作者 付建国 张仲谋 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期352-357,共6页
地表海拔大约250 km高度处大气非常稀薄,目前被动光学观测是该层风场探测最有效手段.Fabry-Perot干涉仪(FPI)由于具有较高能量利用率及光谱分辨率等特点,是该层大气最有效的地基风场探测仪器之一.基于采用光路缩束系统及滤光片后置(标... 地表海拔大约250 km高度处大气非常稀薄,目前被动光学观测是该层风场探测最有效手段.Fabry-Perot干涉仪(FPI)由于具有较高能量利用率及光谱分辨率等特点,是该层大气最有效的地基风场探测仪器之一.基于采用光路缩束系统及滤光片后置(标准具之后)方法研制的小型化FPI,2014年分别在河北廊坊(39.40°N,116.65°E)和山西岢岚(38.71°N,111.58°E)进行了地基观测试验,将观测数据与反演算法相结合得到高层大气风场数据,并将数据结果与美国大气研究中心两台FPI的风场数据进行了比较研究,在气辉整体辐射较弱的情况下得到岢岚站的风速平均反演偏差为11.8 m·s^(-1). 展开更多
关键词 fabry-perot干涉仪(fpi) 高层大气风场 地基观测 630.0 nm夜气辉
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激光锁定Fabry-Perot干涉仪精密测量电容 被引量:2
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作者 王建波 钱进 +3 位作者 殷聪 陆祖良 黄璐 杨雁 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第5期150-158,共9页
为了实现pF量级小电容的精密测量,建立了基于激光锁定Fabry-Perot干涉仪的精密电容测量系统。对该系统所采用的计算电容原理、激光锁定干涉仪方法及其整数级次确定方法进行了研究。首先,根据Lampard和Thompson电学基本原理介绍了Fabry-P... 为了实现pF量级小电容的精密测量,建立了基于激光锁定Fabry-Perot干涉仪的精密电容测量系统。对该系统所采用的计算电容原理、激光锁定干涉仪方法及其整数级次确定方法进行了研究。首先,根据Lampard和Thompson电学基本原理介绍了Fabry-Perot干涉仪的结构与工作方式,采用一种锁定干涉仪测量位移的方法。其次,介绍了Fabry-Perot干涉仪的光路设计,详细分析了干涉仪锁定控制系统的工作状态以及锁定状态下干涉仪腔长的抖动情况。通过分析利用电容值确定干涉仪整数级次变化的可行性,提出了基于1 pF标准电容器确定Fabry-Perot干涉仪整数级次的实验过程。最后,介绍了Fabry-Perot锁定干涉仪的台阶式位移过程以及利用该套系统测量电容的重复性。实验结果表明:Fabry-Perot干涉仪在锁定状态下,腔长抖动峰峰值为0.4 nm,测量1 pF标准电容器重复性达到5.0×10^(-9)。 展开更多
关键词 fabry-perot干涉仪 腔长锁定干涉仪 计算电容 精密位移测量
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计算电容中Fabry-Perot干涉仪测量位移的相位修正方法 被引量:2
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作者 王建波 钱进 +5 位作者 刘忠有 陆祖良 黄璐 杨雁 殷聪 李同保 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期40-48,共9页
计算电容是复现电学阻抗单位的基准装置,利用计算电容值和量子霍尔电阻值可以准确计算出精细结构常数α.计算电容的本质是通过高准确度地测量屏蔽电极的位移,实现对电容量值的测量.因此,基于Fabry-Perot干涉仪的精密电极位移测量系统是... 计算电容是复现电学阻抗单位的基准装置,利用计算电容值和量子霍尔电阻值可以准确计算出精细结构常数α.计算电容的本质是通过高准确度地测量屏蔽电极的位移,实现对电容量值的测量.因此,基于Fabry-Perot干涉仪的精密电极位移测量系统是计算电容装置中最为核心和关键的部分.在Fabry-Perot干涉仪测位移过程中,由于高斯激光束存在轴向Gouy相位,该附加相位将会引起相邻干涉条纹对应位移的变化(大于或者小于λ),导致位移的测量值与实际值存在偏差.本文阐述了高斯激光场的传播特性,利用高斯激光束在自由空间和透过薄透镜复振幅的变换关系,建立了计算电容装置中Fabry-Perot干涉仪透射光束的传输模型;通过对不同腔长的Fabry-Perot干涉仪透射光场相位的分析,获得了高斯激光束轴向Gouy相位修正与传输距离的关系.结果表明,当腔长从111.3 mm移动至316.3 mm时,在接收距离为560 mm的情况下,高斯光束轴向Gouy相位引起的位移修正的绝对值最小为0.7 nm,其相对相位修正量|δL|/|?L|=3.4×10^(-9). 展开更多
