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劳埃德式紫外激光干涉光刻实验
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作者 钟晓岚 宋佳奇 +3 位作者 李晓苗 姚旭 严琪琪 金硕 《物理实验》 2023年第3期22-28,共7页
搭建了劳埃德式紫外激光干涉光刻系统,利用劳埃德镜产生双光束分波阵面干涉,通过精确调整、控制光束的入射角,设计了曝光图样.基础实验部分可以完成一维光栅制备,分析光栅周期与波长、入射角的关系;在拓展实验中,制备设计部分可以完成... 搭建了劳埃德式紫外激光干涉光刻系统,利用劳埃德镜产生双光束分波阵面干涉,通过精确调整、控制光束的入射角,设计了曝光图样.基础实验部分可以完成一维光栅制备,分析光栅周期与波长、入射角的关系;在拓展实验中,制备设计部分可以完成二维点阵或准晶结构制备,前沿拓展部分可以制备表面等离极化激元微腔.基于劳埃德式激光干涉光刻实验操作便捷、展示度高,同时涵盖光干涉原理的介绍和光路调整、样品制备和表征等实验内容,有助于学生掌握激光干涉光刻的实验技能. 展开更多
关键词 劳埃德镜 紫外激光干涉 激光光刻 微纳米技术
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制作平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉系统 被引量:12
2
作者 巴音贺希格 邵先秀 +2 位作者 崔继承 李文昊 齐向东 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期56-63,共8页
设计和制作具有较高波前平面度和结构稳定的干涉曝光系统是研制高质量平面全息光栅的首要条件。对离轴抛物镜/洛埃镜系统、单透镜/洛埃镜系统、球面反射镜/洛埃镜系统和双分离透镜/洛埃镜系统等4种单反射镜干涉曝光系统产生的干涉条纹... 设计和制作具有较高波前平面度和结构稳定的干涉曝光系统是研制高质量平面全息光栅的首要条件。对离轴抛物镜/洛埃镜系统、单透镜/洛埃镜系统、球面反射镜/洛埃镜系统和双分离透镜/洛埃镜系统等4种单反射镜干涉曝光系统产生的干涉条纹直线度进行了光线追迹。在干涉场中放置标准光栅,使用于曝光的两束平行光入射到光栅上,从而衍射光相干叠加产生莫尔条纹;并对上述4个系统产生的莫尔条纹做了模拟。利用Zernike多项式对莫尔条纹进行拟合得到干涉曝光系统的波前像差,比较了4个系统的差异。结果表明,采用离轴抛物镜/洛埃镜系统制作中、小口径平面全息光栅是最为合适的。在此基础上,研制了用于制作最大尺寸为110 mm×110 mm,刻线密度〉1 200 l/mm的平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉曝光系统,在洛埃镜和离轴抛物镜面形精度为λ/8(λ=632.8 nm)的前提下,平面全息光栅的衍射波前像差为0.239 6λ(λ=550 nm)。此系统经过消除外界扰动和精细装调后,可用于制作衍射波前像差达λ/6~λ/7(λ=550 nm)以上的平面全息光栅。 展开更多
关键词 平面全息光栅 离轴抛物镜 洛埃镜 干涉系统
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洛埃镜干涉微小尺度测量系统的研究 被引量:2
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作者 吕洪方 谭小平 吴铁山 《大学物理实验》 2013年第4期44-46,共3页
设计了一款利用洛埃镜干涉进行微小尺度测量的系统。该系统利用机械的杠杆原理,将微小尺度的改变反映在镜面与光源的垂直距离上,相当于改变洛埃镜干涉系统中光源与虚光源之间的间距,从而干涉条纹的宽度将相应的发生变化。利用光电池将... 设计了一款利用洛埃镜干涉进行微小尺度测量的系统。该系统利用机械的杠杆原理,将微小尺度的改变反映在镜面与光源的垂直距离上,相当于改变洛埃镜干涉系统中光源与虚光源之间的间距,从而干涉条纹的宽度将相应的发生变化。利用光电池将光信号转化为电信号,并通过信号的放大和模数转化,最终在计算机上显示干涉条纹。通过相应的测量公式就可以得知待测物体的微小尺度。对标准塞尺的测量结果显示,该系统具有精度高,操作简便,测量迅速等优点。 展开更多
