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基于微谐振器的圆片级真空封装真空度测试技术 被引量：1
1
作者 胥超 王敏 杨志 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期162-167,共6页
针对微电子机械系统(MEMS)圆片级封装腔体体积小、传统的真空封装测试方法适用性差的情况,研制了一种用于表征圆片级真空封装真空度的器件——MEMS微谐振器。利用此谐振器不仅可以表征圆片级真空封装真空度,也可用于圆片级真空封装漏率... 针对微电子机械系统(MEMS)圆片级封装腔体体积小、传统的真空封装测试方法适用性差的情况,研制了一种用于表征圆片级真空封装真空度的器件——MEMS微谐振器。利用此谐振器不仅可以表征圆片级真空封装真空度,也可用于圆片级真空封装漏率的测试。采用MEMS体硅工艺和共晶圆片键合技术实现了微谐振器的圆片级真空封装,利用微谐振器阻尼特性建立了谐振器品质因数与真空度的对应关系,通过设计的激励电路实现了微谐振器品质因数的在片测试,对不同键合腔体真空度下封装的MEMS微谐振器进行测试,测试结果显示该微谐振器在高真空度0.1~8 Pa范围内品质因数与真空度有很好的对应关系。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 微谐振器 品质因数 真空度 圆片级真空封装
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基于激光加工的微安保机构设计与性能
2
作者 章云 姜倩 +3 位作者 刘卫 解瑞珍 任小明 刘兰 《含能材料》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期83-91,共9页
复杂场景下火工品微安保机构需具有可恢复与抗过载特性,为此,研究设计了基于激光加工的金属材质电热驱动微安保机构,采用有限元模拟分析了镍基微电热执行器动作特性,通过调整双热臂U型电热执行器热臂和冷臂的长度、宽度以及各臂之间的间... 复杂场景下火工品微安保机构需具有可恢复与抗过载特性,为此,研究设计了基于激光加工的金属材质电热驱动微安保机构,采用有限元模拟分析了镍基微电热执行器动作特性,通过调整双热臂U型电热执行器热臂和冷臂的长度、宽度以及各臂之间的间隙,探究它们对输出位移的影响;通过正交实验得到优化的超快激光加工工艺参数分别为频率100 kHz、能量113μJ、切割速度100 mm·s^(-1),实现了镍基电热微安保机构的超快脉冲激光精确制造;最后,搭建了安保机构性能验证平台,验证了该机构在不同电流激励下的驱动位移与隔爆性能。结果表明,在8 A激励电流下,加工的镍基微安保机构驱动位移可达1084μm,所组装的火工品微安保机构在传爆序列中能够有效隔爆。 展开更多
关键词 电热驱动 微机电系统(MEMS) 微安保机构 激光加工
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基于改进EMD和ARMA的MEMS陀螺仪随机误差补偿方法 被引量：1
3
作者 曾鑫 先苏杰 +2 位作者 王康 司鹏 吴志林 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期3297-3306,共10页
微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)陀螺仪的随机误差限制了其测量精度。为了降低MEMS陀螺仪的随机误差,提出一种基于改进的经验模态分解(Empirical Mode Decomposition,EMD)和优化的自回归滑动平均(Autoregressive Movi... 微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)陀螺仪的随机误差限制了其测量精度。为了降低MEMS陀螺仪的随机误差,提出一种基于改进的经验模态分解(Empirical Mode Decomposition,EMD)和优化的自回归滑动平均(Autoregressive Moving Average,ARMA)模型的方法。该方法在传统EMD的基础上,结合Hausdorff距离和累积标准化模态均值以提取信号中的噪声和趋势项,对剩余信号进行ARMA建模和滤波。采用沙猫群优化算法优化建模的定阶过程,采用改进的自适应滤波补偿随机误差。试验结果表明:相较于传统EMD和传统ARMA方法,新方法在静态试验中得到的均方根误差分别降低52.5%和34.4%,在动态试验中得到的均方根误差分别降低50%和32.35%;新方法有效抑制了随机误差,提升了MEMS陀螺仪的使用精度。 展开更多
