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脉冲磁控溅射MoS2-Ti涂层常温及高温真空摩擦磨损性能 被引量:2
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作者 周毅 谌继明 +2 位作者 王平怀 但敏 金凡亚 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期135-141,共7页
利用脉冲磁控溅射法,以铝青铜合金(C63200)和硅片为基底,制作不同Ti含量的MoS2-Ti复合涂层。通过XRD、SEM、EDS、光学显微镜、多环境摩擦试验机等表征了涂层的结构成分和摩擦性能。结果表明:随Ti含量的增加,涂层致密度提升,S、Mo原子比... 利用脉冲磁控溅射法,以铝青铜合金(C63200)和硅片为基底,制作不同Ti含量的MoS2-Ti复合涂层。通过XRD、SEM、EDS、光学显微镜、多环境摩擦试验机等表征了涂层的结构成分和摩擦性能。结果表明:随Ti含量的增加,涂层致密度提升,S、Mo原子比上升。Ti的掺入使涂层由高度结晶态向非晶态转变。Ti含量增加,涂层摩擦磨损性能先上升再下降,常温真空下含3%Ti的涂层拥有稳定和低至0.015的摩擦系数,23%Ti的涂层失去润滑性。温度升高到400℃,涂层摩擦系数由0.015~0.04上升至0.07~0.1,含13%Ti的涂层高温真空下在800s后润滑失效。磨痕形貌显示,含3%Ti的涂层磨痕最窄,温度升高宽度增加不大,含13%Ti的涂层磨损严重,400℃真空环境下很快磨穿,纯MoS2和13%Ti涂层摩擦时发现大量磨粒和破碎磨屑。 展开更多
关键词 脉冲磁控溅射 mos2-ti ITER第一壁 低摩擦涂层 高温真空 摩擦磨损性能
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Vacuum current-carrying tribological behavior of MoS2-Ti films with different conductivities
2
作者 Lu-Lu Pei Peng-Fei Ju +4 位作者 Li Ji Hong-Xuan Li Xiao-Hong Liu Hui-Di Zhou Jian-Min Chen 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第6期563-571,共9页
Current-carrying sliding is widely applied in aerospace equipment,but it is limited by the poor lubricity of the present materials and the unclear tribological mechanism.This study demonstrated the potential of MoS_(2... Current-carrying sliding is widely applied in aerospace equipment,but it is limited by the poor lubricity of the present materials and the unclear tribological mechanism.This study demonstrated the potential of MoS_(2)-based materials with excellent lubricity as space sliding electrical contact materials by doping Ti to improve its conductivity.The tribological behavior of MoS_(2)-Ti films under current-carrying sliding in vacuum was studied by establishing a simulation evaluating device.Moreover,the noncurrent-carrying sliding and static current-carrying experiments in vacuum were carried out for comparison to understand the tribological mechanism.In addition to mechanical wear,the current-induced arc erosion and thermal effect take important roles in accelerating the wear.Arc erosion is caused by the accumulation of electric charge,which is related to the conductivity of the film.While the current-thermal effect softens the film,causing strong adhesive wear,and good conductivity and the large contact area are beneficial for minimizing the thermal effect.So the moderate hardness and good conductivity of MoS_(2)-Ti film contribute to its excellent current-carrying tribological behavior in vacuum,showing a significant advantage compared with the traditional ones. 展开更多
