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InGaAs/InAlAs光电导太赫兹发射天线的制备与表征
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作者 陈益航 杨延召 +11 位作者 张桂铭 徐建星 苏向斌 王天放 余红光 石建美 吴斌 杨成奥 张宇 徐应强 倪海桥 牛智川 《太赫兹科学与电子信息学报》 2023年第12期1403-1409,1416,共8页
光电导天线作为太赫兹时域光谱仪产生与探测太赫兹辐射的关键部件,具有重要的科研与工业价值。本文采用分子束外延(MBE)方法制备InGaAs/InAlAs超晶格作为1550 nm光电导天线的光吸收材料,使用原子力显微镜、光致发光、高分辨X射线衍射等... 光电导天线作为太赫兹时域光谱仪产生与探测太赫兹辐射的关键部件,具有重要的科研与工业价值。本文采用分子束外延(MBE)方法制备InGaAs/InAlAs超晶格作为1550 nm光电导天线的光吸收材料,使用原子力显微镜、光致发光、高分辨X射线衍射等方式验证了材料的高生长质量;通过优化制备条件得到了侧面平整的台面结构光电导天线。制备的光电导太赫兹发射天线在太赫兹时域光谱系统中实现了4.5 THz的频谱宽度,动态范围为45 dB。 展开更多
关键词 太赫兹时域光谱仪 光电导天线 分子束外延 ingaas/inalas超晶格
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应变补偿InGaAs/InAlAs量子级联激光器 被引量:5
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作者 刘峰奇 张永照 +1 位作者 张权生 王占国 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第10期1038-1040,共3页
利用应变补偿的方法研制出激射波长 λ≈ 3.5— 3.7μm的量子级联激光器 .条宽 2 0 μm,腔长 1 .6mm的 Inx Ga1- x As/Iny Al1- y As量子级联激光器已实现室温准连续激射 .在最大输出功率处的准连续激射可持续 30 min以上 .
关键词 量子级联激光器 应变补偿 ingaas/inalas
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InGaAs/InAlAs异质结的H_3PO_4/H_2O_2系的湿法腐蚀
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作者 田招兵 张永刚 +1 位作者 李爱珍 顾溢 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期799-803,共5页
采用了H3PO4/H2O2系化学腐蚀液对GSMBE外延的InGaAs/InP和InA lAs/InP材料湿法腐蚀特性进行了研究,研究了不同浓度和配比对于腐蚀速率和形貌影响。结果表明该腐蚀液体系具有良好的均匀性,腐蚀速率随浓度呈指数关系,表面形貌基本不受浓... 采用了H3PO4/H2O2系化学腐蚀液对GSMBE外延的InGaAs/InP和InA lAs/InP材料湿法腐蚀特性进行了研究,研究了不同浓度和配比对于腐蚀速率和形貌影响。结果表明该腐蚀液体系具有良好的均匀性,腐蚀速率随浓度呈指数关系,表面形貌基本不受浓度影响。在增加腐蚀液中双氧水含量时,腐蚀速率先增大后减小,表面形貌良好;增加磷酸浓度腐蚀速率亦有增大趋势,表面出现尖锥状小丘。并对腐蚀液配比变化对腐蚀特性影响及腐蚀机理进行了讨论分析。 展开更多
关键词 ingaas/inalas 湿法腐蚀 异质结
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InGaAs/InAlAs多量子阱电吸收光调制器
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作者 金峰 孙可 +5 位作者 俞谦 王健华 李德杰 蔡丽红 黄绮 周钧铭 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1997年第6期24-26,共3页
在国内首次设计并制作了脊波导结构的In(0.53)Ga(0.47)As/In(0.52)Al(0.48)AS多量子阱电吸收型光调制器,并对它的工作特性进行了测试。在3.0V的驱动电压下实现了20dB以上的消光比,光3dB带宽达到了3GHz。对限制光调制器带宽的主要原... 在国内首次设计并制作了脊波导结构的In(0.53)Ga(0.47)As/In(0.52)Al(0.48)AS多量子阱电吸收型光调制器,并对它的工作特性进行了测试。在3.0V的驱动电压下实现了20dB以上的消光比,光3dB带宽达到了3GHz。对限制光调制器带宽的主要原因进行了分析,结果表明器件电容限制了带宽的提高,这主要是由于SiO2刻蚀液的钻蚀导致SiO2绝缘层厚度减小造成的。改进制作工艺可望大大改善调制器的工作带宽。 展开更多
关键词 光调制器 电吸收 多量子阱 ingaas/inalas
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Observation of the Third Subband Population in Modulation-Doped InGaAs/InAlAs Heterostructure
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作者 李含轩 王占国 +7 位作者 梁基本 徐波 卢梅 吴巨 龚谦 江潮 刘峰奇 周伟 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 1998年第1期57-59,共3页