关键词 洛埃镜干涉 微小尺度测量
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利用劳埃镜的白光条纹测量光波波长 被引量:1
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作者 王秋薇 杨铭珍 《辽宁师范大学学报(自然科学版)》 CAS 1989年第4期22-25,共4页
杨氏双缝、菲涅耳双棱镜、双面镜以及劳埃镜等实验测定光波波长时,均是用测量干涉条纹宽度法。本文叙述了劳埃镜白光(消色差)条纹法,该方法简单准确。用本方法测定了汞波长5780×10^(-10)m,得到了相对误差小于0.2%。
关键词 劳埃镜 光波 波长 消色差条纹 测量
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一种新的直线度误差测量装置 被引量:1
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作者 花世群 《江苏大学学报(自然科学版)》 EI CAS 2003年第4期92-94,共3页
利用改进的洛埃镜干涉装置,设计了由直线度误差使洛埃镜偏转,通过改变等效双狭缝间距,进而改变干涉条纹间距的新的直线度误差测量方法 由导出的直线度误差与干涉条纹间距之间的关系,并用最小包容区域法对直线度误差进行评定 测量结果表... 利用改进的洛埃镜干涉装置,设计了由直线度误差使洛埃镜偏转,通过改变等效双狭缝间距,进而改变干涉条纹间距的新的直线度误差测量方法 由导出的直线度误差与干涉条纹间距之间的关系,并用最小包容区域法对直线度误差进行评定 测量结果表明,新的直线度误差测量方法是可行的 此方法特别适用于短距离连续空间直线度误差的测量,并且测量系统具有结构简单、操作方便、精度高。 展开更多
关键词 直线度误差 最小包容区域法 洛埃镜
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劳埃德镜实验条件的讨论 被引量:1
6
作者 李春燕 常清英 +1 位作者 何志巍 金仲辉 《物理通报》 2012年第7期33-34,共2页
利用菲涅耳公式推导劳埃德镜所用材料对半波损失结论的影响,证实不论各向同性电介质还是金属材料,只要满足光掠入射条件,即可实现劳埃德半波损失实验.
关键词 劳埃德镜 半波损失 平面镜材料
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一个新颖的白光干涉实验的开发与研究 被引量:1
7
作者 黄江 《大学物理》 北大核心 2009年第8期39-41,共3页
开发了一个获得白光条纹的新实验.把劳埃镜干涉和光栅衍射结合起来,有可能使白光源产生的不同颜色的条纹彼此重合,从而能观察到清晰的黑白条纹.讨论了有关的实验原理、装置和方法,介绍了主要的实验关键并提供了相应的测量数据.
关键词 劳埃镜 光栅衍射 白光干涉 黑白条纹
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自制洛埃镜实验装置及测量结果 被引量:1
8
作者 李萍 《云南民族学院学报(自然科学版)》 1999年第4期52-53,58,共3页
自行设计一套装置进行洛埃镜实验,对洛埃镜实验的入射角进行了测量,得到了较为满意的结果.
关键词 洛埃镜实验 入射角 设计 光学 入射光
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应用CCD测金属的杨氏弹性模量
9
作者 花世群 《物理测试》 CAS 2002年第4期12-14,35,共4页
介绍了洛埃镜干涉装置与线阵CCD图象传感器相结合,测量钢丝杨氏弹性模量的新方法。实践表明,该方法比传统的测量方法优越,并具有自动化程度高、测量精确等优点。
关键词 金属 杨氏弹性模量 激光干扰 洛埃镜 CCD
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声速测量及声波的波动学规律研究 被引量:7
10
作者 姬玉 浦寒千 +1 位作者 陈骏逸 陆申龙 《大学物理》 北大核心 2007年第1期58-61,共4页
声速除了可利用共振干涉法和相位比较法测量外,还可以用干涉、衍射及“洛埃镜”反射等方法测量.声速实验的改进,不仅可扩展声速测量的方法,而且也可加深学生对波动学规律和本质的理解.