关键词 mos2-ti films CONDUCTIVITY current-carrying tribological behavior VACUUM
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非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜结构与摩擦磨损性能研究 被引量:26
3
作者 周晖 温庆平 +3 位作者 郝宏 谭立 王长胜 薛德胜 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期183-187,共5页
采用非平衡磁控溅射法制备出不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜并对其结构进行表征,采用显微硬度仪测量MoS2-Ti复合薄膜的显微硬度,在球-盘摩擦磨损试验机上评价其在大气中的摩擦磨损性能.结果表明:不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜呈岛状生长模... 采用非平衡磁控溅射法制备出不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜并对其结构进行表征,采用显微硬度仪测量MoS2-Ti复合薄膜的显微硬度,在球-盘摩擦磨损试验机上评价其在大气中的摩擦磨损性能.结果表明:不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜呈岛状生长模式,断面呈致密细柱状,结晶状态均为无定形态;薄膜的显微硬度随Ti含量增加而升高;MoS2-Ti复合薄膜在大气中的摩擦磨损性能优于MoS2薄膜,掺杂适当Ti可以使MoS2-Ti复合薄膜的摩擦曲线波动减小,耐磨寿命提高,在本试验研究范围内,含30%Ti复合薄膜的耐磨寿命最长,当Ti掺杂量达到50%时MoS2-Ti复合薄膜失去润滑性能. 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 mos2-ti复合薄膜 结构 摩擦磨损性能
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非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜的结构与真空摩擦磨损性能研究 被引量:8
4
作者 周晖 桑瑞鹏 +2 位作者 温庆平 郑军 张凯锋 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期374-378,共5页
采用非平衡磁控溅射法制备MoS2-Yi复合薄膜,采用SEM、XRD和XRF对薄膜的结构进行表征,在真空球-盘摩擦试验机上评价试验载荷、转速以及基底材料种类对薄膜真空摩擦磨损性能的影响.结果表明:MoS2-Ti复合薄膜表面致密均匀,断面为细柱... 采用非平衡磁控溅射法制备MoS2-Yi复合薄膜,采用SEM、XRD和XRF对薄膜的结构进行表征,在真空球-盘摩擦试验机上评价试验载荷、转速以及基底材料种类对薄膜真空摩擦磨损性能的影响.结果表明:MoS2-Ti复合薄膜表面致密均匀,断面为细柱状结构,呈MoS:(002)基面择优取向,薄膜中Ti含量为8wt.%,S:Mo原子比为1.8.在真空度优于5×10~Pa、室温环境中,当试验载荷从5N增加至20N时,薄膜的摩擦系数和耐磨寿命都呈减小趋势,摩擦系数变化符合赫兹接触理论模型;当试验速度从250r/min提高至1000r/min时,薄膜的摩擦系数逐渐减小,耐磨寿命变化量较小;不同基体材料上薄膜的摩擦系数平均值均为0.02,9Cr18、45#钢和40Cr基材上薄膜耐磨寿命区别不大,在20~25km之间,磨损形式为磨粒磨损,30CrMnSi上薄膜耐磨寿命明显下降,只有10.3km,磨损形式为黏着磨损,研究结果表明如果基底材料与摩擦对偶间发生黏着磨损,会明显降低其表面沉积薄膜的耐磨寿命. 展开更多
关键词 mos2-ti复合薄膜 结构 真空摩擦磨损性能
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沉积压力对非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜的结构与性能影响研究 被引量:6
5
作者 周晖 万志华 +2 位作者 郑军 桑瑞鹏 温庆平 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期9-12,41,共5页
