期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到6篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
基于MOEMS技术的一种F-P光开关的设计与制作 被引量：7
1
作者 徐杨 吴霁虹 +2 位作者 刘理天 陈兢 董良 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期840-845,共6页
研制了一种用于 WDM光通信系统的多层介质膜 Fabry- Perot腔结构式光开关 ,面积为 1.5 m m× 1.5 m m.光开关采用多层复合膜消除内应力 ,防止产生过度变形 ;中心的十字复合梁有利于提高机械灵敏度 ,降低驱动电压 .体硅腐蚀出的硅杯... 研制了一种用于 WDM光通信系统的多层介质膜 Fabry- Perot腔结构式光开关 ,面积为 1.5 m m× 1.5 m m.光开关采用多层复合膜消除内应力 ,防止产生过度变形 ;中心的十字复合梁有利于提高机械灵敏度 ,降低驱动电压 .体硅腐蚀出的硅杯既减小了光开关的插损 ,又便于端面输入输出光纤的精确对准与固定 ,有效降低封装成本 .制成的开关转换电压为 2 0 V,关态隔离度为 87% ,开态插损为 0 .15 d B.其结构和工艺简单 ,易于与 IC工艺相结合形成规模生产 ,如增加膜的层数便能制成基于 F- P干涉仪结构的滤波器 . 展开更多
关键词 moems技术 F-P光开关 光纤通信 波分复用
下载PDF
基于MOEMS技术的F-P光开关的设计
2
作者 吴霁虹 刘理天 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期259-262,共4页
Fabry -Perot(F -P)干涉仪是很多与波长相关的光学元器件的核心结构 ,通过研制基于MOEMS技术的F -P光开关 ,可以得到研制一大类MOEMS选频器件的基本设计方法和基本工艺步骤。文章给出了能完全与现有IC工艺相结合 ,采用Si,SiO2 和Si3N4 ... Fabry -Perot(F -P)干涉仪是很多与波长相关的光学元器件的核心结构 ,通过研制基于MOEMS技术的F -P光开关 ,可以得到研制一大类MOEMS选频器件的基本设计方法和基本工艺步骤。文章给出了能完全与现有IC工艺相结合 ,采用Si,SiO2 和Si3N4 材料的多层介质结构的F -P光开关的设计方法和设计尺寸及其光性能的模拟结果 。 展开更多
关键词 F—P干涉仪 光开关 moems技术
下载PDF
用MOEMS微型镜反射技术的激光功率监测
3
《电子产品可靠性与环境试验》 2002年第1期68-68,共1页
关键词 芯片 moems微型镜反射技术 激光功率 监测
下载PDF
基于MoEMS工艺制作柔性光学传感器 被引量：1
4
作者 陈四海 潘峰 +5 位作者 付小朝 柯才军 汪殿民 向思桦 赖建军 易新建 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2005年第B03期64-66,共3页
基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列，然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构，在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺，并固化，形成柔性的结构。... 基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列，然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构，在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺，并固化，形成柔性的结构。利用这种技术所制作的微型光学传感器既具有一定的柔性，又具有一定的强度，而且与传统的硅工艺相兼容。 展开更多
关键词 柔性传感器 硅岛阵列 微光机电系统(moems)技术
下载PDF
新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟 被引量：2
5
作者 刘玉菲 赵本刚 +1 位作者 吴亚明 王跃林 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2068-2071,共4页
提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Mat-lab进行了解析计算... 提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Mat-lab进行了解析计算,通过ANSYS进行了模拟仿真分析.分析结果表明:通过双光纤准直器和光电探测器监测微扭转镜面的扭转,该器件可以实现60nT的磁场探测,其探测灵敏度可以达到0.6dB/μT. 展开更多
关键词 moems技术 磁场传感器 扭转微镜面 双光纤准直器
下载PDF
主动光源近红外光谱仪研究应用进展 被引量：1
6
作者 房以伟 何庆 +3 位作者 汪献伟 邱文 杨旭楠 陈婕玮 《常州信息职业技术学院学报》 2021年第2期33-36,共4页
近红外分析法作为一种快速、准确、无损的检测方法,已经广泛应用于多个行业领域。近红外光谱仪在现代检测领域的影响愈发深远。结合近红外光谱仪发展历程,阐述了不同类型的主动光源近红外光谱仪的原理。通过分析比较国内外近红外光谱仪... 近红外分析法作为一种快速、准确、无损的检测方法,已经广泛应用于多个行业领域。近红外光谱仪在现代检测领域的影响愈发深远。结合近红外光谱仪发展历程,阐述了不同类型的主动光源近红外光谱仪的原理。通过分析比较国内外近红外光谱仪的发展现状,指出了当前市场上各种近红外光谱仪的优劣势,提出国内近红外光谱仪市场中存在的问题,并预测其发展趋势。 展开更多
关键词 近红外光谱技术 微型近红外光谱仪 moems技术
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部