The population of the third(n=3)two-dimensional electron subband of InGaAs/InAlAs modulation-doped structures has been observed by means of Fourier transform photoluminescence(PL).Three well resolved PL peaks centred ... The population of the third(n=3)two-dimensional electron subband of InGaAs/InAlAs modulation-doped structures has been observed by means of Fourier transform photoluminescence(PL).Three well resolved PL peaks centred at 0.737,0.908,and 0.980eV are observed,which are attributed to the transitions from the lowest three electron subbands to the n=1 heavy-hole subband.The subband separations clearly exhibiting the features of the stepped quantum well with triangle and square potentials are consistent with numerical calculation.Thanks to the presence of Fermi cutoff,the population ratio of these three subbands can be estimated.Temperature and excitation-dependent luminescences are also analyzed. 展开更多
关键词 ingaas/inalas TRIANGLE excitation
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InGaAs/InAlAs多量子阱脊形波导及定向耦合器光波特性准矢量分析 被引量:3
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作者 肖金标 马长峰 +1 位作者 张明德 孙小菡 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期254-260,共7页
提出了一种基于级数展开的三维准矢量束传播法(SE_QV_BPM)用以分析由InGaAs/InAlAs多量子阱构成的脊形光波导及定向耦合器.结果表明,刻蚀深度相同时,TM模比TE模在水平方向限制强,且TM模的模场在波导角上出现畸变;波导间距相同时,定向耦... 提出了一种基于级数展开的三维准矢量束传播法(SE_QV_BPM)用以分析由InGaAs/InAlAs多量子阱构成的脊形光波导及定向耦合器.结果表明,刻蚀深度相同时,TM模比TE模在水平方向限制强,且TM模的模场在波导角上出现畸变;波导间距相同时,定向耦合器TM波的耦合长度大于TE波的耦合长度,对偏振态敏感.分析获得了浅/深刻脊形光波导承载的准矢量TE/TM基模、定向耦合器承载的TE/TM偶/奇模的模场分布及其有效折射率,模拟了光场在定向耦合器中的传输演变情况.另外,SE_QV_BPM导出矩阵小,计算效率高;采用正弦基函数展开,对波导结构没有限制;引入了变量变换,避免了边界截断问题. 展开更多
关键词 级数展开 准矢量束传播法 多量子阱 ingaas/inalas
原文传递
InGaAs/InAlAs多量子阱脊形光波导及其定向耦合器准矢量分析
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作者 肖金标 马长峰 +1 位作者 张明德 孙小菡 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期204-206,213,共4页
运用基于三角函数展开的三维准矢量束传播法分析了由InGaAs/InAlAs多量子阱(MQW)构成的脊形光波导及其定向耦合器;获得了脊形光波导承载的模场分布及其有效折射率,并观察到了TM模的奇变;模拟了光波在定向耦合器件中的传输演变情况.所得... 运用基于三角函数展开的三维准矢量束传播法分析了由InGaAs/InAlAs多量子阱(MQW)构成的脊形光波导及其定向耦合器;获得了脊形光波导承载的模场分布及其有效折射率,并观察到了TM模的奇变;模拟了光波在定向耦合器件中的传输演变情况.所得结果为制作由此为基础的复杂器件奠定了基础. 展开更多
关键词 ingaas/inalas MQW 脊形光波导 定向耦合器 三维光束传播法 级数展开法
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InGaAs/InAlAs多量子阱单环谐振腔光滤波器性能分析
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作者 徐国明 蔡纯 +2 位作者 肖金标 张明德 孙小菡 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期207-209,共3页
提出了一种基于InGaAS/InAlAs多量子阱结构的单环谐振腔光滤波器.应用时域有限差分(FDTD)法,对工作波长约为1.3 μm,圆环半径在9μm到13μm的二维单环光谐振腔滤波器实现了数值模拟.重点分析了该滤波器的光谱响应、主瓣结构和半高全宽(F... 提出了一种基于InGaAS/InAlAs多量子阱结构的单环谐振腔光滤波器.应用时域有限差分(FDTD)法,对工作波长约为1.3 μm,圆环半径在9μm到13μm的二维单环光谐振腔滤波器实现了数值模拟.重点分析了该滤波器的光谱响应、主瓣结构和半高全宽(FWHM)、插入损耗、消光比等参数,对器件进行了优化设计. 展开更多
关键词 ingaas/inalas 多量子阱(MQW) 谐振腔 平面光波滤波器 FDTD
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可调2×2 InGaAs/InAlAs多量子阱多模干涉型耦合器优化设计
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作者 邹晓冬 肖金标 +1 位作者 张明德 孙小菡 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期210-213,共4页
提出了一种新型的基于InGaAs/InAlAs多量子阱可调2×2多模干涉型耦合器.通过在多模波导中引入三段控制电极,改变其驱动电压,可有效地调节器件两输出通道的输出功率,实现功分比可调,并且增大了器件的制作容差,减少对工艺的完全依赖.... 提出了一种新型的基于InGaAs/InAlAs多量子阱可调2×2多模干涉型耦合器.通过在多模波导中引入三段控制电极,改变其驱动电压,可有效地调节器件两输出通道的输出功率,实现功分比可调,并且增大了器件的制作容差,减少对工艺的完全依赖.利用半矢量变量变换伽辽金法和三维有限差分束传播法对其进行了模拟分析和优化设计,给出了器件的最佳参数.另外,InGaAs/InAlAs多量子阱在工作波长为1.3(m时,有良好的量子束缚Stark效应(QCSE),大大减小了驱动电压. 展开更多
