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不同宽长比的柔性LTPS TFT的电应力可靠性
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作者 张之壤 朱慧 +3 位作者 刘行 张轶群 徐朝 郑文轩 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第6期589-595,共7页
为了研究不同宽长比的柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)的电应力可靠性,测试了器件的I-V特性,以表征器件在强电场直流应力下由于自热效应和热载流子效应带来的电学性能退化。通过瞬态电流法表征了器件在强电场直流应力下的时间常数谱... 为了研究不同宽长比的柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)的电应力可靠性,测试了器件的I-V特性,以表征器件在强电场直流应力下由于自热效应和热载流子效应带来的电学性能退化。通过瞬态电流法表征了器件在强电场直流应力下的时间常数谱,并对其产生的新陷阱进行定位,分析了产生陷阱的内在机理。结果表明,在相同的强电场直流应力下宽长比为3/2.5的器件,其电学参数变化最大,自热效应以及热载流子效应带来的影响也最大。自热效应导致器件性能退化的主要原因是较大的栅源电压导致Si/SiO2界面处和栅氧化层中的陷阱增多,而热载流子效应导致器件性能退化的主要原因则是由于较大的漏源电压使得漏极晶界陷阱态密度急剧升高。 展开更多
关键词 柔性低温多晶硅薄膜晶体管(ltps TFT) 自热效应 热载流子效应 瞬态电流 强电场直流应力
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基于LTPS制程工艺的LCD/OLED显示用玻璃基板发展综述 被引量:14
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作者 田英良 胡春明 +3 位作者 张广涛 王为 陈鑫鑫 李俊杰 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第A02期73-79,共7页
随着显示行业高端消费品的发展要求,LTPS成为目前显示领域炙手可热的先进技术,但是由于国外技术封锁,国内全部依赖进口,因而我们必须自主研发,提升综合竞争力。本文基于平板显示最新发展动态和研发热点,综述了高分辨率LCD/OLED显示产品... 随着显示行业高端消费品的发展要求,LTPS成为目前显示领域炙手可热的先进技术,但是由于国外技术封锁,国内全部依赖进口,因而我们必须自主研发,提升综合竞争力。本文基于平板显示最新发展动态和研发热点,综述了高分辨率LCD/OLED显示产品所用LTPS制程工艺种类与特点,以及LTPS制程工艺对玻璃基板的理化性能要求,其中,玻璃基板耐热性、热膨胀系数、紫外透过率、弹性模量是十分关键的技术指标;论述了溢流法生产工艺和浮法生产工艺所生产的LTPS玻璃基板的优势与劣势;总结了美国和日本开发满足LTPS制程工艺的玻璃基板产品状况;讲述了我国尚未形成技术和产业突破,亟须加大对LTPS制程工艺的玻璃基板的研发投入和产业探索的现状。 展开更多
关键词 低温多晶硅(ltps) 液晶显示/有机发光显示(LCD/OLED) 玻璃基板 制程工艺 热学性能
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LTPS AMOLED显示器像素电路阈值电压补偿效果的改善 被引量:2
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作者 皇甫鲁江 朱健超 +2 位作者 赵旭亮 卢江楠 刘利宾 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2022年第3期358-366,共9页
为改善LTPS AMOLED显示器像素电路阈值电压变动性补偿效果,本文分析了相关电压型像素电路的工作过程,确认了影响阈值电压补偿效果的关键因素,包括显示信号刷新扫描行周期对阈值电压获取充电时间的制约、驱动信号形成过程中相关TFT电容... 为改善LTPS AMOLED显示器像素电路阈值电压变动性补偿效果,本文分析了相关电压型像素电路的工作过程,确认了影响阈值电压补偿效果的关键因素,包括显示信号刷新扫描行周期对阈值电压获取充电时间的制约、驱动信号形成过程中相关TFT电容增量造成的阈值电压精度损失等。针对这些关键因素,本文提出了像素电路改进对策。通过分离阈值电压获取和数据电压信号刷新过程实现阈值电压获取充电时间的延长,通过反向增量电容补偿相关电容增量误差。在像素OLED驱动电流受阈值电压变动影响突出的低灰阶状态下,模拟结果表明阈值电压获取和数据电压信号刷新过程分离像素电路的OLED驱动电流变动性是参考电路的1/7;反向增量电容补偿像素电路OLED驱动电流变动性大约为无补偿参考电路的1/2。补偿效果样品视觉评价结果与模拟结果趋势相符。 展开更多
