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连接温度对W/Ni/Kovar真空扩散连接接头界面结构及结合强度的影响 被引量:1
1
作者 仵金玲 刘思雨 +2 位作者 张彪 魏智磊 史忠旗 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期139-144,共6页
以Ni箔为中间层材料,采用真空扩散连接方法进行W与Kovar合金的连接,研究了连接温度对W/Ni/Kovar接头界面结构和剪切强度的影响。结果表明:在520~1000℃范围内,利用真空扩散连接工艺均可成功制备出W/Ni/Kovar接头样品。随着连接温度的升... 以Ni箔为中间层材料,采用真空扩散连接方法进行W与Kovar合金的连接,研究了连接温度对W/Ni/Kovar接头界面结构和剪切强度的影响。结果表明:在520~1000℃范围内,利用真空扩散连接工艺均可成功制备出W/Ni/Kovar接头样品。随着连接温度的升高,Kovar/Ni界面与Ni/W界面的扩散层厚度逐渐增加,而接头剪切强度呈先上升后下降的趋势。当连接温度为800℃时,样品的接头剪切强度高达182 MPa,此时主要发生W块体的剪切断裂。 展开更多
关键词 真空扩散焊 剪切强度 kovar合金 中间层
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SiC_(f)/SiC包壳管和Kovar合金钎焊接头的组织及力学性能研究
2
作者 高笑语 姬雄帅 +4 位作者 张华锋 赵建国 牛凤姣 黄建源 郭亚杰 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期13-17,共5页
碳化硅纤维增强碳化硅复合材料(SiC_(f)/SiC)具有较低的水蒸气化学活性、低中子吸收截面和高损伤耐受性,被视为理想的核用包壳材料。钎焊是实现SiC_(f)/SiC包壳管和Kovar合金端塞连接的重要工艺。本文用Ag-34.5Cu-3Ti钎料完成了SiC_(f)/... 碳化硅纤维增强碳化硅复合材料(SiC_(f)/SiC)具有较低的水蒸气化学活性、低中子吸收截面和高损伤耐受性,被视为理想的核用包壳材料。钎焊是实现SiC_(f)/SiC包壳管和Kovar合金端塞连接的重要工艺。本文用Ag-34.5Cu-3Ti钎料完成了SiC_(f)/SiC包壳管与Kovar合金端塞的钎焊。结果表明:钎焊温度为880℃、保温时间为30 min时,钎焊焊缝组织致密,无明显缺陷。焊缝组织主要为Ag-Cu共晶,界面反应层的主要相组成为TiC和Fe2Si。钎焊接头的抗剪切强度达到了41.2 MPa。 展开更多
关键词 SiC_(f)/SiC包壳管 kovar合金 AgCuTi钎料
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基于阳极键合的玻璃与Kovar合金连接 被引量:1
3
作者 庞子明 胡利方 +2 位作者 贾旭 韩伟韬 李子昊 《热加工工艺》 北大核心 2023年第1期119-122,共4页
利用阳极键合成功实现了Borofloat33(BF33)玻璃与Kovar合金的连接。键合电流变化表明,键合过程中,电流先快速增大到峰值,之后呈指数式下降,且键合电流峰值随着键合温度与电压的升高而增大。利用扫描电子显微镜(SEM)对Glass-Kovar界面进... 利用阳极键合成功实现了Borofloat33(BF33)玻璃与Kovar合金的连接。键合电流变化表明,键合过程中,电流先快速增大到峰值,之后呈指数式下降,且键合电流峰值随着键合温度与电压的升高而增大。利用扫描电子显微镜(SEM)对Glass-Kovar界面进行微观形貌观察,键合界面良好,在500℃/1000 V的条件下,Glass-Kovar界面处Na+耗尽层的厚度约为100 nm。室温拉伸试验表明,样品的剪切强度随着键合温度与电压的升高而增大,且断裂总是发生在玻璃基体上。 展开更多
关键词 BF33玻璃 kovar合金 阳极键合 Na+耗尽层
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氧化膜对玻璃-Kovar合金封接的影响 被引量:14
4
作者 胡忠武 王警卫 +1 位作者 杨清海 包杰 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期427-429,共3页