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了沉积压力对薄膜的结构和性能的影响。利用XRF、轮廓仪和XRD分析测试薄膜的成分、厚度和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机... 采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了沉积压力对薄膜的结构和性能的影响。利用XRF、轮廓仪和XRD分析测试薄膜的成分、厚度和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机和真空环模系统评价薄膜的真空摩擦磨损性能。结果表明:降低沉积压力使溅射粒子的平均自由程变大,薄膜沉积过程中再溅射作用加强,对薄膜的结构和性能产生较大的影响。沉积压力升高,薄膜中S和Mo原子比和Ti质量分数随之增大,变化范围分别为1.50~1.77和5.8%~8.1%,薄膜沉积厚度先增大后减小,薄膜晶相结构从明显的(002)基面优势取向向准晶态转变;薄膜的硬度、与基底间的附着力都随沉积压力的升高而降低,薄膜硬度变化范围是5.7~3.5GPa,薄膜与基底间附着力变化范围是100~75mN;薄膜在真空环境中的减摩性能不受工作压力变化影响,摩擦因数平均值为0.02,波动范围为0.01~0.04,薄膜耐磨寿命随沉积压力升高依次为9000,21500,28000,18000m,工作压力低时再溅射作用破坏了MoS2分子层间的滑移能力从而使其耐磨寿命降低。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 mos2-ti复合薄膜 沉积压力 结构和性能
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MoS_2-Ti复合膜的结构及其抗氧化性能 被引量:3
6
作者 胡志彪 李贺军 +3 位作者 付前刚 文晓斌 孙国岭 黄凤萍 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第A02期216-219,共4页
利用非平衡磁控溅射仪在碳/碳复合材料表面制备了MoS2-Ti复合膜。采用XRD,Raman光谱、X射线光电子能谱仪对其结构进行了表征,并利用X射线光电子能谱仪对复合膜的抗氧化性能进行了研究。研究结果表明:所制备的MoS2-Ti复合膜为非晶态结构... 利用非平衡磁控溅射仪在碳/碳复合材料表面制备了MoS2-Ti复合膜。采用XRD,Raman光谱、X射线光电子能谱仪对其结构进行了表征,并利用X射线光电子能谱仪对复合膜的抗氧化性能进行了研究。研究结果表明:所制备的MoS2-Ti复合膜为非晶态结构;MoS2-Ti复合膜具有良好的抗氧化性能,将其在蒸馏水中浸泡200 h后,Mo4+没有被氧化。 展开更多
关键词 碳/碳复合材料 mos2-ti复合膜 抗氧化性能
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沉积温度对非平衡磁控溅射MoS_2-Ti复合薄膜的结构与性能影响研究 被引量:2
7
作者 周晖 郑军 +2 位作者 温庆平 桑瑞鹏 万志华 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期16-19,22,共5页
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了沉积温度对薄膜的结构和性能的影响。利用SEM、XRF和XRD分析薄膜的形貌、成分和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机和真空环... 采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了沉积温度对薄膜的结构和性能的影响。利用SEM、XRF和XRD分析薄膜的形貌、成分和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机和真空环模系统评价薄膜的真空摩擦磨损性能。结果表明:沉积温度升高薄膜中S和Mo原子比从1.72升高至1.76,Ti质量分数从8.2%降低至6.7%,薄膜从明显的(002)基面优势取向向多晶态转变,晶粒尺寸变大,棱面膜含量增多;薄膜的硬度、与基底间的附着力都随沉积温度的升高而降低,沉积温度为200℃时薄膜性能降低明显,硬度从4GPa降至2GPa,薄膜与基底间附着力从80mN以上降至35mN;薄膜在真空环境中的减摩作用不受沉积温度影响,摩擦因数平均值为0.02,波动范围为0.01~0.04,薄膜耐磨寿命随沉积温度升高而降低,50℃和100℃薄膜耐磨寿命相差不多,200℃薄膜样品耐磨寿命很差,是50℃和100℃薄膜样品的1/8~1/7。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 mos2-ti复合薄膜 沉积温度 结构和性能
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工件台偏压对非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti薄膜的结构与性能影响 被引量:1
8
作者 郑军 周晖 +2 位作者 温庆平 万志华 桑瑞鹏 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期28-32,共5页
