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异质外延单晶金刚石的研究进展 被引量：5
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作者 王伟华 代兵 +10 位作者 王杨 舒国阳 刘本建 赵继文 李一村 刘康 房诗舒 杨世林 杨磊 韩杰才 朱嘉琦 《中国科学：技术科学》 EI CSCD 北大核心 2020年第7期831-848,共18页
单晶金刚石具有优异的力、声、热、光、电等性质,而异质外延工艺是制备大尺寸单晶金刚石的一种重要手段.本文以CVD工艺所采用的c-BN、Pt、Si、SiC、Ir复合衬底等不同类型异质衬底为主线,以国内外开展该研究的代表性团队所取得主要成果... 单晶金刚石具有优异的力、声、热、光、电等性质,而异质外延工艺是制备大尺寸单晶金刚石的一种重要手段.本文以CVD工艺所采用的c-BN、Pt、Si、SiC、Ir复合衬底等不同类型异质衬底为主线,以国内外开展该研究的代表性团队所取得主要成果为基础,对该领域多年来的发展历程、最新进展开展评述,主要涉及偏压增强形核技术及晶种处理后高温退火技术等高密度外延金刚石形核工艺及机理,基于台阶流动和向错形成机理的织构生长晶界湮灭过程与工艺调控,横向外延过度生长和离轴衬底生长等用于位错密度降低的工艺等内容,并在最后对该领域的未来发展做出展望. 展开更多
关键词 异质外延 单晶金刚石 ir复合衬底 大尺寸 横向外延过度生长 离轴衬底生长
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