采用金相、 XRD、 SEM观察分析了 Kovar合金 (铁镍钴合金 )氧化膜的连续性、厚度对封接件的透气率、抗拉强度的影响。结果表明 :合金的预氧化处理能改善玻璃与 Kovar合金的封接性能 ,降低渗漏率 ,提高封接强度 ;氧化膜的连续性 ,致密性... 采用金相、 XRD、 SEM观察分析了 Kovar合金 (铁镍钴合金 )氧化膜的连续性、厚度对封接件的透气率、抗拉强度的影响。结果表明 :合金的预氧化处理能改善玻璃与 Kovar合金的封接性能 ,降低渗漏率 ,提高封接强度 ;氧化膜的连续性 ,致密性对封接有重要作用 ;具有尖晶石型结构的氧化膜对封接有利 ,且氧化膜最佳增重是 3g/ m2 ~7g/ m2 。 展开更多
关键词 氧化膜 连续性 玻璃 kovar合金 封接
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Mo中间层对防止Al_2O_3/Kovar钎焊接头裂纹的作用(英文) 被引量:5
5
作者 于治水 杨沛 +1 位作者 祁凯 李瑞峰 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2118-2121,共4页
为避免Al2O3陶瓷/Kovar接头裂纹的产生,在Kovar表面磁控溅射金属Mo,并使用Ti-Cu-Ni活性钎料进行钎焊试验。通过扫描电镜和能谱对界面微观组织和成分进行了分析。结果表明,当溅射钼中间层的厚度为14.2μm时,在Al2O3/Kovar界面处,Mo中间... 为避免Al2O3陶瓷/Kovar接头裂纹的产生,在Kovar表面磁控溅射金属Mo,并使用Ti-Cu-Ni活性钎料进行钎焊试验。通过扫描电镜和能谱对界面微观组织和成分进行了分析。结果表明,当溅射钼中间层的厚度为14.2μm时,在Al2O3/Kovar界面处,Mo中间层可阻碍Kovar中Fe元素与钎料中Ti元素相互反应产生脆性FexTiy金属间化合物,防止了界面处裂纹的生成。 展开更多
关键词 AL2O3 kovar 磁控溅射 MO
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轧制复合制备Kovar/Cu/Kovar层状复合材料 被引量:4
6
作者 杨会娟 王志法 +2 位作者 姜国圣 王海山 唐仁政 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 2004年第2期7-10,共4页
分析研究了轧制温度和单道次变形率对Kovar/Cu/Kovar层状复合材料制备的影响.结果表明,轧制温度为800℃,单道次变形率为50%时,Kovar/Cu/Kovar电子封装材料的界面结合强度较好,电阻率、抗拉强度等性能均达到要求。
关键词 电子封装材料 kovar/Cu/kovar 轧制复合 轧制温度 变形率
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Kovar合金注射成形工艺研究 被引量:6
7
作者 段柏华 周晓晖 +1 位作者 曲选辉 徐征宙 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期70-72,共3页
重点研究了注射成形Kovar合金的脱脂及烧结工艺。结果表明 :溶剂脱脂 +热脱脂工艺能有效快速地实现粘结剂的完全脱除 ,通过烧结后获得了 2 5~ 40 0℃内平均热膨胀系数为 5 .75× 10 -6/℃的注射成形Kovar合金封装盒体。金相显微组... 重点研究了注射成形Kovar合金的脱脂及烧结工艺。结果表明 :溶剂脱脂 +热脱脂工艺能有效快速地实现粘结剂的完全脱除 ,通过烧结后获得了 2 5~ 40 0℃内平均热膨胀系数为 5 .75× 10 -6/℃的注射成形Kovar合金封装盒体。金相显微组织及XRD分析说明了合金主要以奥氏体 (γ相 )主相及少量的α相共同组成 ,这种α相的存在是PIMKovar合金热膨胀系数偏高的主要原因。 展开更多
关键词 粉末注射成形 kovar合金 热膨胀性 电子封装材料
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注射成形Kovar合金蜡基粘结剂的优化 被引量:7
8
作者 罗铁钢 曲选辉 秦明礼 《矿业研究与开发》 CAS 北大核心 2005年第1期37-40,共4页