关键词 Gouy相位 位移修正 fabry-perot干涉仪 计算电容
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用Fabry-Perot干涉仪测量上层大气风场的速度和温度 被引量:16
4
作者 张淳民 相里斌 赵葆常 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期97-99,共3页
提出了一种用Fabry Perot干涉仪 (FPI)的多光束干涉原理和多普勒效应测量上层大气风场的方法 .以上层大气 (80~ 30 0km)中自然形成的气辉 (极光 )为被探测源 ,其两条主要谱线来源于亚稳态原子氧O(1S)和O(1D)跃迁时所形成的两条单线 (... 提出了一种用Fabry Perot干涉仪 (FPI)的多光束干涉原理和多普勒效应测量上层大气风场的方法 .以上层大气 (80~ 30 0km)中自然形成的气辉 (极光 )为被探测源 ,其两条主要谱线来源于亚稳态原子氧O(1S)和O(1D)跃迁时所形成的两条单线 (波长分别为 557 7nm和 6 30 0nm) .对被探测源谱线为高斯轮廓时风场的速度、温度的测量原理作了论述 ,并与广角迈克耳逊多普勒成像干涉仪 (WAMDII)测量大气风场进行了比较 .结果表明 ,FPI无运动部件 ,从而显示出高稳定度和高分辨率的优点 ,更加适合航空。 展开更多
关键词 风场 速度 温度 fabry-perot干涉仪 上层大气
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Fabry-Perot干涉仪测量爆轰加载下的飞片自由面速度 被引量:4
5
作者 陈光华 李泽仁 +3 位作者 刘寿先 刘乔 刘俊 畅里华 《信息与电子工程》 2006年第5期369-371,共3页
为了获得有效的爆轰加载下的飞片自由面速度剖面的测量结果,设计了一种紧凑的Fabry-Perot干涉仪。采用固定腔结构使该干涉仪能够抗机械振动干扰并产生稳定的干涉条纹,可以做到在实验中免除干涉仪的调节,从而提高实验效率。采用光纤传光... 为了获得有效的爆轰加载下的飞片自由面速度剖面的测量结果,设计了一种紧凑的Fabry-Perot干涉仪。采用固定腔结构使该干涉仪能够抗机械振动干扰并产生稳定的干涉条纹,可以做到在实验中免除干涉仪的调节,从而提高实验效率。采用光纤传光的方式使得实验具有更大的灵活性。用该干涉仪成功测量了φ40mm×20mm的T/Γ35/65炸药爆轰加载下的1.5 mm厚钢飞片的自由面速度,测得的最高速度大于2 km/s,给出了干涉条纹的狭缝扫描图像以及连续的自由面速度历史。 展开更多
关键词 fabry-perot干涉仪 速度干涉仪 飞片 爆轰加载
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用球面共焦Fabry-Perot干涉仪测量微振动 被引量:1
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作者 杨勇 陈峰 +1 位作者 胡小唐 王建林 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期615-618,共4页
介绍一种光学非接触测量超微振动的方法 ,利用球面共焦 Fabry- Perot干涉仪设计了微振动测量系统 .与传统的测量方法相比 ,该系统具有非接触、高灵敏度、高频响、高空间分辨率等特点 ,便于实现连续、快速、自动化检测 ;根据实验要求 ,... 介绍一种光学非接触测量超微振动的方法 ,利用球面共焦 Fabry- Perot干涉仪设计了微振动测量系统 .与传统的测量方法相比 ,该系统具有非接触、高灵敏度、高频响、高空间分辨率等特点 ,便于实现连续、快速、自动化检测 ;根据实验要求 ,设计了腔长 0 .5 m、带宽5 .9MHz的 Fabry- Perot干涉仪 ,并组成测量系统 ;通过实验 ,检测出 5 MHz脉冲压电换能器产生的微振动波形 ;为了克服环境噪声对测量系统的影响 ,采用自动稳腔长的方法 。 展开更多
