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用于纳米光电子器件加工的纳米金属膜的制作 被引量：1
1
作者 王战 刘庆纲 +3 位作者 匡登峰 米文博 白海力 胡小唐 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期563-565,共3页
在利用 Top- Down方式加工纳米电子器件和纳米光电子器件的研究中 ,纳米薄膜的制作和加工技术是一个关键环节。采用金属 Ti- SOS结构的纳米器件 ,Ti膜的厚度和成膜质量成为影响基于 AFM针尖诱导氧化加工 Ti纳米氧化线 /电路图形结构质... 在利用 Top- Down方式加工纳米电子器件和纳米光电子器件的研究中 ,纳米薄膜的制作和加工技术是一个关键环节。采用金属 Ti- SOS结构的纳米器件 ,Ti膜的厚度和成膜质量成为影响基于 AFM针尖诱导氧化加工 Ti纳米氧化线 /电路图形结构质量的重要因素。文中叙述了 Ti膜的制备和检测方法 ,给出了纳米 展开更多
关键词 纳米器件 afm针尖诱导氧化 ti膜
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