关键词 声速 相位 洛埃镜 反射 干涉 衍射
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利用劳埃镜干涉测量压电陶瓷的压电系数 被引量:1
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作者 单声宇 严琪琪 +1 位作者 解晓雯 陈彦 《物理实验》 2018年第7期51-54,共4页
利用劳埃镜干涉测量了压电陶瓷的横向压电系数d31,将平面反射镜安装在压电陶瓷的一端,当压电陶瓷在外加横向电场的作用下产生微米量级的纵向形变时,劳埃镜干涉条纹间距将发生相应的变化,从而放大了压电陶瓷的微小形变.通过相机采集干涉... 利用劳埃镜干涉测量了压电陶瓷的横向压电系数d31,将平面反射镜安装在压电陶瓷的一端,当压电陶瓷在外加横向电场的作用下产生微米量级的纵向形变时,劳埃镜干涉条纹间距将发生相应的变化,从而放大了压电陶瓷的微小形变.通过相机采集干涉条纹的位置与条纹间距的相关信息,并运用Matlab程序对其进行分析,得到压电陶瓷在不同驱动电压下对应的形变量,计算出该材料的压电系数. 展开更多
关键词 压电陶瓷 横向压电系数 逆压电效应 劳埃镜 微小位移
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Investigation of long-range sound propagation in surface ducts 被引量:5
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作者 段睿 杨坤德 马远良 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第12期297-307,共11页
Understanding the effect of source-receiver geometry on sound propagation in surface ducts can improve the performance of near-surface sonar in deep water. The Lloyd-mirror and normal mode theories are used to analyze... Understanding the effect of source-receiver geometry on sound propagation in surface ducts can improve the performance of near-surface sonar in deep water. The Lloyd-mirror and normal mode theories are used to analyze the features of surface-duct propagation in this paper. Firstly, according to the Lloyd-mirror theory, a shallow point source generates directional lobes, whose grazing angles are determined by the source depth and frequency. By assuming a part of the first lobe to be just trapped in the surface duct, a method to calculate the minimum cutoff frequency(MCF) is obtained. The presented method is source depth dependent and thus is helpful for determining the working depth for sonar. Secondly, it is found that under certain environments there exists a layer of low transmission loss(TL) in the surface duct, whose thickness is related to the source geometry and can be calculated by the Lloyd-mirror method. The receiver should be placed in this layer to minimize the TL. Finally, the arrival angle on a vertical linear array(VLA) in the surface duct is analyzed based on normal mode theory, which provides a priori knowledge of the beam direction of passive sonar. 展开更多
关键词 声音传播 表面 管道 远距离 无源声纳 几何形状 截止频率 震源深度
原文传递
基于数码观测式分光计的劳埃德镜干涉实验 被引量:1
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作者 童利凭 王凤鹏 +3 位作者 张玉强 黄赣 曾泽楷 刘聪 《物理实验》 2022年第7期29-33,共5页
利用数码观测式分光计进行劳埃德镜干涉实验,使用分光计中的游标盘测出有干涉现象时到干涉条纹刚好消失时载物台转过的角度,计算出狭缝光源到反射镜的垂直距离,应用数码相机观察记录干涉条纹图像,再运用GIMP软件测出干涉条纹的间隔,最... 利用数码观测式分光计进行劳埃德镜干涉实验,使用分光计中的游标盘测出有干涉现象时到干涉条纹刚好消失时载物台转过的角度,计算出狭缝光源到反射镜的垂直距离,应用数码相机观察记录干涉条纹图像,再运用GIMP软件测出干涉条纹的间隔,最后计算出光波波长.该实验操作简单,测量方便,适合在大学物理实验教学中推广应用. 展开更多
关键词 劳埃德镜干涉 分光计 数码相机
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洛埃镜测杨氏模量 被引量:2
14
作者 程芝生 郭书清 《大学物理实验》 1994年第1期4-7,共4页
本文介绍用洛埃境干涉法测量钢丝的伸长量ΔL,从而测定材料的杨氏模量。此法提高了测量精度,相对误差可降到3%左右。
关键词 洛埃镜 杨氏模量 相对伸长 干涉条纹
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第35届全国中学生物理竞赛决赛实验试题评析 被引量:2