关键词 球面共焦fabry-perot干涉仪 微振动 稳腔长 非接触测量 测量系统 工人原理
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测量光纤外腔Fabry-Perot干涉仪的白光干涉术 被引量:7
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作者 江毅 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期381-384,共4页
提出了一种基于白光干涉术测量低锐度光纤外腔Fabry-Perot干涉仪(EFPI)的方法·用宽带光源注入F-P腔,在接收端用一高锐度的可调谐光纤F-P滤波器对EFPI的反射光谱进行扫描,获得了周期性变化的光谱输出·为了测量出EFPI的腔长,对... 提出了一种基于白光干涉术测量低锐度光纤外腔Fabry-Perot干涉仪(EFPI)的方法·用宽带光源注入F-P腔,在接收端用一高锐度的可调谐光纤F-P滤波器对EFPI的反射光谱进行扫描,获得了周期性变化的光谱输出·为了测量出EFPI的腔长,对光谱信号进行傅里叶变换,得到光谱的周期,由此求出EFPI的绝对腔长·证明了用低锐度EFPI的测量准确度由腔长决定·F-P腔越长,测量准确度越高·在腔长分别是200μm,400μm和600μm时,测量的腔长与实际腔长相同· 展开更多
关键词 波导与纤维光学 光纤传感器 光纤外腔fabry-perot干涉仪 傅里叶变换
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Fabry-Perot干涉仪的新应用 被引量:2
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作者 李炳乾 张淳民 +1 位作者 朱长纯 王小力 《工科物理》 1998年第4期26-29,共4页
阐述了Fabry-Perot腔的工作原理以及在精细光谱结构研究、激光技术等领域的应用.结合作者的工作,给出了Fabry-Perot腔在微机械传感器和高速光电探测仪器研制这两个方面的新应用.
关键词 fabry-perot 微机械压力传感器 标准具 干涉仪 应用 高速光电探测器 精细光谱结构 激光技术
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米散射测风激光雷达单Fabry-Perot干涉仪鉴频系统 被引量:1
9
作者 杨娜 杜军 《黑龙江工程学院学报》 CAS 2015年第1期36-41,共6页
对非相干米散射多普勒测风激光雷达单Fabry-Perot干涉仪双边缘鉴频系统进行理论研究。证明通过适当地降低此系统斜入射通道信号光的发散角可以有效地弥补其边缘曲线不对称产生的测量精度降低的缺陷,使其能够接近双Fabry-Perot干涉仪双... 对非相干米散射多普勒测风激光雷达单Fabry-Perot干涉仪双边缘鉴频系统进行理论研究。证明通过适当地降低此系统斜入射通道信号光的发散角可以有效地弥补其边缘曲线不对称产生的测量精度降低的缺陷,使其能够接近双Fabry-Perot干涉仪双边缘鉴频系统的测量精度。还证明此系统可以根据实际风速的需要调整其测量动态范围以获得更高测量精度,具有更高的灵活性。 展开更多
关键词 非相干探测 测风激光雷达 鉴频系统 双边缘技术 fabry-perot干涉仪
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Fabry-Perot干涉仪的温度变化以及回波发散角对双边缘激光测风的影响 被引量:1
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作者 毕海霞 吴东 《中国海洋大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第S2期136-140,共5页