采用非平衡磁控溅射技术制备MoS2-Ti薄膜,研究工件台偏压对薄膜结构和性能的影响。利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相结构,用CSM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的厚度、硬度以及膜与基体的结合力,采用球-盘摩擦磨损试验机评价薄膜在真空环... 采用非平衡磁控溅射技术制备MoS2-Ti薄膜,研究工件台偏压对薄膜结构和性能的影响。利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相结构,用CSM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的厚度、硬度以及膜与基体的结合力,采用球-盘摩擦磨损试验机评价薄膜在真空环境下的摩擦学性能。结果表明:MoS2-Ti薄膜具有明显的(002)优势取向,薄膜中S、Mo原子比及膜厚随偏压的增加而减小,薄膜硬度及膜-基体附着力随偏压的增加而增大,薄膜在真空环境中的平均摩擦因数为0.02,受偏压影响不明显,薄膜寿命受偏压影响明显,当偏压在-100 V内变化时薄膜具有较长的寿命且随偏压的增加而增长,偏压继续增大薄膜耐磨寿命下降明显,当偏压为-200 V时薄膜不具备润滑性能。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 mos2-ti复合薄膜 工件台偏压 结构和性能
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偏压及测试环境对新型MoS_2-Ti复合膜摩擦学性能的影响 被引量:4
9
作者 秦晓鹏 柯培玲 汪爱英 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期162-168,共7页
采用新型高功率脉冲复合磁控溅射技术制备MoS2-Ti复合膜,并研究基体偏压和测试环境对复合膜摩擦学性能的影响.结果表明:制备的MoS2-Ti复合膜表面呈现颗粒状结构,Ti在薄膜表层与O反应形成氧化物有效抑制MoS2的氧化.随着基体负偏压从0 V... 采用新型高功率脉冲复合磁控溅射技术制备MoS2-Ti复合膜,并研究基体偏压和测试环境对复合膜摩擦学性能的影响.结果表明:制备的MoS2-Ti复合膜表面呈现颗粒状结构,Ti在薄膜表层与O反应形成氧化物有效抑制MoS2的氧化.随着基体负偏压从0 V增大到-400 V,复合膜的S/Mo原子比逐渐减小.在-300 V偏压下,颗粒堆积最为紧密,薄膜硬度和弹性模量达到最大值,分别为9.7和137.1 GPa,并具有最低的平均摩擦系数值(0.04)和磨损率[(10-7mm3/(N.m)].多种测试环境下的摩擦研究显示:在室温大气环境下复合膜的摩擦学性能与其结构的致密性紧密相关,而在N2以及不同湿度环境下薄膜表现出的优异摩擦学性能则归因于在摩擦过程中有效形成的转移膜贡献. 展开更多
关键词 高功率脉冲复合磁控溅射 mos2-ti复合膜 基体偏压 摩擦学性能
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Microstructural and tribological behavior of TiAlN/MoS_2-Ti coatings 被引量:10
10
作者 LI Yongliang KIM Sunkyu 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第4期326-330,共5页
A TIA1N/MoS2-Ti coating was developed to improve the tribological characteristics of a single TiAlN coating. The MoS2-Ti layer was deposited by a DC magnetron sputtering system on the hard TiAIN coated SKD-11 steel su... A TIA1N/MoS2-Ti coating was developed to improve the tribological characteristics of a single TiAlN coating. The MoS2-Ti layer was deposited by a DC magnetron sputtering system on the hard TiAIN coated SKD-11 steel substrate. The titanium content in the MoS2-Ti layer was 11.3 at.% determined by EPMA. The surface morphology was observed by FE-SEM. The TiAlN layer exhibited excellent adhesion and hardness. However, the deposition of an MoS2-Zi layer on the TRAIN led to a significant improvement in tribological properties without affecting the adhesion to the substrate. The MoS2-Ti layer significantly decreased the friction coefficient of the TiAIN coating, and the drop was 48% after MoS2-Ti deposition. Also, the MoS2-Ti layer remarkably decreased the wear rate of the TtA1N coating. 展开更多
