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偏置电压对射频/微波MEMS电容开关寿命的影响 被引量：1
1
作者 龙永福 石艳玲 +4 位作者 赖宗声 朱自强 朱荣锦 忻佩胜 李炜 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期30-33,37,共5页
　理论分析了影响射频/微波MEMS电容开关寿命的因素:介质内的电场强度和可动薄膜对介质膜的冲击速度。用三种不同的偏置电压,对介质内电场强度和可动薄膜对介质膜的冲击速度进行了数值分析和比较。提出了在脉冲电压作用下,可得到可动薄... 　理论分析了影响射频/微波MEMS电容开关寿命的因素:介质内的电场强度和可动薄膜对介质膜的冲击速度。用三种不同的偏置电压,对介质内电场强度和可动薄膜对介质膜的冲击速度进行了数值分析和比较。提出了在脉冲电压作用下,可得到可动薄膜对介质膜最小的冲击速度和介质内的最小电场强度,从而极大地提高MEMS电容开关运行的可靠性和寿命。实验验证了上述结论。 展开更多
关键词 偏置电压 射频/微波电路 mems电容开关 寿命 电场强度 冲击速度
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低驱动电压MEMS电容开关设计与仿真 被引量：1
2
作者 纪奎 贺训军 殷景华 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2008年第4期90-93,共4页
设计了膜桥支撑梁为弹簧弯曲结构的MEMS电容开关,应用有限元软件Intellisuite对开关静电驱动特性进行仿真,得到开关驱动电压,并分析不同膜桥材料对MEMS电容开关驱动电压的影响.结果表明,与固支结构悬臂梁相比,弹簧弯曲结构悬臂梁支撑的... 设计了膜桥支撑梁为弹簧弯曲结构的MEMS电容开关,应用有限元软件Intellisuite对开关静电驱动特性进行仿真,得到开关驱动电压,并分析不同膜桥材料对MEMS电容开关驱动电压的影响.结果表明,与固支结构悬臂梁相比,弹簧弯曲结构悬臂梁支撑的电容开关具有更低的驱动电压,由杨氏模量小的膜桥材料构成的开关具有比其他材料更低的驱动电压. 展开更多
关键词 mems电容开关 膜桥结构 有限元 驱动电压
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低电压电容式RF MEMS开关设计研究
3
作者 伍文昌 《电子技术与软件工程》 2023年第4期70-73,共4页
本文设计了一种低电压电容式RFMEMS开关,开关采用了两端固支梁结构,在梁与CPW共面波导地线的四个固定支撑位置使用了折叠结构,该结构可以减低下拉电压;通过在MEMS开关梁上开孔(直径9μm圆孔)来减小残余应力和杨氏模量和选择合适的开关... 本文设计了一种低电压电容式RFMEMS开关,开关采用了两端固支梁结构,在梁与CPW共面波导地线的四个固定支撑位置使用了折叠结构,该结构可以减低下拉电压;通过在MEMS开关梁上开孔(直径9μm圆孔)来减小残余应力和杨氏模量和选择合适的开关梁厚度,显著降低了MEMS开关梁的弹性系数和下拉电压。以上措施显著降低了电容式RFMEMS开关的下拉电压,在ANSYS仿真下拉电压约为6V,驱动电压约为8.4V,该MEMS开关依旧保持了较好的S参数,开关插入损耗大于-0.35dB(8-40GHz),回波损耗小于-22dB(8-40GHz),隔离度(down态S21)大于25dB(8-40GHz)。 展开更多
关键词 电容式RF mems开关 低驱动电压 mems器件
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电容式MEMS开关中弹性膜应力对驱动电压的影响 被引量：3
4
作者 李炜 石艳玲 +2 位作者 忻佩胜 朱自强 赖宗声 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期514-519,共6页