关键词 微机电系统 陀螺仪 改进经验模态分解 时间序列建模 HAUSDORFF距离 自适应滤波
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低g值MEMS惯性开关研究进展
4
作者 熊壮 张凤田 +3 位作者 谢晋 张照云 杨杰 赵宝林 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第8期908-917,共10页
微机电系统(MEMS)惯性开关是集传感与执行为一体的无源电子器件,具有体积小、重量轻、易集成、加工一致性好、免装配等优势,在汽车工业、航空航天、武器装备等领域具有广阔的应用前景。低g值MEMS惯性开关的应用场景主要为飞行器加/减速... 微机电系统(MEMS)惯性开关是集传感与执行为一体的无源电子器件,具有体积小、重量轻、易集成、加工一致性好、免装配等优势,在汽车工业、航空航天、武器装备等领域具有广阔的应用前景。低g值MEMS惯性开关的应用场景主要为飞行器加/减速过程特定功能的触发,在设计时应保证弹簧刚度低,质量块体积大,在结构设计与加工工艺中存在一定难度。本文介绍了低g值MEMS惯性开关的基本物理模型和工作原理,对国内外研究现状进行了阐述,总结了现阶段迫切需要解决的关键问题,并提出相应解决思路,为后续研究提供有益参考。 展开更多
关键词 微机电系统 惯性开关 低g值 微纳加工
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结膜无缝合玻璃体切割系统联合微切口白内障超声乳化在白内障合并增殖型糖尿病视网膜病变患者中的应用效果 被引量：1
5
作者 罗文彬 李国栋 《中国当代医药》 CAS 2024年第3期58-62,共5页
目的探讨结膜无缝合玻璃体切割系统联合微切口白内障超声乳化在白内障合并增殖型糖尿病视网膜病变患者中的应用效果。方法选取2020年1月至2022年12月南昌大学第二附属医院收治的40例(80眼)白内障合并增殖型糖尿病视网膜病变患者作为研... 目的探讨结膜无缝合玻璃体切割系统联合微切口白内障超声乳化在白内障合并增殖型糖尿病视网膜病变患者中的应用效果。方法选取2020年1月至2022年12月南昌大学第二附属医院收治的40例(80眼)白内障合并增殖型糖尿病视网膜病变患者作为研究对象,所有患者均为双眼病变,按照随机数字表法将其分为观察组(20例,40眼)与对照组(20例,40眼)。对照组采用常规玻璃体切割术与白内障超声乳化吸除术,观察组采用结膜无缝合玻璃体切割系统联合微切口白内障超声乳化吸除术。比较两组手术前,术后7 d,术后1、3个月视力水平、眼压水平及内皮细胞数目以及两组术后并发症发生情况。结果两组患者术后7 d,术后1、3个月视力水平高于手术前,差异有统计学意义(P<0.05);手术前、术后7 d、术后1个月,两组患者的视力水平比较,差异无统计学意义(P>0.05);术后3个月,观察组患者的视力水平高于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。术后7 d及术后1、3个月,两组患者的眼压水平低于手术前,差异有统计学意义(P<0.05);手术前,术后7 d,术后1、3个月,两组患者的眼压水平比较,差异无统计学意义(P>0.05)。术后7 d及术后1、3个月,两组患者的内皮细胞数目低于手术前,差异有统计学意义(P<0.05);术后1、3个月,两组患者的内皮细胞数目均高于术后7 d,差异有统计学意义(P<0.05);术后7 d及术后1、3个月,观察组患者的内皮细胞数高于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。观察组患者的并发症总发生率低于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。结论结膜无缝合玻璃体切割系统联合微切口白内障超声乳化治疗白内障合并增殖型糖尿病视网膜病变效果显著,可改善患者视力水平,不增加患者术后眼压,且可减少术后内皮细胞的丢失,术后并发症发生率较低。 展开更多