关键词 耦合器 多模干涉 多量子阱 ingaas/inalas
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Impact of gate offset in gate recess on DC and RF performance of InAlAs/InGaAs InP-based HEMTs
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作者 曹书睿 封瑞泽 +3 位作者 王博 刘桐 丁芃 金智 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第5期720-724,共5页
A set of 100-nm gate-length In P-based high electron mobility transistors(HEMTs)were designed and fabricated with different gate offsets in gate recess.A novel technology was proposed for independent definition of gat... A set of 100-nm gate-length In P-based high electron mobility transistors(HEMTs)were designed and fabricated with different gate offsets in gate recess.A novel technology was proposed for independent definition of gate recess and T-shaped gate by electron beam lithography.DC and RF measurement was conducted.With the gate offset varying from drain side to source side,the maximum drain current(I_(ds,max))and transconductance(g_(m,max))increased.In the meantime,fTdecreased while f;increased,and the highest fmax of 1096 GHz was obtained.It can be explained by the increase of gate-source capacitance and the decrease of gate-drain capacitance and source resistance.Output conductance was also suppressed by gate offset toward source side.This provides simple and flexible device parameter selection for HEMTs of different usages. 展开更多
关键词 InP HEMT ingaas/inalas cut-off frequency(fT) maximum oscillation frequency(fmax) asymmetric gate recess
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InGaAs/InAlAs Five Layer Asymmetric Coupled Quantum Well (FACQW) for Ultra-Wideband Ultrafast Optical Modulators
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作者 Taro Arakawa Ryuji Iino +2 位作者 Tetsuya Ishie Terumasa Kawabata Kunio Tada 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第S1期343-344,共2页
An InGaAs/InAlAs five-layer asymmetric coupled quantum well (FACQW) is expected to show very large electrorefractive index change . n in a wideband transparency region. Band structures of the FACQW are analyzed with L... An InGaAs/InAlAs five-layer asymmetric coupled quantum well (FACQW) is expected to show very large electrorefractive index change . n in a wideband transparency region. Band structures of the FACQW are analyzed with Luttinger-Kohn Hamiltonian. The electrorefractive characteristics of the FACQW are discussed. 展开更多
关键词 ingaas/inalas Five Layer Asymmetric Coupled Quantum Well for Ultra-Wideband Ultrafast Optical Modulators FACQW
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截止频率为218GHz的超高速晶格匹配In_(0.53)Ga_(0.47)As/In_(0.52)Al_(0.48)As高电子迁移率晶体管(英文) 被引量:1
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作者 刘亮 张海英 +5 位作者 尹军舰 李潇 徐静波 宋雨竹 牛洁斌 刘训春 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1864-1867,共4页