表征MIM喂料流变学性能的主要指标是喂料的粘度及粘度对应变和温度的敏感性,这些指标可统一用MIM喂料综合流变学因子进行评价。本文运用该评价因子研究了几种不同配方粘结剂的Kovar合金喂料的流变性能,并通过成形生坯强度和产品浇口痕... 表征MIM喂料流变学性能的主要指标是喂料的粘度及粘度对应变和温度的敏感性,这些指标可统一用MIM喂料综合流变学因子进行评价。本文运用该评价因子研究了几种不同配方粘结剂的Kovar合金喂料的流变性能,并通过成形生坯强度和产品浇口痕迹进行综合比较,选择了一种最优的注射成形Kovar合金蜡基粘结剂。 展开更多
关键词 kovar合金 喂料 粘度 流变学性能 生坯强度
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X射线对Kovar封装材料的剂量增强效应的Monte-Carlo计算 被引量:5
9
作者 郭红霞 张义门 +5 位作者 陈雨生 周辉 龚建成 吴国荣 林东升 韩福斌 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期392-396,共5页
用 Monte- Carlo光子 -电子耦合输运程序计算了真实半导体封装 Kovar结构对不同能量 X射线在硅中的剂量增强因子 ,并与内层不涂金的 Kovar结构进行比较 ,计算了界面处两种结构进入硅的净电子数 ,结果证实了界面处产生的剂量增强主要来... 用 Monte- Carlo光子 -电子耦合输运程序计算了真实半导体封装 Kovar结构对不同能量 X射线在硅中的剂量增强因子 ,并与内层不涂金的 Kovar结构进行比较 ,计算了界面处两种结构进入硅的净电子数 ,结果证实了界面处产生的剂量增强主要来自界面处高 Z材料二次电子的贡献 。 展开更多
关键词 剂量增强效应 MONTE-CARLO方法 平衡剂量 损伤增强 半导体 kovar 封装材料 集成电路 X射线
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ZrO_2陶瓷与Kovar合金钎焊接头的组织与性能 被引量:2
10
作者 蔺晓超 曹健 +1 位作者 张丽霞 冯吉才 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期65-68,116,共4页
在钎焊温度825~960℃,保温时间1~60 min的条件下,采用自行设计制备的Ag-Cu-TiH2活性粉末钎料实现了ZrO2陶瓷和4J33 Kovar合金的钎焊.利用扫描电镜、能谱分析及X射线衍射分析的方法对接头的界面组织进行了分析.结果表明,接头典型界面结构... 在钎焊温度825~960℃,保温时间1~60 min的条件下,采用自行设计制备的Ag-Cu-TiH2活性粉末钎料实现了ZrO2陶瓷和4J33 Kovar合金的钎焊.利用扫描电镜、能谱分析及X射线衍射分析的方法对接头的界面组织进行了分析.结果表明,接头典型界面结构为Kovar/Ag(s.s)+Cu(s.s)+TiFe2/TiNi3+TiFe2+Ti-Fe-Ni/Ag(s.s)+Cu(s.s)+TiFe2/Cu2Ti4O/TiO+ZrxOy/ZrO2.对接头抗剪强度的分析结果表明,在钎焊温度875℃,保温时间10 min的条件下,接头获得了最高抗剪强度134 MPa,断裂发生在TiC反应层.随着钎焊温度及保温时间的变化,钎焊接头均发生不同程度的弱化,接头抗剪强度下降. 展开更多
关键词 氧化锆陶瓷 kovar合金 钎焊 界面组织 抗剪强度
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X射线管中95Al_2O_3和Kovar合金的活性钎焊 被引量:3
11
作者 陆善平 吴庆 +1 位作者 郭义 史冬云 《焊接》 1997年第10期2-5,共4页
通过润湿性实验、钎焊接头性能实验,系统地研究了95Al_2O_3和Kovar合金在不同形态Ag-Cu-Ti活性钎料作用下的润湿钎焊机制.实验发现钎焊合金与陶瓷发生了界面反应,生成Ti_3Al、TiAl等相.采用Ag-Cu—5Ti非晶钎料时,接头四点弯曲强度可达27... 通过润湿性实验、钎焊接头性能实验,系统地研究了95Al_2O_3和Kovar合金在不同形态Ag-Cu-Ti活性钎料作用下的润湿钎焊机制.实验发现钎焊合金与陶瓷发生了界面反应,生成Ti_3Al、TiAl等相.采用Ag-Cu—5Ti非晶钎料时,接头四点弯曲强度可达270MPa. 展开更多
关键词 X射线管 氧化铝 kovar合金 活性钎焊 金属 陶瓷
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玻璃与Kovar合金电场辅助阳极连接时紧密接触面积扩大过程的动力学 被引量:1
12