关键词 结膜无缝合玻璃体切割系统 微切口白内障超声乳化 白内障 糖尿病视网膜病变 视力水平 并发症
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多站融合的微能源系统站 网协同布局
6
作者 陈娟 李哲 +1 位作者 曹鑫鹏 鲁斌 《暖通空调》 2024年第4期47-54,共8页
为了促进资源的共享,提高能源利用率,建立了双层站网优化布局模型,对多站融合的微能源系统的融合站数量、位置、设备容量配置,以及管线分布进行了协同规划。上层模型采用最小生成树和谱聚类求解,解决了融合站数量、位置和管线分布问题;... 为了促进资源的共享,提高能源利用率,建立了双层站网优化布局模型,对多站融合的微能源系统的融合站数量、位置、设备容量配置,以及管线分布进行了协同规划。上层模型采用最小生成树和谱聚类求解,解决了融合站数量、位置和管线分布问题;下层模型采用提出的改进的粒子群优化算法,解决了设备容量配置问题。通过对规划区域进行算例仿真,得出了系统站网协同布局的优化结果,验证了所提模型和算法的可行性与合理性。 展开更多
关键词 多站融合 微能源系统 成本优化 站网布局 协同规划
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一种三维集成的Ku波段高功率T/R模块
7
作者 陈兴 张超 +1 位作者 陈东博 赵永志 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第6期569-574,共6页
基于硅基微电子机械系统(MEMS)三维(3D)异构集成工艺,设计并制作了用于相控阵天线系统的三维堆叠式Ku波段四通道高功率收发(T/R)模块。该模块由两层硅基封装堆叠而成,层间采用球栅阵列(BGA)植球堆叠,实现模块小型化;采用高低阻抗匹配建... 基于硅基微电子机械系统(MEMS)三维(3D)异构集成工艺,设计并制作了用于相控阵天线系统的三维堆叠式Ku波段四通道高功率收发(T/R)模块。该模块由两层硅基封装堆叠而成,层间采用球栅阵列(BGA)植球堆叠,实现模块小型化;采用高低阻抗匹配建模,保证低损耗输出,采用导热垫加微流道散热板达到了良好的散热效果,实现模块高功率输出;对模块的微波垂直互连结构和散热进行建模和仿真。测试结果表明,在14~18 GHz内发射通道饱和输出功率大于40 dBm,接收通道增益大于21 dB,噪声系数小于3.5 dB,模块尺寸仅为14.0 mm×14.0 mm×3.3 mm。该模块在兼顾高集成度的同时性能指标得到了进一步提升。 展开更多
关键词 硅基微电子机械系统(MEMS) 收发(T/R)模块 三维集成 高功率 散热设计
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某型摆式加速度计自动盖总成装配系统
8
作者 任同群 吴晗 +2 位作者 蒋锐锋 介迪 王晓东 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第18期2772-2782,共11页