详细分析了多种参数对 MEMS电容式开关驱动电压的影响 ,包括材料选取和工艺参数变化 ,并对驱动电压理论值进行计算。利用表面微机械加工技术在硅衬底上实现了电容式开关 ,测试结果表明采用 Al0 .96 Si0 .0 4弹性膜和厚胶牺牲层工艺能获... 详细分析了多种参数对 MEMS电容式开关驱动电压的影响 ,包括材料选取和工艺参数变化 ,并对驱动电压理论值进行计算。利用表面微机械加工技术在硅衬底上实现了电容式开关 ,测试结果表明采用 Al0 .96 Si0 .0 4弹性膜和厚胶牺牲层工艺能获得适中的剩余应力释放 ,微桥应力约为 10 6 N/m2 ,这为获得较低的开关驱动电压提供了可能。对长 1m m的 MEMS开关 ,当弹性膜厚为 0 .5μm,桥高为 3μm、桥宽为 30 μm、桥长为 2 50 μm时获得了 2 5V的驱动电压 ,S参数测试表明该电容式开关 1～ 4 0 GHz频段内的插入损耗低于 1d B。 展开更多
关键词 电容式mems开关 弹性膜 驱动电压 微电子机械系统 铝硅弹性膜
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聚酰亚胺(PI)树脂在电容式RF MEMS开关制作中的应用 被引量：2
5
作者 彭慧耀 于映 +1 位作者 罗仲梓 王培森 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1896-1899,共4页
聚酰亚胺树脂(PI)因其良好的平面化特性、在氧气中易灰化、不完全固化易溶解于碱性显影液、在CHF3等离子气氛中有较强的抗蚀性等性质,在电容RFMEMS开关的制作过程中,应用它作为刻蚀保护层和牺牲层,不但可以使工艺过程得到简化,而且可以... 聚酰亚胺树脂(PI)因其良好的平面化特性、在氧气中易灰化、不完全固化易溶解于碱性显影液、在CHF3等离子气氛中有较强的抗蚀性等性质,在电容RFMEMS开关的制作过程中,应用它作为刻蚀保护层和牺牲层,不但可以使工艺过程得到简化,而且可以对开关的介质层尺寸、牺牲层厚度等图形参数起到很好的控制作用. 展开更多
关键词 聚酰亚胺 RF mems电容式开关 光刻 牺牲层 保护层
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MEMS电容式并联开关充放电产生的电磁干扰分析 被引量：1
6
作者 陆逸敏 黄庆安 廖小平 《电子器件》 EI CAS 2006年第1期76-78,81,共4页
MEMS并联开关是MEMS(微机电系统)的最重要的器件之一,由于其在高频状态下表现出的高隔离度及低插入损耗,以及与半导体开关相比所具有的极低的直流功耗,故在微波领域的应用越来越受到关注。本文着重分析了开关在开关时对传播的电磁信号... MEMS并联开关是MEMS(微机电系统)的最重要的器件之一,由于其在高频状态下表现出的高隔离度及低插入损耗,以及与半导体开关相比所具有的极低的直流功耗,故在微波领域的应用越来越受到关注。本文着重分析了开关在开关时对传播的电磁信号的影响。文中给出了MEMS电容式并联开关在充放电时的电磁模型,描述了开关在充放电时的电磁场,分析了开关在充放电时产生的变化电磁场对信号的干扰情况。 展开更多
关键词 mems电容式并联开关 电磁干扰 充电 放电 电场强度 磁场强度
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新型可重构RF-MEMS天线的设计
7
作者 余文革 巫正中 +1 位作者 杨廷鸿 付诗禄 《后勤工程学院学报》 2008年第3期78-81,共4页
设计了一种新型的可重构双C型RF—MEMS贴片天线，它由T型桥膜结构的电容式MEMS开关实时地控制天线结构，使之能够发生双频谐振。采用背腔结构的硅基底，使硅衬底的相对有效介电常数从9．18下降到1．51，这有利于减小表面波的损耗，通过... 设计了一种新型的可重构双C型RF—MEMS贴片天线，它由T型桥膜结构的电容式MEMS开关实时地控制天线结构，使之能够发生双频谐振。采用背腔结构的硅基底，使硅衬底的相对有效介电常数从9．18下降到1．51，这有利于减小表面波的损耗，通过优化设计有效地实现了天线的小型化。理论计算得到在开关断开和连通状态下，天线的谐振频率分别为11．14GHz和5．56GHz。将理论结果与HFSS软件仿真的结果进行比较，发现它们吻合得比较好，说明了可重构天线的设计具有可行性。 展开更多
关键词 可重构天线 RF—mems 电容式mems开关 HFSS软件 双C型贴片
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