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不同栅结构的部分耗尽NMOSFET/SIMOX的总剂量辐照效应研究 被引量:1
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作者 钱聪 张恩霞 +9 位作者 贺威 张正选 张峰 林成鲁 王英民 王小荷 赵桂茹 恩云飞 罗宏伟 师谦 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期308-312,共5页
研究了在改性注氧隔离(SIMOX)材料上制备的具有环栅和H型栅结构的部分耗尽NMOS晶体管在三种不同偏置状态的总剂量辐照效应。实验表明在10keV的X-射线总剂量辐照下,器件的背栅、正栅阈值电压负向漂移和漏电流都控制在较小的水平;在2Mrad(... 研究了在改性注氧隔离(SIMOX)材料上制备的具有环栅和H型栅结构的部分耗尽NMOS晶体管在三种不同偏置状态的总剂量辐照效应。实验表明在10keV的X-射线总剂量辐照下,器件的背栅、正栅阈值电压负向漂移和漏电流都控制在较小的水平;在2Mrad(SiO2)的辐照下仍能正常工作。研究证实了无论哪种栅结构,对于背栅,PG均为最劣偏置,其次是OFF偏置,而ON偏置下器件受辐照的影响最小;而对于正栅,ON均为最劣偏置。通过拟合计算出了绝缘埋层(BOX,即埋氧)中的饱和净正电荷密度Not和空穴俘获分数α。 展开更多
关键词 绝缘体上硅(SOI) 总剂量辐照效应 结构 h型栅结构
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