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GaAs/GaAlAs阴极粘结工艺的X射线双晶衍射测量 被引量：1
1
作者 闫金良 向世明 《红外技术》 EI CSCD 北大核心 1998年第2期33-37,共5页
分析了ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ阴极粘结工艺中应力产生的根源和晶体中应力对Ｘ射线双晶衍射峰的宽度和强度的影响。用Ｘ射线双晶衍射仪测量了阴极和玻璃热粘结工艺过程中阴极材料外延层和衬底的双晶回摆曲线。实验结果表明，ＧａＡｓ／... 分析了ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ阴极粘结工艺中应力产生的根源和晶体中应力对Ｘ射线双晶衍射峰的宽度和强度的影响。用Ｘ射线双晶衍射仪测量了阴极和玻璃热粘结工艺过程中阴极材料外延层和衬底的双晶回摆曲线。实验结果表明，ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ阴极粘结工艺没有带来明显的附加应力，外延层衍射角度的展宽是由于ＧａＡｓ阴极组件窗玻璃的非晶态性所致。 展开更多
关键词 砷化镓 阴极 玻璃 X射线双晶衍射 光电子学
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GaAs/GaAsAl阴极粘结X射线双晶衍射测量
2
作者 阎金良 彭玉田 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期119-122,共4页
分析了GaAs／GaAsAl阴极粘结工艺中应力产生的根源和晶体中的应力对X射线双晶衍射峰的宽度和强度的影响。用X射线双晶衍射仪测量了阴极和玻璃热粘结工艺过程中的阴极材料外延层和衬底的双晶回摆曲线。实验结果表明，GaAs／GaAsAl阴极粘... 分析了GaAs／GaAsAl阴极粘结工艺中应力产生的根源和晶体中的应力对X射线双晶衍射峰的宽度和强度的影响。用X射线双晶衍射仪测量了阴极和玻璃热粘结工艺过程中的阴极材料外延层和衬底的双晶回摆曲线。实验结果表明，GaAs／GaAsAl阴极粘结工艺没有带来明显的附加应力，外延层衍射角度的展宽是由于CaAs阴极组件窗玻璃的非晶态性所致。 展开更多
关键词 砷化镓阴极 玻璃 X射线双晶衍射
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