关键词 ltps AMOLED 阈值电压补偿 充电时间 电容增量
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基于LTPS制程工艺的LCD/OLED显示用玻璃基板发展综述
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作者 田英良 胡春明 +3 位作者 张广涛 王为 陈鑫鑫 李俊杰 《建筑玻璃与工业玻璃》 2019年第11期5-14,共10页
随着显示行业高端消费品的发展要求,LTPS成了目前显示领域炙手可热的先进技术,但是由于国外技术封锁,国内全部依赖进口,因而我们必须自主研发,提升综合竞争力。本文基于平板显示最新发展动态和研发热点,综述了高分辨率LCD/OLED显示产品... 随着显示行业高端消费品的发展要求,LTPS成了目前显示领域炙手可热的先进技术,但是由于国外技术封锁,国内全部依赖进口,因而我们必须自主研发,提升综合竞争力。本文基于平板显示最新发展动态和研发热点,综述了高分辨率LCD/OLED显示产品所用LTPS制程工艺种类与特点,以及LTPS制程工艺对玻璃基板的理化性能要求,其中玻璃基板耐热性、热膨胀系数、紫外透过率、弹性模量是十分关键的技术指标;论述了溢流法生产工艺和浮法生产工艺所生产LTPS玻璃基板优势与劣势;总结了美国和日本开发满足LTPS制程工艺的玻璃基板产品状况;讲述了我国尚未形成技术和产业突破,亟须加大对LTPS制程工艺的玻璃基板的研发投入和产业探索的现状。 展开更多
关键词 制程工艺 平板显示 玻璃基板 ltps LCD 热膨胀系数 溢流法 优势与劣势
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LTPS TFT层间绝缘层过孔刻蚀的工艺优化 被引量:2
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作者 陈丽雯 叶芸 +3 位作者 郭太良 彭涛 周秀峰 文亮 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期363-369,共7页
为了适应LTPS TFT LCD显示屏超高分辨率极细布线的趋势,降低LTPS TFT层间绝缘层过孔刻蚀带来的良率损失,提高产品品质,本文研究了LTPS TFT层间绝缘层过孔刻蚀的工艺优化。实验以干法刻蚀为主刻蚀,湿法刻蚀为辅刻蚀的方式,既结合干法刻... 为了适应LTPS TFT LCD显示屏超高分辨率极细布线的趋势,降低LTPS TFT层间绝缘层过孔刻蚀带来的良率损失,提高产品品质,本文研究了LTPS TFT层间绝缘层过孔刻蚀的工艺优化。实验以干法刻蚀为主刻蚀,湿法刻蚀为辅刻蚀的方式,既结合干法刻蚀对侧壁剖面角及刻蚀线宽的精确控制能力,又利用了湿法刻蚀高刻蚀选择比的优良特性,改善了层间绝缘层刻蚀形貌,减少干法刻蚀对器件有源层的损伤,避免有源层被氧化,防止刻蚀副产物污染开孔表面。实验结果表明,干法辅助湿法刻蚀能基本解决刻蚀过程中过刻、残留的问题,使得层间绝缘层过孔不良良率损失减少73%以上,且TFT源漏电极接触电阻减小约90%,器件开态电流提升约15%。干法辅助湿法刻蚀是一种优化刻蚀工艺,提升产品性能的新方法。 展开更多
关键词 ltps TFT LCD 干法刻蚀 湿法刻蚀 层间绝缘层过孔 接触电阻 器件性能
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局部信息统计的LTPS/IGZO缺陷快速检测优化方法 被引量:2
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作者 林嘉华 程良伦 《自动化技术与应用》 2019年第2期123-128,139,共7页
在检测具有高密度,高精度的LTPS/IGZO玻璃基板缺陷时,往往由于其要求的处理速度快,处理的像素信息量大而不能很好的保证检测效果。为解决这个问题,本文提出了一种快速的模板匹配方法 ,对检测样本背景图像进行模板匹配之后删除,再设计一... 在检测具有高密度,高精度的LTPS/IGZO玻璃基板缺陷时,往往由于其要求的处理速度快,处理的像素信息量大而不能很好的保证检测效果。为解决这个问题,本文提出了一种快速的模板匹配方法 ,对检测样本背景图像进行模板匹配之后删除,再设计一个直方图噪声统计图中R、G、B三通颜色像素信息,去除法过滤图像噪声,保留缺陷图像信息,从而达到快速检测目的 ,并保证产品检测的识别率。实验结果表明,本文的方法在加快缺陷检测速度的基础上,也很好的保证了产品的检测识别率,与现有的95.6%的识别率相比,此方法可达到97%以上。 展开更多
关键词 ltps/IGZO玻璃基板 快速检测 模板匹配 直方图统计 RGB
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Digital driver for 2-inch LTPS AM-OLED displays 被引量:1