摆式加速度计广泛应用于航空航天、船舶等领域的惯性导航系统中,其装配作业目前主要依赖于人工操作,产品一致性难以保证。鉴于此,本文针对某型摆式加速度计研制了一套自动装配系统。基于宏微结合的设计策略,搭建基于高精度运动滑台的微... 摆式加速度计广泛应用于航空航天、船舶等领域的惯性导航系统中,其装配作业目前主要依赖于人工操作,产品一致性难以保证。鉴于此,本文针对某型摆式加速度计研制了一套自动装配系统。基于宏微结合的设计策略,搭建基于高精度运动滑台的微动平台,以及基于单轴机器人的宏动平台。确立了以微动平台为精调核心,以宏动平台辅助压装并实现不同功能模块工作位置调整的装配机制,同时设计功能模块上中下三层的立体分层式结构,在保证精度的同时避免作业空间的拥挤。引入六轴协作机器人并集成视觉系统,实现作业空间的全覆盖识别和自动化上下料功能。针对磁钢零件磁性力对装配精度的影响,采用零件内部辅助限位的方式,实现零件装配精度的保持。基于刚体变换,对系统进行误差分析并推导了误差补偿模型。实验结果验证,该装配系统的角度装配精度优于±0.03°,压装力精度优于±0.5 N,扭力精度优于±0.003 N·m,满足装配要求,为该型摆式加速度计的批量化生产提供了有力保障。 展开更多
关键词 摆式加速度计 装配精度 微动平台 作业空间 零件装配 装配作业 装配系统 视觉系统
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L波段硅基多层堆叠MEMS耦合器
9
作者 汪蔚 李志东 +2 位作者 王伟强 周嘉 武亚宵 《微纳电子技术》 CAS 2024年第6期125-130,共6页
基于射频传输理论设计并制备了一款Si基多层堆叠微电子机械系统(MEMS)耦合器。该耦合器以高阻硅作为衬底材料,采用高精度三维MEMS加工工艺制备而成。利用电磁仿真软件进行了建模仿真,并经过金属图形化、硅基通孔(TSV)、晶圆减薄、晶圆... 基于射频传输理论设计并制备了一款Si基多层堆叠微电子机械系统(MEMS)耦合器。该耦合器以高阻硅作为衬底材料,采用高精度三维MEMS加工工艺制备而成。利用电磁仿真软件进行了建模仿真,并经过金属图形化、硅基通孔(TSV)、晶圆减薄、晶圆键合等MEMS工艺完成器件制备。采用三层硅片进行堆叠,信号传输时,通过上下两层金属的层间距离对耦合度进行调整,相比常规的平面耦合具有更小的横向尺寸。同时,为了减小信号传输过程中的辐射效应,在信号线周围设计了接地通孔,实现对耦合器的全屏蔽,使其免受外部电磁场的影响。所制备的硅基多层堆叠MEMS耦合器的频带范围为0.75~1.25 GHz,性能指标良好,尺寸仅为5.5 mm×6.0 mm×1 mm,相比常规的平面耦合结构缩小了50%,相比多层印制电路板(PCB)结构缩小了20%。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 耦合器 全屏蔽 高阻硅 多层
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基于准零刚度机构与间接力控制的恒拉力系统设计与分析
10
作者 杨杰 任天华 +3 位作者 姜与 刘英辉 甄冬 李琳 《机械设计》 CSCD 北大核心 2024年第2期1-7,共7页
现有的悬吊式微低重力模拟恒拉力系统常采用力传感器数值作为反馈直接控制系统,但实际情况下力作为反馈信号常会产生突变,影响系统控制精度。为了改进刚性控制策略下系统稳定性差与大冲击条件下力误差大的状况,文中设计了包含准零刚度... 现有的悬吊式微低重力模拟恒拉力系统常采用力传感器数值作为反馈直接控制系统,但实际情况下力作为反馈信号常会产生突变,影响系统控制精度。为了改进刚性控制策略下系统稳定性差与大冲击条件下力误差大的状况,文中设计了包含准零刚度机构的恒拉力系统,通过控制准零刚度机构长度间接对恒拉力系统输出拉力进行控制。对准零刚度机构进行受力分析,明确影响准零刚度机构性能的关键指标和准零刚度机构的工作行程区间,建立恒拉力系统动力学模型,设计控制系统。为了验证系统控制精度与系统抗干扰性能,进行了动力学联合仿真对设计进行验证,仿真结果表明:该恒拉力系统拉力的控制误差可控制在2%以内,且具有较好的鲁棒性。 展开更多
关键词 准零刚度 恒拉力机构 微重力模拟 重力补偿
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基于微观三螺旋的马普学会创新管理体系研究
11
作者 王成军 李辉 +1 位作者 张凯 王佳莲 《科学管理研究》 CSSCI 北大核心 2024年第4期42-52,共11页