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作者 王锦辉 杨文明 +3 位作者 孙存英 王宇兴 周红 刘嘉滨 《物理实验》 2019年第1期31-38,共8页
介绍了第35届全国中学生物理竞赛决赛实验试题的实验内容,并给出了试题解析以及竞赛成绩分析.试题1为测量光学玻璃材料的杨氏模量和折射率,可分为3部分:利用洛埃法测量半导体激光器的波长,利用单缝衍射法测定光学玻璃条的杨氏模量,测量... 介绍了第35届全国中学生物理竞赛决赛实验试题的实验内容,并给出了试题解析以及竞赛成绩分析.试题1为测量光学玻璃材料的杨氏模量和折射率,可分为3部分:利用洛埃法测量半导体激光器的波长,利用单缝衍射法测定光学玻璃条的杨氏模量,测量厚光学玻璃片的折射率.试题2为测量电学黑盒子,给出其中元件连接的结构和元件性质,利用黑盒子的电路和电容率测量仪等,测量真空电容率和给定介质的相对电容率.实验试题设计性较强,成绩区分度较好.建议学生平时注重基本实验仪器的使用训练,掌握实验技巧,并加强物理基本原理的灵活应用. 展开更多
关键词 物理竞赛 杨氏模量 折射率 洛埃法 电容率
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利用洛埃镜法测量透明薄膜厚度 被引量:2
16
作者 王锦辉 赵西梅 +1 位作者 孙存英 王宇兴 《大学物理实验》 2019年第4期1-4,共4页
将一面贴有透明手机保护膜的光学玻璃片作为洛埃镜,激光经扩束镜形成点光源,先掠射入无膜和有膜表面,通过干涉条纹间距测量,得到激光波长和手机保护膜厚度。波长和膜厚测量结果相对误差分别为0.82%和2.7%。文章给出了测量原理、实验步... 将一面贴有透明手机保护膜的光学玻璃片作为洛埃镜,激光经扩束镜形成点光源,先掠射入无膜和有膜表面,通过干涉条纹间距测量,得到激光波长和手机保护膜厚度。波长和膜厚测量结果相对误差分别为0.82%和2.7%。文章给出了测量原理、实验步骤以及数据处理结果。相对于其他透明薄膜厚度测量方法,利用洛埃镜法测量透明薄膜厚度原理简单、设备要求不高、快捷、实用性较强。文章还通过误差分析提出减少激光波长实验误差的方法是测量实虚光源间距时,光源与屏的距离应稍大于4倍透镜焦距,而测量干涉条纹间距时,光源与屏距离越大越好。在进行膜厚测量时光源与屏距离不能太大,点光源应尽量靠近膜表面。 展开更多
关键词 洛埃镜 透明薄膜 厚度测量 误差分析
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利用洛埃镜制作高频全息光栅的教学拓展实验 被引量:1
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作者 刘影 李司未 +1 位作者 王徐 韩浩东 《大学物理实验》 2020年第3期53-56,共4页
利用两束平行光的相干叠加制作全息光栅,成本低、易实现。全息光栅的制作光路多种多样,但在教学上大部分研究主要集中于低频光栅的制作。在分析大学物理实验中两种常用光路的基础上,提出利用洛埃镜光路制作高频光栅。该装置采用步进电... 利用两束平行光的相干叠加制作全息光栅,成本低、易实现。全息光栅的制作光路多种多样,但在教学上大部分研究主要集中于低频光栅的制作。在分析大学物理实验中两种常用光路的基础上,提出利用洛埃镜光路制作高频光栅。该装置采用步进电机控制转角,有效地提高了实验精度,在制作亚波长光栅方向具有很好的应用前景,拓展了全息光栅实验的教学内容。 展开更多
关键词 全息光栅 洛埃镜 光栅频率 光栅衍射
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双Lloyd镜数字全息显微测量术 被引量:1
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作者 袁飞 袁操今 +5 位作者 聂守平 朱竹青 马青玉 李莹 朱文艳 冯少彤 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期162-166,共5页
提出了一种双Lloyd镜数字全息显微测量技术.其基本思想是将Lloyd镜的共光束自干涉特性与双波长光学相位解包裹方法相结合,使用两个Lloyd镜调节参考光与物光夹角以形成共光束自干涉,从而获得一张双波长复合全息图,再通过角谱法再现得到... 提出了一种双Lloyd镜数字全息显微测量技术.其基本思想是将Lloyd镜的共光束自干涉特性与双波长光学相位解包裹方法相结合,使用两个Lloyd镜调节参考光与物光夹角以形成共光束自干涉,从而获得一张双波长复合全息图,再通过角谱法再现得到每个波长对应的包裹相位,利用两波长的相位差求得解包裹后的相位图和三维高度分布图.采用532和632 nm两波长记录全息图,通过数值再现重构被测物体的振幅和相位信息.与标定值相比,实验值的误差小于5%,证明了该方法的有效性. 展开更多
关键词 全息 双波长数字全息 光学相位解包裹 lloyd
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用劳埃德镜干涉原理进行圆度误差测量 被引量:5
19
作者 花世群 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期1013-1017,共5页
提出一种应用线阵CCD自动测量圆度误差的新方法。论述了系统利用劳埃德镜干涉装置 ,通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的工作原理及过程设计。测量结果表明 ,新的测量方法实现了圆度误差的实时精确在线测量。
关键词 光学技术与仪器 圆度误差 激光干涉 劳埃德镜 CCD
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利用激光干涉测钢丝的杨氏弹性模量 被引量:6
20
作者 花世群 《光学技术》 CAS CSCD 2002年第2期183-184,共2页
分析了在洛埃镜干涉装置中等效双狭缝间距变化对干涉条纹密度的影响。导出了钢丝因受力引起的绝对伸长量与干涉条纹密度变化之间的关系 ,并通过它计算了钢丝的杨氏弹性模量。结果表明 ,激光干涉法不仅比光杠杆法测量的量要少 ,而且用该... 分析了在洛埃镜干涉装置中等效双狭缝间距变化对干涉条纹密度的影响。导出了钢丝因受力引起的绝对伸长量与干涉条纹密度变化之间的关系 ,并通过它计算了钢丝的杨氏弹性模量。结果表明 ,激光干涉法不仅比光杠杆法测量的量要少 ,而且用该方法通过测微目镜测条纹的位置要比光杠杆法通过望远镜对标尺读数精确 。 展开更多
关键词 杨氏弹性模量 激光干涉 干涉条纹 洛埃镜 钢丝
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