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题名MPCVD设备样品台温控系统的设计
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作者
张威
任天平
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机构
郑州大学机械与动力工程学院
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出处
《机床与液压》
北大核心
2024年第5期144-149,共6页
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文摘
由于传统MPCVD设备样品台温度控制需要使用手动调节样品台距等离子源的距离,且调节精度差,为此设计一种样品台温控系统,同时设计了样品台温控系统硬件控制器。该控制器以STM32F407单片机为核心,步进电机、丝杠、金属波纹管为执行机构,通过控制样品台在腔体内距等离子源的距离,实现温度控制。并提出一种将改进鲸鱼算法(WOA)与神经网络PID控制算法结合的控制方法,实现PID参数的自适应调整。仿真和实验结果表明:相对于传统PID算法,使用该温控系统进行温度控制时,超调量更小,控制精度更高,控制效果有很大提升。
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关键词
mpcvd设备
温控系统
改进鲸鱼算法
BP神经网络
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Keywords
mpcvd equipment
temperature control system
improved whale optimization algorithm
BP neural network
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名MPCVD金刚石薄膜设备冷却水温控系统的设计
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作者
岳云峰
任天平
朱振伟
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机构
郑州大学机械与动力工程学院
河南机电职业学院机电工程学院
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2023年第8期190-194,共5页
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基金
CuSnTi钎焊金刚石的界面形成机制及其残余应力研究(20B460005)。
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文摘
为了解决MPCVD设备运行时冷却水手动调节方式存在的弊端,实现冷却水温的自动调节,设计了一种冷却水温度控制系统。该系统以STM32单片机为控制器的核心,步进电机为执行机构,采用BP神经网络PID控制算法。对系统进行了仿真和试验验证,结果表明:该系统能够实现MPCVD设备生产制备金刚石薄膜过程中冷却水温度的自动控制,与传统的PID控制相比,系统采用BP神经网络PID控制算法时超调量更小,控制精度更高,均方根误差和平均绝对误差更小,具有更好的温度控制效果。
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关键词
mpcvd设备
冷却水温度
自动控制
STM32控制器
增量式PID
BP神经网络
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Keywords
mpcvd Equipment
Cooling Water Temperature
Automatic Control
STM32 Controller
Incremental PID
BPNeural Network
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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