作为全球顶尖级的基础研究类科研机构,马普学会(马克斯·普朗克学会)近4年均有获得诺贝尔科学奖,其内部的创新管理体系仍然缺乏从理论视角的系统梳理与剖析阐释。基于微观三螺旋理论,分析了马普学会内部教育-科研-创业体系的协同成... 作为全球顶尖级的基础研究类科研机构,马普学会(马克斯·普朗克学会)近4年均有获得诺贝尔科学奖,其内部的创新管理体系仍然缺乏从理论视角的系统梳理与剖析阐释。基于微观三螺旋理论,分析了马普学会内部教育-科研-创业体系的协同成长和演变过程。研究发现:①马普学会构建了以学术理念、治理结构、评估机制为核心的科研管理体系;②以联合国内外大学、科研机构培养人才为主的教育管理体系;③以马普创新公司为基础的创业管理体系。尤值得一提的是,其中科研管理体系在微观三螺旋体系中起主导作用。基于此,研究扩展了微观三螺旋体系的理论应用边界,即将其从大学扩展到科研机构。更重要的在于给出了加强我国科研机构创新管理体系建设的四个引领性建议和可能性举措。具体来说:①减少行政干预束缚,从制度上保障学术自由;②提供稳定的支持机制,优化资助模式;③制定合理稳定的评估机制,营造良好科研氛围;④完善成果转化体系,促进基础研究应用落地。 展开更多
关键词 马普学会 创新管理体系 微观三螺旋 教育-科研-创业
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硅基高压电容器的制作方法
12
作者 杨志 董春晖 +4 位作者 王敏 王敬轩 商庆杰 付兴中 张力江 《电子工艺技术》 2024年第6期19-21,共3页
基于微电子机械系统(MEMS)工艺,给出一种硅基高压电容器结构及工艺制作方法。设计得到了容值为2 nF、芯片尺寸为2 mm×2 mm×0.3 mm的硅基电容器。研究了制作该结构的工艺方案,解决了工艺过程中的关键技术,并给出了工艺结果。最... 基于微电子机械系统(MEMS)工艺,给出一种硅基高压电容器结构及工艺制作方法。设计得到了容值为2 nF、芯片尺寸为2 mm×2 mm×0.3 mm的硅基电容器。研究了制作该结构的工艺方案,解决了工艺过程中的关键技术,并给出了工艺结果。最终,实现了硅基高压电容器结构的工艺制作和测试。测试结果表明,获得的高压电容器的容值与设计值基本一致,击穿电压可以达到280 V,验证了工艺路线的可行性。 展开更多
关键词 硅基电容器 微电子机械系统(MEMS) 高压 TSV技术
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光谱卫星LPPT-25微电推进系统飞行试验工作性能评价
13
作者 田立成 王尚民 陈昶文 《真空》 CAS 2024年第5期80-89,共10页
基于光谱卫星任务需求,兰州空间技术物理研究所开展了脉冲等离子体微电推进系统方案设计,以此完成25W级脉冲等离子体电推进系统飞行样机研制,并开展了地面各项测试,均满足需求。为了进一步验证该系统的空间环境适应性、与航天器的相互... 基于光谱卫星任务需求,兰州空间技术物理研究所开展了脉冲等离子体微电推进系统方案设计,以此完成25W级脉冲等离子体电推进系统飞行样机研制,并开展了地面各项测试,均满足需求。为了进一步验证该系统的空间环境适应性、与航天器的相互兼容性、空间工作特性及空间飞行性能与地面数据的差异性,LPPT-25微电推进系统搭载长光卫星公司光谱星一号(GP-1)卫星开展了在轨飞行试验,对脉冲等离子体电推进系统在轨飞行试验结果进行了评价。结果表明:在整个飞行试验期间,脉冲等离子体电推进系统各项工作性能参数符合设计指标要求,电推进分系统工作正常,推力输出稳定,各遥测温度满足推进要求的控温范围;电推进推力标定为306.3μN,相比地面测试推力300μN,偏差在5%以内,体现了良好的天地一致性。 展开更多
关键词 PPT推力器 微电推进系统 微小卫星 姿态控制和轨道维持
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X波段Si基片集成脊波导MEMS环行器
14
作者 汪蔚 李志东 +2 位作者 田松杰 高纬钊 刘博达 《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期156-161,共6页