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作者 YIN Sheng CHENG Shuai SHEN Liang ZOU Xue-cheng 《Optoelectronics Letters》 EI 2006年第2期83-85,共3页
For LTPS AM-OLED displays,the spatial variation in the electrical characteristics of polysilicon TFTs will cause non-uniform pixel brightness and poor grayscale accuracy.The technological solution for this problem wil... For LTPS AM-OLED displays,the spatial variation in the electrical characteristics of polysilicon TFTs will cause non-uniform pixel brightness and poor grayscale accuracy.The technological solution for this problem will open up the larger size application of LTPS AM-OLED displays.In this paper,a digital driver employing a FPGA device is designed to serve 2-inch color LTPS AM-OLED displays with 128×(160×3) resolution.A digital method of simultaneous address-display (SAD) and the digital visual interface (DVI) are introduced in the driving scheme.100% display per.ratio can be obtained.Moving image with 16 grayscales is realized and has good image uniformity. 展开更多
关键词 数字驱动器 ltps AM-OLED 显示器 多晶硅
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Influencing Factors of Reheating Shrinkage Rate of Glass Substrate on LTPS Process 被引量:1
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作者 WANG Weilai TIAN Yingliang +4 位作者 WANG Wei LIU Yaru SUN Shibing LüFeng CHEN Xinxin 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2020年第4期682-685,共4页
Different heating treatments with the variation of heating rates,holding temperatures and holding time were used to simulate the LTPS procedure.The experimental results show that the reheating shrinkage rates of glass... Different heating treatments with the variation of heating rates,holding temperatures and holding time were used to simulate the LTPS procedure.The experimental results show that the reheating shrinkage rates of glass substrates are rarely changed with increasing the heating rate,but strongly enhanced by raising the holding temperature and time,which shows that the reheating shrinkage of glass is closely related to heat treatment and structural relaxation.The production process of glass is critical to the reheating shrinkage of glass. 展开更多
关键词 low temperature ploy-silicon(ltps) glass substrates reheating shrinkage rate structural relaxation