作者 陈铮 董师润 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期139-143,共5页
在施加电压为500V,连接温度为513-713 K的条件下,系统地研究了玻璃与Kovar合金电场辅助阳极连接时两者间紧密接触面积扩大过程的动力学.结果表明,玻璃与Kovar合金之间紧密接触面积的扩大过程受玻璃的弹性变... 在施加电压为500V,连接温度为513-713 K的条件下,系统地研究了玻璃与Kovar合金电场辅助阳极连接时两者间紧密接触面积扩大过程的动力学.结果表明,玻璃与Kovar合金之间紧密接触面积的扩大过程受玻璃的弹性变形或粘性流动控制(取决于连接温度).低于临界温度(约为663K)时,紧密接触面积扩大过程的激活能约为67kJ/mol(弹性变形控制),与玻璃电传导的激活能相近;高于该临界温度时,相应的激活能为 195 kJ/mol(粘性流动控制). 展开更多
关键词 紧密接触 动力学 激活能 电场辅助阳极连接 玻璃 kovar合金
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Kovar合金注射成形技术的研究 被引量:1
13
作者 秦明礼 曲选辉 +1 位作者 罗铁钢 段柏华 《真空电子技术》 2005年第4期37-40,共4页
以Fe粉、Ni粉和Co粉为原料,研究了利用注射成形技术生产Kovar合金封装盒体的工艺。选择了一种蜡基多聚物粘结剂体系,在粉末装载量为58%时,喂料的最佳注射参数是:温度160~170℃,压力90~120MPa。以喂料的热分析结果为指导,制定出合理的热... 以Fe粉、Ni粉和Co粉为原料,研究了利用注射成形技术生产Kovar合金封装盒体的工艺。选择了一种蜡基多聚物粘结剂体系,在粉末装载量为58%时,喂料的最佳注射参数是:温度160~170℃,压力90~120MPa。以喂料的热分析结果为指导,制定出合理的热脱脂工艺,对于6mm×6mm×50mm的注射坯,总共脱脂时间约为18h。将脱脂坯在1300℃烧结后,材料的致密度可达8.06g.cm-3,热膨胀系数在(4.5~6.0)×10-6K-1之间(25~450℃),所制备的封装盒体的气密性小于1.2×10-9Pa.m3.s-1。 展开更多
关键词 kovar合金 注射成形 热膨胀系数 气密性
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一种生产kovar合金封装盒体的新工艺
14
作者 罗铁钢 曲选辉 崔大伟 《潍坊学院学报》 2004年第6期57-59,14,共4页
采用蜡基多聚物为粘结剂体系,研究了注射成形Kovar合金盒体的生产工艺。以 喂料的热分析结果为指导,制定出合理的热脱脂工艺,总共热脱脂时间约为18h。在氢气气氛 下烧结,温度为1300℃时,可以制备出热膨胀系数在4.5-6.0×10-6K-1之间... 采用蜡基多聚物为粘结剂体系,研究了注射成形Kovar合金盒体的生产工艺。以 喂料的热分析结果为指导,制定出合理的热脱脂工艺,总共热脱脂时间约为18h。在氢气气氛 下烧结,温度为1300℃时,可以制备出热膨胀系数在4.5-6.0×10-6K-1之间(25- 450℃),气密性小于1.2×10-9Pa·m3·s-1的封装盒体。 展开更多
关键词 注射成形 kovar合金 脱脂 烧结
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Ni-Ti焊料部分液相瞬间连接高纯Al_2O_3-Kovar工艺的研究 被引量:9
15
作者 张春光 乔冠军 金志浩 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期299-302,共4页
通过Ni-Ti活性焊料部分液相瞬间连接工艺,实现了高纯Al2O3陶瓷和可伐合金(Kovar)的气密性连接。结果表明焊缝区呈现明显的“三明治”夹层结构,两侧主要为Ti2Ni金属间化合物层,中间为较厚的Ti固溶体层。接头强度最初随保温时间延长增加,... 通过Ni-Ti活性焊料部分液相瞬间连接工艺,实现了高纯Al2O3陶瓷和可伐合金(Kovar)的气密性连接。结果表明焊缝区呈现明显的“三明治”夹层结构,两侧主要为Ti2Ni金属间化合物层,中间为较厚的Ti固溶体层。接头强度最初随保温时间延长增加,但与焊接温度之间没有明显的单调关系。 展开更多
关键词 Ni-Ti焊料 部分液相瞬间连接 活性钎焊 氧化铝陶瓷 可代合金
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Pyrex玻璃与Kovar合金阳极键合界面微观结构及其形成机制 被引量:8
