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碳化硼研磨后蓝宝石晶体的亚表面损伤
被引量:
5
1
作者
谢春
汪家林
唐慧丽
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期3070-3078,共9页
介绍了蓝宝石材料的亚表面损伤形成机制。考虑碳化硼磨料可产生较小亚表面损伤的优点,本文基于游离磨料研磨方式,研究了不同粒度碳化硼磨料研磨后蓝宝石晶体的亚表面损伤。利用KOH化学腐蚀处理技术,对研磨后的样品进行了刻蚀;通过特定...
介绍了蓝宝石材料的亚表面损伤形成机制。考虑碳化硼磨料可产生较小亚表面损伤的优点,本文基于游离磨料研磨方式,研究了不同粒度碳化硼磨料研磨后蓝宝石晶体的亚表面损伤。利用KOH化学腐蚀处理技术,对研磨后的样品进行了刻蚀;通过特定的腐蚀坑图像间接反映了蓝宝石晶体的亚表面损伤形貌特征,获得了W20、W10和W5碳化硼磨料产生的亚表面损伤深度,得到了在不同刻蚀时间下蓝宝石亚表面损伤形貌、表面粗糙度和刻蚀速率。研究结果显示:游离碳化硼磨料研磨造成的蓝宝石晶体的亚表面损伤密度相当显著,但损伤深度并不大,其随磨料粒度的增大而增大,W20、W10和W5粒度的磨料研磨后产生的亚表面损伤深度分别为7.4,4.1和2.9μm,约为磨料粒度的1/2。得到的结果表明采用碳化硼磨料研磨有利于获得低亚表面损伤的蓝宝石晶片,而采用由大到小的磨料逐次研磨可以快速获得低亚表面损伤的蓝宝石晶片。
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关键词
蓝宝石晶体
亚表面损伤
游离碳化硼磨料
koh化学腐蚀
表面粗糙度
下载PDF
职称材料
题名
碳化硼研磨后蓝宝石晶体的亚表面损伤
被引量:
5
1
作者
谢春
汪家林
唐慧丽
机构
同济大学中德工程学院
同济大学机械与能源工程学院
同济大学物理科学与工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期3070-3078,共9页
基金
国家自然科学基金创新研究群体项目(No.61621001)
国家重点研发计划资助项目(No.2016YFA0401304)
文摘
介绍了蓝宝石材料的亚表面损伤形成机制。考虑碳化硼磨料可产生较小亚表面损伤的优点,本文基于游离磨料研磨方式,研究了不同粒度碳化硼磨料研磨后蓝宝石晶体的亚表面损伤。利用KOH化学腐蚀处理技术,对研磨后的样品进行了刻蚀;通过特定的腐蚀坑图像间接反映了蓝宝石晶体的亚表面损伤形貌特征,获得了W20、W10和W5碳化硼磨料产生的亚表面损伤深度,得到了在不同刻蚀时间下蓝宝石亚表面损伤形貌、表面粗糙度和刻蚀速率。研究结果显示:游离碳化硼磨料研磨造成的蓝宝石晶体的亚表面损伤密度相当显著,但损伤深度并不大,其随磨料粒度的增大而增大,W20、W10和W5粒度的磨料研磨后产生的亚表面损伤深度分别为7.4,4.1和2.9μm,约为磨料粒度的1/2。得到的结果表明采用碳化硼磨料研磨有利于获得低亚表面损伤的蓝宝石晶片,而采用由大到小的磨料逐次研磨可以快速获得低亚表面损伤的蓝宝石晶片。
关键词
蓝宝石晶体
亚表面损伤
游离碳化硼磨料
koh化学腐蚀
表面粗糙度
Keywords
sapphire crystal
subsurface damage
loose boron carbide abrasive
koh
chemical corrosion
surface roughness
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
碳化硼研磨后蓝宝石晶体的亚表面损伤
谢春
汪家林
唐慧丽
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
5
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职称材料
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