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LTPS基板玻璃表面擦划伤影响因素研究 被引量:2
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作者 杨国洪 李淼 +4 位作者 王答成 曾召 孔令歆 兰静 郭静 《玻璃》 2019年第12期19-22,共4页
市场对LTPS基板玻璃要求更高的品质,通过分析影响LTPS基板玻璃擦划伤的主要因素,重点研究了不同LTPS基板玻璃料方及生产冷却速度对玻璃的抗擦划伤能力的影响,为其品质的提升提供参考依据。
关键词 ltps基板玻璃 擦划伤 杨氏模量 冷却速度
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LTPS201 TFT—LCD
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《液晶与显示》 CAS CSCD 2003年第1期20-20,共1页
关键词 ltps201 TFT-LCD 液晶显示 监视器 低温多晶硅 韩国LG菲利浦公司
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LTPs或许是一种治疗前列腺癌的潜在疗法
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《临床合理用药杂志》 2015年第13期132-132,共1页
来自约克大学的科学家首次利用低温等离子体技术(LTPs)对来自病人组织样本中的细胞进行作用,研究者表示,LTPs或许是一种治疗前列腺癌的潜在疗法,而且其相比当前的放疗和光动力疗法要更加有效。(源自:药品资讯网)
关键词 ltps 光动力疗法 资讯网 约克大学
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LTPS TP精益化管控研究
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作者 苏海东 王成龙 +4 位作者 姚磊 闫雷 李峰 李凯 高云 《电子世界》 CAS 2021年第10期87-90,共4页
低温多晶硅工艺作为薄膜晶体管显示器的主流工艺被各大面板厂商所采用。但是复杂的工艺制程导致基板形变较大,这就导致出现相应的光学类的不良,如串色,漏光,透过率低等。为了实现阵列基板和彩膜基板的高精度对位,本文研究了影响阵列基... 低温多晶硅工艺作为薄膜晶体管显示器的主流工艺被各大面板厂商所采用。但是复杂的工艺制程导致基板形变较大,这就导致出现相应的光学类的不良,如串色,漏光,透过率低等。为了实现阵列基板和彩膜基板的高精度对位,本文研究了影响阵列基板总节距(Total Pitch,TP)均一性的工艺因素。首先,通过跟踪测试LTPS-TFT工艺每步TP结果,将TP变化量大的工艺分为3类,即:Mask工艺,镀膜工艺与高温工艺。其次深入分析说明这些工艺影响TP的原因和管控TP的常规做法。 展开更多
关键词 薄膜晶体管 低温多晶硅 ltps 常规做法 镀膜工艺 均一性 透过率 跟踪测试
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2020年手机面板营收中LTPS液晶显示占比将高达一半
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作者 Tiger 《电子产品世界》 2014年第2期7-7,共1页
随着智能手机的功能越来越多,低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示屏(LTPS液晶显示屏)开始逐渐占领手机面板市场。与其他面板相比.以LTPS技术为基础的显示屏不仅分辨率高,而且省电,但也因此它的单价更高。
关键词 液晶显示屏 ltps技术 智能手机 面板 低温多晶硅薄膜晶体管 分辨率
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武汉华星光电第6代LTPS/AMOLED显示面板生产线项目,武汉,中国
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作者 《世界建筑》 2020年第9期76-81,共6页
近年来,随着显示技术的迅猛发展,LTPS,AMOLED显示屏因其卓越的视觉效果及超薄特性,广泛应用于智能手机及iPad显示终端设备。武汉华星光电第6代LTPS(OXIDE).LCD/.AMOLED显示面板生产线项目位于武汉东湖新技术开发区左岭光谷智能制造产业... 近年来,随着显示技术的迅猛发展,LTPS,AMOLED显示屏因其卓越的视觉效果及超薄特性,广泛应用于智能手机及iPad显示终端设备。武汉华星光电第6代LTPS(OXIDE).LCD/.AMOLED显示面板生产线项目位于武汉东湖新技术开发区左岭光谷智能制造产业园内,主要产品为4-9in高端中小尺寸显示器件,是国内目前技术领先的第6代LTPS和AMOLED混合面板生产线,建成后经济效益显著。 展开更多