16
作者 刘翠荣 孟庆森 +1 位作者 胡立方 胡敏英 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期73-76,共4页
在温度300~500℃、电压400~650V、时间10~20min的阳极键合工艺条件下,Pyrex玻璃与Kovar合金可实现快速连接;采用高分辨扫描电镜、超轻元素能谱仪、透射电镜及X射线衍射仪分析了接合区微观组织、微区化学成分、界面微区相结构等。结... 在温度300~500℃、电压400~650V、时间10~20min的阳极键合工艺条件下,Pyrex玻璃与Kovar合金可实现快速连接;采用高分辨扫描电镜、超轻元素能谱仪、透射电镜及X射线衍射仪分析了接合区微观组织、微区化学成分、界面微区相结构等。结果表明,Pyrex玻璃与Kovar合金的结合过程分为三个阶段,即界面极化及静电吸附阶段,离子迁移及阳极氧化阶段,氧化物固相扩散结合及过渡区形成阶段;界面静电力及离子扩散迁移为界面结合的物理化学反应提供了必要条件;Pyrex玻璃与Kovar合金连接区由玻璃—过渡区—金属构成,过渡区的主要结构是尖晶石氧化物,其化学成分及致密度对接头强度具有较大影响。 展开更多
关键词 玻璃 可伐合金 阳极键合 连接界面 微观结构
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钎焊工艺对SiC/Kovar真空钎焊接头组织与性能的影响 被引量:1
17
作者 杨保琳 张强 +3 位作者 任啟森 刘彤 廖业宏 陈国清 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第10期952-958,共7页
采用Ag-Cu-Ti/Cu/Ag-Cu软性复合中间层钎料,研究了钎焊温度(810℃-900℃)、保温时间(5 min-30 min)对SiC陶瓷和Kovar合金真空钎焊接头组织及力学性能的影响。结果表明,随着钎焊温度的升高,两侧母材溶解加剧,陶瓷侧界面反应层TiC变厚,焊... 采用Ag-Cu-Ti/Cu/Ag-Cu软性复合中间层钎料,研究了钎焊温度(810℃-900℃)、保温时间(5 min-30 min)对SiC陶瓷和Kovar合金真空钎焊接头组织及力学性能的影响。结果表明,随着钎焊温度的升高,两侧母材溶解加剧,陶瓷侧界面反应层TiC变厚,焊缝中脆性相Fe_(3)Si、Ni_(2)Si含量增多,不利于残余应力的释放,其接头抗剪强度呈下降趋势。随着保温时间的延长,焊缝微观组织形貌变化不大,陶瓷侧界面反应层厚度先增加后保持不变;Cu(s,s)倾向于聚集在Kovar合金周围,其接头抗剪强度呈先升后降的趋势。当钎焊温度为810℃,保温时间为15 min时,钎焊接头抗剪强度最大,为33 MPa,其接头组织为:SiC陶瓷/TiC/Cu(s,s)+Ag(s,s)/Fe_(2)Ti+Fe_(3)Si/Kovar合金。 展开更多
关键词 SIC陶瓷 kovar合金 真空钎焊 连接机理
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Al_2O_3/Ni-Ti/Kovar钎焊接头热循环试验 被引量:2
18
作者 乔冠军 张春光 金志浩 《过程工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期71-74,共4页
对采用活性钎焊的Al2O3/Ni-Ti/Kovar(可伐)接头进行了考察,实验结果显示,接头经热循环后强度异常增加. 对此结果从材料的热膨胀特性、焊料微观结构、循环温度等方面进行了详细分析. 结果表明,本实验条件下热循环能显著降低焊接残余应力... 对采用活性钎焊的Al2O3/Ni-Ti/Kovar(可伐)接头进行了考察,实验结果显示,接头经热循环后强度异常增加. 对此结果从材料的热膨胀特性、焊料微观结构、循环温度等方面进行了详细分析. 结果表明,本实验条件下热循环能显著降低焊接残余应力,导致接头强度提高. 展开更多
关键词 活性钎焊 热循环 氧化铝陶瓷 可伐合金 焊接接头
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烧结温度与时间对注射成形4J29-Kovar合金性能的影响 被引量:2
19
作者 李波 罗丰华 +1 位作者 李益民 何浩 《粉末冶金材料科学与工程》 北大核心 2017年第6期747-752,共6页