基于波导传输理论设计并制备了一款Si基片集成脊波导(RSIW)微电子机械系统(MEMS)环行器,该环形器以高阻硅作为衬底材料,采用高精度三维MEMS加工工艺制备而成。通过在基片集成波导(SIW)结构中添加脊梁结构,形成RSIW传输结构,使传输主模T... 基于波导传输理论设计并制备了一款Si基片集成脊波导(RSIW)微电子机械系统(MEMS)环行器,该环形器以高阻硅作为衬底材料,采用高精度三维MEMS加工工艺制备而成。通过在基片集成波导(SIW)结构中添加脊梁结构,形成RSIW传输结构,使传输主模TE10模的截止频率比矩形波导TE10模的低,从而实现相同频率下更小的器件尺寸。同时,通过电磁仿真软件对射频匹配和磁场分布进行了精确的建模仿真,完成了Si基片集成脊波导MEMS环行器的仿真设计。制备了尺寸为6 mm×6 mm的环行器样品并进行了测试,结果验证了仿真设计的准确性,其工作频率为8~12 GHz,回波损耗大于20 dB,隔离度大于18 dB,插入损耗小于0.5 dB。实现优良微波特性的同时,相比于常规的SIW结构环行器尺寸缩小了20%左右。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 环行器 基片集成脊波导(RSIW) 高阻硅 脊梁结构
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国际视域下的微证书:概念界定、运行模式与本土化体系构建 被引量：2
15
作者 陈健 孙善学 《中国职业技术教育》 北大核心 2024年第8期38-47,共10页
微证书是终身学习理念下教育发展的重要趋势,利于帮助学习者搭建终身学习和不断进步的台阶,使其能够有效应对数字化时代就业市场对工作技能的新需求。从微证书的通用定义、设计原则、功能特征和运行模式等维度对相关概念进行界定,分析... 微证书是终身学习理念下教育发展的重要趋势,利于帮助学习者搭建终身学习和不断进步的台阶,使其能够有效应对数字化时代就业市场对工作技能的新需求。从微证书的通用定义、设计原则、功能特征和运行模式等维度对相关概念进行界定,分析了世界范围内三个微证书体系的主要特征、模式,即欧洲的纵向发展体系、澳大利亚的横向发展体系以及美国和加拿大的附加增值体系,提出我国微证书体系建设要立足于服务人们终身学习与工作,坚持需求导向、能力本位,具备学习、流动、评价、认可和转换等功能,要突出一个成果、融通两个类型、建立三个机制、兼顾四个方面、把握好五种程度。 展开更多
关键词 终身学习 微证书 概念界定 运行模式 体系构建
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海洋监管信息化建设技术体系框架探究
16
作者 相文玺 臧琦 +3 位作者 韩志聪 范诗玥 曹英志 孙寒蕊 《海洋信息技术与应用》 2024年第2期98-105,共8页
海洋监管是自然资源管理的重要组成部分,也是加快建设海洋强国的必然要求。根据海洋监管工作的特点和任务需求,开展信息化建设,及时开发完善相应的信息系统,是确保科学、高效开展海洋监视监测管理的重要支撑手段。本文基于微服务技术架... 海洋监管是自然资源管理的重要组成部分,也是加快建设海洋强国的必然要求。根据海洋监管工作的特点和任务需求,开展信息化建设,及时开发完善相应的信息系统,是确保科学、高效开展海洋监视监测管理的重要支撑手段。本文基于微服务技术架构研究提出了纵向设计建设、横向分层管理的海洋监管信息化建设技术体系框架,在设计规范、开发模式、集成部署、配置管理、服务治理、软件选型等方面进行了探讨,以期为海洋监管信息化工程高质量落地提供保障。 展开更多
关键词 海洋监管 信息化建设 技术体系 微服务
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物联网终端管理系统在水利工程中的应用
17
作者 胡燕妮 黄铂 《集成电路应用》 2024年第8期268-269,共2页
阐述物联网终端管理系统是一款面向水利行业针对主机安全加固的防护软件产品。它能够快速采集应用软件运行过程的中间文件,并对数据进行实时优化和记录,实现信息安全的多重防护。
关键词 物联网 终端管理系统 微隔离 纵深防御