报道了截止频率为218GHz的晶格匹配的In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As高电子迁移率晶体管.这是迄今为止国内报道的截止频率最高的高电子迁移率晶体管.器件直流特性也很优异:跨导为980mS/mm,最大电流密度为870mA/mm.文中的材料结构和所有... 报道了截止频率为218GHz的晶格匹配的In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As高电子迁移率晶体管.这是迄今为止国内报道的截止频率最高的高电子迁移率晶体管.器件直流特性也很优异:跨导为980mS/mm,最大电流密度为870mA/mm.文中的材料结构和所有器件制备工艺均为本研究小组自主研制开发. 展开更多
关键词 截止频率 高电子迁移率晶体管 ingaas/inalas INP
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功率增益截止频率为183GHz的In_(0.53)Ga_(0.47)As/In_(0.52)Al_(0.48)As HEMTs(英文) 被引量:1
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作者 刘亮 张海英 +7 位作者 尹军舰 李潇 杨浩 徐静波 宋雨竹 张健 牛洁斌 刘训春 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1860-1863,共4页
通过合理的外延层材料结构设计和改进的器件制备工艺,制备出功率增益截止频率(fmax)为183GHz的晶格匹配InP基In0.53Ga0.47As-In0.52Al0.48As HEMT.该fmax为国内HEMT器件最高值.还报道了器件的结构、制备工艺以及器件的直流和高频特性.
关键词 最大振荡频率/功率增益截止频率 高电子迁移率晶体管 ingaas/inalas INP
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非对称In_(0.53)Ga_(0.47)As/In_(0.52)Al_(0.48)As量子阱的零场自旋分裂能与高场g因子(英文)
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作者 徐勇刚 吕蒙 +4 位作者 陈建新 林铁 俞国林 戴宁 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期688-693,共6页
研究了非对称In_(0.53)Ga_(0.47)As/In_(0.52)Al_(0.48)As量子阱中二维电子气的磁输运性质,所测量的样品的径向磁阻R_(xx)的Shubinikov-de Haas振荡没有呈现出拍频的特征。通过测量样品的反弱局域效应提取了其零场自旋分裂能并通过对自... 研究了非对称In_(0.53)Ga_(0.47)As/In_(0.52)Al_(0.48)As量子阱中二维电子气的磁输运性质,所测量的样品的径向磁阻R_(xx)的Shubinikov-de Haas振荡没有呈现出拍频的特征。通过测量样品的反弱局域效应提取了其零场自旋分裂能并通过对自旋分裂的R_(xx)双峰间距随倾斜角度θ的依赖关系的拟合提取了高场下的有效g因子。样品的Dingle plot图呈现非线性的特征。 展开更多
关键词 二维电子气 ingaas/inalas量子阱 零场自旋分裂能 G因子
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Impact of symmetric gate-recess length on the DC and RF characteristics of InP HEMTs 被引量:1
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作者 封瑞泽 王博 +5 位作者 曹书睿 刘桐 苏永波 丁武昌 丁芃 金智 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第1期675-679,共5页
We fabricated a set of symmetric gate-recess devices with gate length of 70 nm.We kept the source-to-drain spacing(L_(SD))unchanged,and obtained a group of devices with gate-recess length(L_(recess))from 0.4µm to... We fabricated a set of symmetric gate-recess devices with gate length of 70 nm.We kept the source-to-drain spacing(L_(SD))unchanged,and obtained a group of devices with gate-recess length(L_(recess))from 0.4µm to 0.8µm through process improvement.In order to suppress the influence of the kink effect,we have done SiN_(X) passivation treatment.The maximum saturation current density(ID_(max))and maximum transconductance(g_(m,max))increase as L_(recess) decreases to 0.4µm.At this time,the device shows ID_(max)=749.6 mA/mm at V_(GS)=0.2 V,V_(DS)=1.5 V,and g_(m,max)=1111 mS/mm at V_(GS)=−0.35 V,V_(DS)=1.5 V.Meanwhile,as L_(recess) increases,it causes parasitic capacitance C_(gd) and g_(d) to decrease,making f_(max) drastically increases.When L_(recess)=0.8µm,the device shows f_(T)=188 GHz and f_(max)=1112 GHz. 展开更多
关键词 InP HEMT ingaas/inalas current gain cut-off frequency(fT) maximum oscillation frequency(f_(max)) gate-recess length(L_(recess))
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