关键词 TiAIN/mos2-ti coating surface morphology tribological properties HARDNESS
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Al-Ti共掺杂MoS2复合涂层润滑性能研究 被引量:1
11
作者 赵岚 曹明 林继兴 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期901-906,共6页
采用磁控射频(RF)与磁控直流(DC)分别溅射金属铝靶,制备了润滑RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层,并在真空条件下对制备涂层进行热处理以提高涂层耐磨损性能。结果表明,RF-Al-Ti/MoS2复合涂层中S/Mo原子比为1.55,有利于MoS2(002)面... 采用磁控射频(RF)与磁控直流(DC)分别溅射金属铝靶,制备了润滑RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层,并在真空条件下对制备涂层进行热处理以提高涂层耐磨损性能。结果表明,RF-Al-Ti/MoS2复合涂层中S/Mo原子比为1.55,有利于MoS2(002)面的形成,涂层平均摩擦系数低至0.1;由于RF-Al-Ti/MoS2复合涂层原子沉积效率更大,导致涂层结构致密,且RF-Al-Ti/MoS2复合涂层中Al原子含量高,有利于提升涂层抗氧化能力及耐磨损性能。对RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层进行真空热处理,Ti和Al间扩散形成Ti-Al中间相进一步提升了涂层抗氧化性能,DC-Al-Ti/MoS2复合涂层磨痕形貌显示其耐磨损能力得到了明显提升;经500℃处理后,RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层平均摩擦系数分别降低至0.08和0.07。总体上,射频溅射更有利于提升Al-Ti/MoS2复合涂层摩擦学性能。 展开更多
关键词 磁控溅射 Al-ti/mos2复合涂层 摩擦学性能 真空热处理
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TiAlSiN-TiAlAgN-Ti(Mo)N/MoS2纳米复合涂层在不同温度下的摩擦学性能 被引量:1
12
作者 赵岩 冯长杰 +1 位作者 王泽勇 刘光明 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2019年第12期69-74,145,共7页
磁控溅射与电弧离子镀复合技术结合了2种镀膜方法的优点,制备的涂层性能优良,采用此法在SUS304表面制备了TiAlSiN-TiAlAgN-Ti(Mo)N/MoS2纳米复合涂层。采用SEM、EDS、XRD、显微硬度计、高温磨损试验机等研究了纳米复合涂层的微观结构、... 磁控溅射与电弧离子镀复合技术结合了2种镀膜方法的优点,制备的涂层性能优良,采用此法在SUS304表面制备了TiAlSiN-TiAlAgN-Ti(Mo)N/MoS2纳米复合涂层。采用SEM、EDS、XRD、显微硬度计、高温磨损试验机等研究了纳米复合涂层的微观结构、硬度、在室温(RT)、200℃、400℃、600℃恒温以及RT^600℃、600~200℃变温条件下的摩擦磨损性能。结果表明:TiAlSiN-TiAlAgN-Ti(Mo)N/MoS2纳米复合涂层表面较粗糙,有较多熔滴,显微硬度为22.56 GPa;由于MoS2、Ag以及Al2O3、SiO2分别在室温、中温(300~400℃)及高温下具有一定的润滑效果及协调润滑作用,涂层在恒温和变温环境下均具有良好的耐磨性能。 展开更多
关键词 TiAlSiN-tiAlAgN-ti(Mo)N/mos2纳米复合涂层 磁控溅射与电弧离子镀复合技术 摩擦学性能
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磁控溅射沉积高承载、低摩擦MoS_2/Ti复合薄膜 被引量:16
13
作者 关晓艳 王立平 +1 位作者 张广安 蒲吉斌 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期259-265,共7页
采用磁控溅射技术制备了不同Ti含量的Mo S2/Ti复合薄膜,利用SEM、AFM、纳米压痕仪、XRD和CSM摩擦试验机分析了复合薄膜的结构、力学和摩擦学性能.结果表明:复合薄膜结构致密,表面光滑平整,且具有较高的硬度,Ti含量较低的Mo S2/Ti复合薄... 采用磁控溅射技术制备了不同Ti含量的Mo S2/Ti复合薄膜,利用SEM、AFM、纳米压痕仪、XRD和CSM摩擦试验机分析了复合薄膜的结构、力学和摩擦学性能.结果表明:复合薄膜结构致密,表面光滑平整,且具有较高的硬度,Ti含量较低的Mo S2/Ti复合薄膜呈现以(002)基面为主的择优取向;在大气环境下,赫兹接触应力为2.5 GPa的摩擦工况下,Ti含量较低的Mo S2/Ti复合薄膜的摩擦系数低至0.02,磨损率低至10-17m3/(N·m)数量级,呈现出高承载、低摩擦、耐磨损的优异摩擦学性能.这是由于Ti的掺杂一方面提高了复合薄膜的力学和抗氧化性能,另一方面复合薄膜的(002)基面取向对其摩擦磨损性能发挥了重要作用. 展开更多
关键词 mos2/Ti复合薄膜 高承载 (002)基面 摩擦学性能