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某自由电子激光装置空调系统设计
18
作者 朱学锦 朱喆 +4 位作者 顾思源 寿炜炜 孙荣亮 张青 宋明辉 《暖通空调》 2024年第11期164-169,共6页
介绍了某自由电子激光装置的空调系统设计,主要包括冷热源系统和空气处理系统等。针对项目中5个工作井基地分散布置的特点,采用了按基地分别设置冷热源系统的方案。为了满足波荡器隧道±0.1℃的高精度温度控制要求,分析了影响温度... 介绍了某自由电子激光装置的空调系统设计,主要包括冷热源系统和空气处理系统等。针对项目中5个工作井基地分散布置的特点,采用了按基地分别设置冷热源系统的方案。为了满足波荡器隧道±0.1℃的高精度温度控制要求,分析了影响温度控制精度的各种干扰因素并找到了关键的影响因素,据此设计了一套带混水功能的高精度温度控制空调系统。针对科学装置提出的150 nm微振动要求,提出了空调设备振动控制措施。 展开更多
关键词 激光装置 高精度温度控制 地下科学装置隧道 微振动 混水系统
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流体在微小管径中的流量检测方法研究
19
作者 王伟生 冯启航 +1 位作者 张孝远 高岩 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第7期39-45,71,共8页
随着国内半导体等精密制造业的发展,对于微小管径的计量需求不断增加。为弥补国内在微小管径的流量计量方面的不足,提出一种与温度无关的超声波测量微小管径的液体流量计设计方法。首先,阐述了超声波测量流量的原理,详细解释了基于超声... 随着国内半导体等精密制造业的发展,对于微小管径的计量需求不断增加。为弥补国内在微小管径的流量计量方面的不足,提出一种与温度无关的超声波测量微小管径的液体流量计设计方法。首先,阐述了超声波测量流量的原理,详细解释了基于超声信号特征点计算飞行时间的方法,然后根据测量精度要求保证了信号时序的同步,通过以STM32控制器为核心的样机实现了流量数据的实时测量,最后,搭建测量实验平台,验证该方法的有效性。以DN4管道进行液体流量检测实验,实验结果表明流量范围为5~50 mL/min时,测量相对误差均在2.0%以内,流量范围为50~800 mL/min时,测量相对误差均在1.5%以内,满足工业生产要求,具有较好的实用性。 展开更多
关键词 微小管径 超声波测量 嵌入式系统
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基于微形变分析的电容式MEMS加速度计温漂误差精密估计方法
20
作者 齐兵 程建华 +1 位作者 赵砚驰 汪籽粒 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2024年第7期2437-2445,共9页
针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构... 针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构建过程复杂繁琐的问题,提出基于微形变分析的CMA TDE精密补偿方法。首先,通过微形变分析内部结构精准溯源TDE,基于径向基函数神经网络(radial basis function neural network,RBFNN)构建改进型TDE精密估计模型;其次,基于专家经验和模糊理论提出Expert-Fuzzy辅助决策下TDE估计模型辨识方法,为改进模型提供有效的构型指导;然后,设计升温试验测试CMA,构建传统模型和改进模型并通过对比其输出偏置稳定性评估TDE估计性能。实验结果表明,改进模型构建过程大大简化,补偿后CMA偏置稳定性提升约35%。本方法能够更加精准地估计TDE,有效解耦硅基材料的温度依赖性并提升CMA的环境适应性。 展开更多
关键词 微机电系统 温漂误差估计 微形变分析 Expert-Fuzzy辅助决策 径向基函数神经网络
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