关键词 AMOLED 武汉东湖新技术开发区 显示器件 显示面板 ltps 智能手机 光谷 显示终端
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中国首款LTPS柔性AMOLED全彩屏研制成功
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《网印工业》 2014年第1期58-58,共1页
近日,维信诺公司发布中国大陆首款低温多晶硅(LTPS)柔性MOLED全彩显示屏。该显示屏采用LTPSTFT背板技术,
关键词 AMOLED 中国大陆 ltps 柔性 彩屏 低温多晶硅 维信诺公司 显示屏
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中建八局中标武汉华星光电第6代柔性LTPS-AMOLED显示面板生产线项目施工总承包B标段
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作者 邵娜 《安装》 2017年第10期29-29,共1页
本刊讯近日,中国建筑第八工程局有限公司中标武汉华星光电第6代柔性LTPS—AMOLED显示面板生产线项目施工总承包B标段。中标额10.85亿元,由中建八局第一建设有限公司负责施工。该项目是八局一公司在华中市场承接的首个项目,标志着其... 本刊讯近日,中国建筑第八工程局有限公司中标武汉华星光电第6代柔性LTPS—AMOLED显示面板生产线项目施工总承包B标段。中标额10.85亿元,由中建八局第一建设有限公司负责施工。该项目是八局一公司在华中市场承接的首个项目,标志着其在大客户维护及市场经营区域开拓上实现了新突破。 展开更多
关键词 AMOLED 施工总承包 显示面板 ltps 生产线 中标 标段 柔性
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京东方及天马微电子即将进军广视角及LTPS技术挑战高阶市场
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《现代显示》 2011年第10期54-54,共1页
大陆拥有规模庞大的白牌或山寨市场,包括采用小尺寸面板的手机、可携式导航器(Portable Navigation Device,PND)。
关键词 ltps技术 市场 NAVIGATION 广视角 微电子 京东方 高阶 Device
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三星可挠式LTPS—OLED面板产线选用康宁玻璃方案
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作者 秦子川(译) 《建筑玻璃与工业玻璃》 2017年第6期41-42,共2页
美国康宁公司宣布,三星显示有限公司(Samsung Display)选用Coming Lotus NXT Glass,做为旗下塑料(PI)低温多晶硅(LTPS)有机发光二极管(OLED)面板产线的载板玻璃,也就是目前Samsung Galaxys8与S8+使用的面板。
关键词 OLED面板 ltps 玻璃 三星 有机发光二极管 SAMSUNG LOTUS 低温多晶硅
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成都中光电LTPS玻璃基板研发成功
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《建筑玻璃与工业玻璃》 2018年第3期44-45,共2页
目前显示行业高端消费品要求产品具有更快的反应速度,更高的解析度,更好的稳定性,LTPS(低温多晶硅技术的缩写)正是在这样的市场需求下诞生的新兴技术,它的应用给用户带来了更好的使用体验,是目前显示领域炙手可热的先进技术。
关键词 ltps 玻璃基板 研发 光电 成都 硅技术 反应速度 市场需求
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TCL第6代LTPS面板线武汉开工
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《中国经济和信息化》 2014年第18期73-73,共1页
近日,TCL集团旗下的华星光电投资160亿元建设的第6代LTPS(低温多晶硅)显示面板生产线项目(t3项目),在武汉光谷开工建设,预计2016年底实现量产。武汉华星光电项目总投资160亿元,产品定位为高端中小尺寸面板市场。项目一期设计产... 近日,TCL集团旗下的华星光电投资160亿元建设的第6代LTPS(低温多晶硅)显示面板生产线项目(t3项目),在武汉光谷开工建设,预计2016年底实现量产。武汉华星光电项目总投资160亿元,产品定位为高端中小尺寸面板市场。项目一期设计产能3万片/月。 展开更多
关键词 TCL集团 显示面板 ltps 武汉 项目总投资 低温多晶硅 产品定位 生产线
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