基于Fabry-Perot干涉仪的双边缘激光测风原理,模拟计算并分析Fabry-Perot干涉仪的温度变化以及入射到Fab-ry-Perot干涉仪上的回波发散角对风速误差的影响。结果表明:Fabry-Perot干涉仪的温度变化会引起Fabry-Perot干涉仪的频率漂移,在... 基于Fabry-Perot干涉仪的双边缘激光测风原理,模拟计算并分析Fabry-Perot干涉仪的温度变化以及入射到Fab-ry-Perot干涉仪上的回波发散角对风速误差的影响。结果表明:Fabry-Perot干涉仪的温度变化会引起Fabry-Perot干涉仪的频率漂移,在设置了锁频通道的条件下,只需较低精度的温控即可大大减小Fabry-Perot干涉仪的频率漂移对系统性能的影响;要保证一定的测风精度,入射到Fabry-Perot干涉仪上的回波发散角不能太大(要达到1 m/s的测风精度,回波发散角必须<2.5 mrad),并需要重新设置Fabry-Perot干涉仪的工作点。 展开更多
关键词 fabry-perot干涉仪 激光测风 温度变化 回波发散角
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基于Fabry-Perot干涉仪气辉观测数据反演中性风速方法比较 被引量:2
11
作者 杨润 徐寄遥 +1 位作者 朱亚军 袁韦 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期76-83,共8页
利用半径法、完整傅里叶级数描述法和非线性回归法分别对安装在河北省境内国家天文台兴隆园区(40.2°N, 117.4°E)的Fabry-Perot干涉仪(FPI)获得的地基中高层大气气辉观测数据进行风速反演.反演结果表明,半径法、完整傅里叶级... 利用半径法、完整傅里叶级数描述法和非线性回归法分别对安装在河北省境内国家天文台兴隆园区(40.2°N, 117.4°E)的Fabry-Perot干涉仪(FPI)获得的地基中高层大气气辉观测数据进行风速反演.反演结果表明,半径法、完整傅里叶级数描述法和非线性回归法均能很好地反演风速,在误差范围内反演结果存在很好的一致性.相对于半径法和完整傅里叶级数描述法,非线性回归方法更完整地利用了观测数据信息,反演结果可信度较高. 展开更多
关键词 fabry-perot干涉仪 风速 反演方法
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测量温度和位移的光纤Fabry-Perot干涉仪 被引量:1
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作者 陈国霖 戴福隆 周辛庚 《实验力学》 CSCD 北大核心 2002年第z1期149-152,共4页
本文描述了两种光纤Fabry-Peort干涉仪的原理、结构和制造方法.采用光频调制方法用以辨别干涉时域条纹的移动方向,实现了对温度和位移的测量.另外还介绍了条纹计数检测的电路原理.
关键词 fabry-perot干涉仪 温度测量 位移测量
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基于非本征型Fabry-Perot干涉仪的膜片式光纤麦克风 被引量:2
13
作者 丁文慧 蔺博 《光通信技术》 北大核心 2019年第8期35-37,共3页
传统声波传感器的有源性严重制约了其在强电磁场干扰、易燃易爆等特殊复杂环境中的应用,而光纤声传感器具有抗电磁干扰、体积小和灵敏度高等优点.提出了一种膜片式光纤麦克风,利用延展性较好的镍金属膜片作为传感薄膜,构成非本征型Fabry... 传统声波传感器的有源性严重制约了其在强电磁场干扰、易燃易爆等特殊复杂环境中的应用,而光纤声传感器具有抗电磁干扰、体积小和灵敏度高等优点.提出了一种膜片式光纤麦克风,利用延展性较好的镍金属膜片作为传感薄膜,构成非本征型Fabry-Perot干涉仪.利用静态工作点方法对声音信号进行解调,测试其传感性能.实验结果表明:该光纤麦克风具有灵敏度高、信噪比大、线性度高以及低频响应平坦的特点. 展开更多
关键词 光纤麦克风 镍金属膜片 非本征型fabry-perot干涉仪
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光纤Fabry-Perot干涉仪的微观分析模型
14
作者 丁贤澄 陈世平 《应用光学》 CAS CSCD 1989年第1期58-62,44,共6页
本文第一次确定了普遍意义下的F-P干涉方程和光谱灵敏度方程,并采用剖面展开模型,确立了FFPI光学空间的数学表达式和端面特性。引入缺陷参数x和FFPI的本征参量ν来分别表征FFPI的径向不均匀性和其对FFPI各级次的影响。同时,详尽地分析了... 本文第一次确定了普遍意义下的F-P干涉方程和光谱灵敏度方程,并采用剖面展开模型,确立了FFPI光学空间的数学表达式和端面特性。引入缺陷参数x和FFPI的本征参量ν来分别表征FFPI的径向不均匀性和其对FFPI各级次的影响。同时,详尽地分析了FFPI中轴向和径向缺陷对干涉条纹的影响。基于以上分析,最后确立了FFPI可能的结构。 展开更多