以4J29-Kovar预合金粉末为原料,采用注射成形技术制备Kovar合金,研究烧结温度与烧结时间对合金的密度、硬度、抗拉强度以及热导率与热膨胀系数等性能的影响。结果表明,Kovar合金的烧结密度随烧结温度升高或烧结时间延长而增大,最佳烧结... 以4J29-Kovar预合金粉末为原料,采用注射成形技术制备Kovar合金,研究烧结温度与烧结时间对合金的密度、硬度、抗拉强度以及热导率与热膨胀系数等性能的影响。结果表明,Kovar合金的烧结密度随烧结温度升高或烧结时间延长而增大,最佳烧结温度为1 350℃,继续升高温度至1 400℃时合金晶粒异常粗大。在1 350℃下,随烧结时间从1.5 h延长至4 h,合金的热导率增加,抗拉强度先增大后减小,烧结时间为3 h时强度达到最大,硬度基本不变,HV维持在174左右,除烧结时间为1.5 h的样品热膨胀系数偏低外,其它样品的热膨胀系数在4.6×10^(-6)~5.4×10^(-6) K^(-1)(20~400℃)之间。最佳烧结时间为3 h,所得合金的相对密度达到95.7%,热导率为15.126W/(m?K),抗拉强度为397 MPa,满足Kovar合金与玻璃、陶瓷等材料进行电子封接的要求。 展开更多
关键词 烧结温度 烧结时间 4J29-kovar合金 金属注射成形 密度 热膨胀系数
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OXIDATION BEHAVIOR OF KOVAR ALLOY IN CONTROLLED ATMOSPHERE 被引量:10
20
作者 D. W. Luo Z.S. Shen 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第6期409-418,共10页
Controlled oxidation experiments were performed on Kovar alloy by changing oxidation atmosphere, temperature, and exposure time to produce films with different oxide type and thickness. The results indicated that sing... Controlled oxidation experiments were performed on Kovar alloy by changing oxidation atmosphere, temperature, and exposure time to produce films with different oxide type and thickness. The results indicated that single Fe3O4 and single FeO were respectively obtained when Kovar alloy was oxidized in N2-2.31%H2O-0.95%H2 at 500℃ and in N2-2.31%H2O-0.5%H2 at 1000℃, and all kinetic curves followed linear relation; mixed oxides of FeO and Fe3O4 formed when Kovar was oxidized in N2-2.31%H2O at 1000℃and parabolic kinetics were obeyed. Analysis of metallographic cross section of oxides indicated that oxygen diffusion inward through the oxide scale is responsible for intergranular oxide, which had formed beneath the oxide scales when the oxide products were mixed oxides of FeO and Fe3O4, and which did not occur when the oxide was single FeO or Fe3O4. The oxidation model was also established. 展开更多
关键词 kovar alloy Oxidation Controlled atmosphere H2-H2O-N2
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