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溅射沉积MoS_2薄膜中掺杂Ti对其结构与性能的影响研究 被引量:9
14
作者 周晖 温庆平 +3 位作者 桑瑞鹏 万志华 刘洪柱 薛德胜 《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期24-27,共4页
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备纯MoS2和不同Ti掺杂量的MoS2-Ti复合薄膜。用SEM和XRD对薄膜的形貌和结构进行分析,用纳米划痕仪测试薄膜与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机评价薄膜在大气和真空环境中的摩擦学性能。研究结果表明:在... 采用非平衡磁控溅射沉积技术制备纯MoS2和不同Ti掺杂量的MoS2-Ti复合薄膜。用SEM和XRD对薄膜的形貌和结构进行分析,用纳米划痕仪测试薄膜与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机评价薄膜在大气和真空环境中的摩擦学性能。研究结果表明:在溅射沉积MoS2薄膜过程中掺杂金属Ti,有效地阻断了MoS2疏松、多孔柱状晶的优势生长,从而生成组织结构致密、无定形态的薄膜,提高了其与基底间的附着力。掺Ti复合薄膜在大气和真空环境中的摩擦学性能都得到显著改善,真空环境中10%Ti含量的薄膜耐磨寿命最长,是纯MoS2膜的37倍,大气环境中20%Ti含量的薄膜耐磨寿命最长,是纯MoS2膜的67倍。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 mos2薄膜 掺杂Ti 结构和性能
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MoS_2/Ti复合膜的摩擦磨损研究 被引量:14
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作者 李永良 Kin Sunkyu 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期378-380,共3页
采用直流磁控溅射方法在SKD-11钢的表面沉积一层MoS2/Ti复合膜,选择沉积厚度为1μm和2μm的复合膜进行摩擦磨损实验,结果表明,MoS2/Ti复合膜为纳米复合膜,能大大降低钢表面的摩擦系数,改善钢的摩擦性能。适当增加膜的厚度,有利于提高钢... 采用直流磁控溅射方法在SKD-11钢的表面沉积一层MoS2/Ti复合膜,选择沉积厚度为1μm和2μm的复合膜进行摩擦磨损实验,结果表明,MoS2/Ti复合膜为纳米复合膜,能大大降低钢表面的摩擦系数,改善钢的摩擦性能。适当增加膜的厚度,有利于提高钢的抗磨损性能。 展开更多
关键词 mos2/Ti复合膜 直流磁控溅射 摩擦 磨损
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MoS2/Ti复合固体润滑膜的力学性能与摩擦特性
16
作者 孙静 段泽文 +1 位作者 安帅帅 李仕华 《轴承》 北大核心 2021年第1期22-29,共8页
采用非平衡磁控溅射法在9Cr18轴承钢基底上制备了厚度约3μm的MoS2/Ti复合固体润滑膜,基于球形压头纳米压痕试验,采用连续刚度法对MoS2/Ti复合固体润滑膜的力学性能进行研究,探究MoS2/Ti复合固体润滑膜力学性能随压痕深度的变化规律;根... 采用非平衡磁控溅射法在9Cr18轴承钢基底上制备了厚度约3μm的MoS2/Ti复合固体润滑膜,基于球形压头纳米压痕试验,采用连续刚度法对MoS2/Ti复合固体润滑膜的力学性能进行研究,探究MoS2/Ti复合固体润滑膜力学性能随压痕深度的变化规律;根据压痕试验载荷-位移曲线,采用Hertz接触理论计算MoS2/Ti复合固体润滑膜的弹性模量并与试验结果进行对比;利用CSM摩擦试验机对低速、低载下MoS2/Ti复合固体润滑膜的摩擦特性进行研究;基于压痕试验提出了一种能够更准确计算钢球加载时MoS2/Ti复合固体润滑膜接触应力的方法,并计算了摩擦试验不同载荷下的接触应力。结果表明:MoS2/Ti复合固体润滑膜的力学性能和摩擦特性都会受到表面形貌的影响;除表面初始压入阶段外,MoS2/Ti复合固体润滑膜的弹性模量和接触刚度都随着压痕深度的增大而增大;滑动速度和载荷共同影响MoS2/Ti复合固体润滑膜的摩擦特性。 展开更多
关键词 滚动轴承 固体润滑轴承 mos2/Ti复合固体润滑膜 球形压头 刚度法 力学性能 摩擦因数
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MoS_2/Ti复合膜的制备和性能
17
作者 李永良 Kin Sunkyu 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1308-1310,共3页
为了克服MoS2薄膜在大气环境下极易氧化失效且耐磨性能差的缺点,采用非平衡直流磁控溅射技术制备了MoS2/Ti复合膜,研究了Ti靶电流对复合膜结构和性能的影响。电子探针(EPMA)测定表明,膜中Ti的含量随着Ti靶电流的增加而增加。场发射扫描... 为了克服MoS2薄膜在大气环境下极易氧化失效且耐磨性能差的缺点,采用非平衡直流磁控溅射技术制备了MoS2/Ti复合膜,研究了Ti靶电流对复合膜结构和性能的影响。电子探针(EPMA)测定表明,膜中Ti的含量随着Ti靶电流的增加而增加。场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)对膜的表面和截面形貌观察发现,膜的表面由尺寸为几十~几百纳米的颗粒组成,而膜的截面呈柱状晶结构。膜的致密性和Ti靶电流有关,电流越高,膜的致密性越好,从而膜的硬度也越高。 展开更多