关键词 光谱灵敏度 fabry-perot 干涉仪 干涉条纹 分析模型 光纤端面 不均匀性 干涉 多光束干涉 自由光谱范围
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F-P干涉仪传递函数的分析及模拟 被引量:2
15
作者 胡国元 艾勇 张燕革 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2008年第S2期330-333,共4页
利用Fabry-Perot干涉仪(FPI)测量气辉的多普勒频移和展宽是目前对中高层大气风场和温度场进行测量的主要方法之一。通过对FPI成像过程的物理描述,引入了一个表征系统偏差的特征量,给出了系统光学传输函数的傅立叶级数解。重要的是,在傅... 利用Fabry-Perot干涉仪(FPI)测量气辉的多普勒频移和展宽是目前对中高层大气风场和温度场进行测量的主要方法之一。通过对FPI成像过程的物理描述,引入了一个表征系统偏差的特征量,给出了系统光学传输函数的傅立叶级数解。重要的是,在傅立叶系数与特征量之间建立起了明确的数学关系,并与632.8nm氦氖激光多光束干涉实验拟合出的傅立叶系数相符。 展开更多
关键词 fabry-perot干涉仪(fpi) 传输函数 特征量 傅立叶级数
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高层大气测风用地基F-P干涉仪的数值模拟 被引量:14
16
作者 王英鉴 王咏梅 王后茂 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1732-1739,共8页
热层大气风场、温度场对热层-电离层耦合研究、热层环流特性研究以及太阳活动和地磁活动研究等有着重要意义,同时其也是航天器飞行环境预报的重要物理基础.目前,由于热层所处位置较高,大气非常稀薄,风场探测难度较大,因此针对热层大气... 热层大气风场、温度场对热层-电离层耦合研究、热层环流特性研究以及太阳活动和地磁活动研究等有着重要意义,同时其也是航天器飞行环境预报的重要物理基础.目前,由于热层所处位置较高,大气非常稀薄,风场探测难度较大,因此针对热层大气风场的探测手段非常少.Fabry-Perot(FP)光学干涉仪可通过观测气辉来进行风场探测,其对成像系统像质要求不高,在设计中无需过分追求像质,已经成为热层风场测量的重要工具.由于风场观测气辉的辐射强度非常微弱,因此必须进行FP干涉仪测量系统优化,获得相对较强的辐射强度,以提高风场测量精度.但目前,对FP干涉仪系统优化方面的研究较少,且在测风误差评价方面的工作也不充实.本文通过热层测风用固定间距标准具地基FP干涉仪数值模型的建立,解决FP干涉仪设计过程中各参量的优化问题,并提出一种新的测风误差估算方法.数值模型结果分析表明,在目前探测器观测技术水平下,采用全部干涉环参与计算并结合像元合并技术进行风速反演可最大限度地提高测量精度.此外,由于气辉辐射强度是影响热层大气风场测量精度的重要因素,因此在仪器测风精度性能评价时需确定观测对象强度,即气辉的辐射强度. 展开更多
关键词 热层大气风场 fabry-perot干涉仪 气辉强度 数值模拟 测风误差
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基于F-P干涉仪溶液浓度微变量实时监测系统的研究 被引量:5
17
作者 金清理 颜利芬 王振国 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期431-435,共5页
设计了一款基于Fabry-Perot(F-P)干涉仪监测溶液浓度微小变化量的传感装置.利用光纤传输激光并用分体CCD采集图像,实现对溶液浓度的高精度微变化量的实时监控和测量.从理论上分析了F-P干涉仪干涉条纹的改变数目Δk与溶液浓度微变化量Δc... 设计了一款基于Fabry-Perot(F-P)干涉仪监测溶液浓度微小变化量的传感装置.利用光纤传输激光并用分体CCD采集图像,实现对溶液浓度的高精度微变化量的实时监控和测量.从理论上分析了F-P干涉仪干涉条纹的改变数目Δk与溶液浓度微变化量Δc(Δk)之间的关系,采用平面F-P干涉仪实现高精度测量溶液浓度微变化量的原理和可行性.在实验上构建了由He-Ne激光器、石英光纤、平面F-P干涉容器腔、面阵分体CCD、计算机等组成的实验监控与测量装置,对三组不同浓度的甘油溶液进行测量,通过观察干涉条纹的改变数目测定溶液浓度的改变量,用实验结果标定溶液浓度微变化量Δc(Δk)与干涉条纹改变数目Δk之间的数学解析式.实验结果表明:采用该系统可以监测到10-4量级的溶液浓度的变化值. 展开更多
关键词 fabry-perot干涉仪 溶液浓度 浓度监测系统 CCD采集图像 浓度变化
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基于双F-P干涉仪的多普勒测风激光雷达的性能分析(英文) 被引量:2
18
作者 迟如利 封素敏 +3 位作者 钟志庆 孙东松 周军 胡欢陵 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期36-40,共5页
自行研制了一台基于双边缘技术的多普勒激光雷达,用于测量对流层大气风场。该雷达采用具有高光谱分辨率的双Fabry-Perot干涉仪来检测气溶胶后向散射的多普勒频移量。给出了多普勒测风激光雷达的结构和参数。利用干涉仪参数讨论了雷达系... 自行研制了一台基于双边缘技术的多普勒激光雷达,用于测量对流层大气风场。该雷达采用具有高光谱分辨率的双Fabry-Perot干涉仪来检测气溶胶后向散射的多普勒频移量。给出了多普勒测风激光雷达的结构和参数。利用干涉仪参数讨论了雷达系统的测量精度。实验测定了双干涉仪的频谱曲线。通过计算和分析,由测量的干涉仪频谱曲线的的标准偏差引起的系统测量误差为0.5 m/s。系统的测量误差随着测量的高度和所测速度的增加在增大,在高度10 km测量50 m/s的风速时系统的测量误差小于2 m/s。 展开更多
关键词 多普勒 fabry-perot干涉仪 激光雷达 后向散射
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中高层大气风场星载FPI干涉条纹的处理 被引量:4
19
作者 韩威华 王咏梅 +1 位作者 吕建工 杜述松 《科学技术与工程》 2010年第10期2420-2423,共4页
中高层大气的探测与研究日益受到世界各国高度关注,中国科学院空间中心自行设计搭建了带有大口径望远镜的星载FPI原理样机,获取了干涉条纹图像。介绍FPI的原理和特点,阐述干涉条纹的处理方法,即滤波的基础上进行图像分割和干涉条纹细化... 中高层大气的探测与研究日益受到世界各国高度关注,中国科学院空间中心自行设计搭建了带有大口径望远镜的星载FPI原理样机,获取了干涉条纹图像。介绍FPI的原理和特点,阐述干涉条纹的处理方法,即滤波的基础上进行图像分割和干涉条纹细化线条提取。两步滤波分为中值滤波去除脉冲干扰和区域背景补偿,再采用区域平均灰度值阈值法图像分割得到二值化条纹,数学形态学运算填充小的断裂点和消除毛刺,进行条纹细化操作提取条纹。应用VC++开发了图像处理软件平台,实现了多种滤波、分割和细化的算法,各种处理结果予以对比。FPI干涉条纹处理自动化的方法应用效果明显,得到验证。 展开更多
关键词 法布里-帕罗干(fabry-perot fpi) 样机 干涉条纹图像 滤波 图像分割 细化
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双Fabry-Perot干涉纳米测量控制系统的设计 被引量:1
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作者 陈本永 朱若谷 吴昭同 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期43-49,共7页
设计了一种基于双 Fabry- Perot干涉仪的新型纳米测量系统 ,阐述了系统各环节的数学模型。针对探针与样品表面相互作用的数学模型比较复杂的特点 ,详细设计了基于模糊控制理论的控制系统 ,提出了通过控制探针振动曲线中线不变进行纳米... 设计了一种基于双 Fabry- Perot干涉仪的新型纳米测量系统 ,阐述了系统各环节的数学模型。针对探针与样品表面相互作用的数学模型比较复杂的特点 ,详细设计了基于模糊控制理论的控制系统 ,提出了通过控制探针振动曲线中线不变进行纳米测量的理论依据及实测方法。在此基础上 ,对系统进行了仿真实验 。 展开更多
关键词 纳米测量 fabry-perot干涉仪 模糊控制 数学模型
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