关键词 mos2/Ti复合膜 直流磁控溅射 Ti靶电流 性能
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磁控反应溅射MoS_2/Ti/C复合薄膜的组织结构及摩擦磨损性能 被引量:1
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作者 李倩倩 尹桂林 +2 位作者 郑慈航 余震 何丹农 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期14-16,88,共3页
为了提高MoS2薄膜在室温潮湿大气条件下的摩擦磨损性能,通过磁控反应溅射制备了MoS2/Ti/C复合薄膜。采用能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)对薄膜的成分、相组成和形貌进行表征,采用纳米压痕仪测试薄膜的结... 为了提高MoS2薄膜在室温潮湿大气条件下的摩擦磨损性能,通过磁控反应溅射制备了MoS2/Ti/C复合薄膜。采用能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)对薄膜的成分、相组成和形貌进行表征,采用纳米压痕仪测试薄膜的结合力、纳米压痕硬度,采用多功能微摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦系数,并采用真彩色高分辨率共聚焦显微镜观察薄膜的磨损形貌。结果表明:与MoS2薄膜相比,含非晶态Ti和C的MoS2/Ti/C复合薄膜的(002)滑移面平行于基体表面生长,不含(100)面,结构致密,与基体的结合力提高了7.05倍,纳米压痕硬度提高了7.11倍;在室温潮湿大气条件下,MoS2/Ti/C复合薄膜比MoS2薄膜具有更低的摩擦系数和更优异的耐磨性能,平均摩擦系数为0.103,磨损率为9.67×10-7mm3/(N.m)。 展开更多
关键词 磁控反应溅射 mos2/Ti/C薄膜 mos2薄膜 组织结构 摩擦磨损性能
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空间部件表面Ti/MoS_2润滑涂层性能研究 被引量:8
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作者 鞠鹏飞 王海新 +1 位作者 蒲吉斌 王立平 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期901-905,共5页
采用中频非平衡反应磁控溅射法分别在单晶硅P(111)及钛合金基材表面制备了Ti/MoS_2复合涂层。采用原子氧辐照模拟装置考察涂层在原子氧辐照环境的抗氧化性能。利用高真空摩擦试验机分析涂层在原子氧辐照前后的摩擦学性能,并探讨了Ti掺... 采用中频非平衡反应磁控溅射法分别在单晶硅P(111)及钛合金基材表面制备了Ti/MoS_2复合涂层。采用原子氧辐照模拟装置考察涂层在原子氧辐照环境的抗氧化性能。利用高真空摩擦试验机分析涂层在原子氧辐照前后的摩擦学性能,并探讨了Ti掺杂对涂层的结构和摩擦学性能的影响。结果表明:Ti/MoS_2复合涂层结构致密,涂层(002)的晶粒取向使其具有低的摩擦系数。Ti元素掺杂提高了涂层的抗氧化性,摩擦产物较少使其在真空环境和原子氧辐照环境下具有优异的耐磨性能。将其用在空间部件表面可显著提高部件抗氧化能力及摩擦磨损性能,从而提高部件空间使用寿命。 展开更多
关键词 磁控溅射 Ti/mos2涂层 原子氧 抗氧化性能
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固体润滑轴承用9Cr18不锈钢离子注入与磁控溅射改性真空摩擦学研究 被引量:1
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作者 桑瑞鹏 陈庆川 +2 位作者 周晖 蒋钊 张延帅 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期556-559,共4页
为了提高空间固体润滑滚动轴承耐磨寿命,采用全方位离子注入和磁控溅射技术对空间固体润滑轴承用9Cr18材料进行耐磨减摩表面改性研究。首先对9Cr18不锈钢试样表面注入N+、Ti+、Ti++N+,对离子注入后试样采用磁控溅射技术沉积MoS2-Ti薄膜... 为了提高空间固体润滑滚动轴承耐磨寿命,采用全方位离子注入和磁控溅射技术对空间固体润滑轴承用9Cr18材料进行耐磨减摩表面改性研究。首先对9Cr18不锈钢试样表面注入N+、Ti+、Ti++N+,对离子注入后试样采用磁控溅射技术沉积MoS2-Ti薄膜。通过测试注入前后试样粗糙度及硬度,评价不同注入离子及无离子注入不同基底材料下溅射MoS2-Ti薄膜的附着力、真空摩擦学、薄膜磨损率等性能。结果表明离子注入通过提高9Cr18不锈钢基底硬度,能够提高复合改性后9Cr18不锈钢材料真空摩擦学性能20%。 展开更多
关键词 离子注入 mos2-ti固体润滑 真空摩擦
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