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Fabrication of Anti-reflecting Si Nano-structures with Low Aspect Ratio by Nano-sphere Lithography Technique 被引量:1
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作者 Shenghua Sun Peng Lu +4 位作者 Jun Xu Ling Xu Kunji Chen Qimin Wang Yuhua Zuo 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS 2013年第1期18-25,共8页
Nano-structured photon management is currently an interesting topic since it can enhance the optical absorption and reduce the surface reflection which will improve the performance of many kinds of optoelectronic devi... Nano-structured photon management is currently an interesting topic since it can enhance the optical absorption and reduce the surface reflection which will improve the performance of many kinds of optoelectronic devices, such as Si-based solar cells and light emitting diodes. Here, we report the fabrication of periodically nano-patterned Si structures by using polystyrene nano-sphere lithography technique. By changing the diameter of nano-spheres and the dry etching parameters, such as etching time and etching power, the morphologies of formed Si nano-structures can be well controlled as revealed by atomic force microscopy.A good broadband antireflection property has been achieved for the formed periodically nano-patterned Si structures though they have the low aspect ratio(<0.53). The reflection can be significantly reduced compared with that of flat Si substrate in a wavelength range from 400 nm to 1200 nm. The weighted mean reflection under the AM1.5 solar spectrum irradiation can be as low as 3.92% and the corresponding optical absorption is significantly improved, which indicates that the present Si periodic nano-structures can be used in Si-based thin film solar cells. 展开更多
关键词 nano-sphere lithograph Nano-patterned Si structures ANTIREFLECTION
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Nano-sphere surface arrays based on GaAs solar cells 被引量:1
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作者 Yinsheng Peng Shufeng Gong +1 位作者 Kai Liu Minghai Yao 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2020年第1期88-93,共6页
In this paper,we present our efforts on simulating and analyzing the effect of two-dimensional nano-sphere surface array on the characteristic of GaAs solar cells.Based on the scattering and diffraction theory of the ... In this paper,we present our efforts on simulating and analyzing the effect of two-dimensional nano-sphere surface array on the characteristic of GaAs solar cells.Based on the scattering and diffraction theory of the photonic crystals,the simulation results show that the distance of adjacent nano-spheres(D)has the pronounced influence on the conversion efficiency and exhibits much poor tolerance,the absolutely conversion efficiency is reduced by exceeding of 2%as the D varies from 0 to 1μm,in addition,the lower conversion efficiency(<18%)is exhibited and almost remains unaltered when the D is of>2μm.The radius(R)of nano-spheres demonstrates much great tolerance.For D=0,the solar cells exhibit high conversion efficiency(>20%)and the efficiency is only varied by less than 1%when R is varied in a very wide region of 0.3-1.2μm.One can also find out that there is good tolerance for efficiency around the optimal value of refractive index and there is only about 0.2%decrease in final cell efficiency for around±24%variation in the optimal values,which implys that it does not demand high precision processing equipment and the whole nano-sphere array could be fully complemented using self-assembled chemical methods. 展开更多
关键词 GaAs solar cell nano-sphere array REFLECTION ABSORPTION conversion efficiency
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MESOPOROUS TIO_2 NANO-SPHERES: ELECTROSPRAY COMBINED SOL-GEL FABRICATION AND APPLICATION TO ORGANIC PHOSPHORUS DEGRADATION
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作者 Dong Tian Tong Jianhua +3 位作者 Bian Chao Zhao Ling He Xiuli Xia Shanhong 《Journal of Electronics(China)》 2013年第3期313-317,共5页
In this work, electrospray technique combined sol-gel method was used to prepare porous TiO2 film. X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS), X-Ray Diffraction (XRD), and Scanning Electron Microscope (SEM) analyses were ... In this work, electrospray technique combined sol-gel method was used to prepare porous TiO2 film. X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS), X-Ray Diffraction (XRD), and Scanning Electron Microscope (SEM) analyses were conducted to examine the chemical composition, phase structure, and surface morphology of the sprayed TiO2 film. After calcined at 450℃ in air atmosphere for 2 h, mesoporous TiO2 nano-spheres clusters were formed on the surface of silicon wafer and the average size of nano-spheres was 250 nm. Ti presented as Ti 4+ oxidation state in TiO2 film, and the TiO2 film exhibited the anatase phase. The sprayed porous TiO2 films were employed as photocatalyst to degrade organic phosphorus in water samples. Compared with the TiO2 film prepared by Sol-Gel spin-coating method, the porous TiO2 film deposited by electrospray combined sol-gel method showed higher photocatalytic activity. 展开更多
关键词 SOL-GEL ELECTROSPRAY Mesoporous TiO2 nano-spheres Organic phosphorus degradation
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可低温固化正性光敏聚酰亚胺的制备与性能
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作者 唐衍超 张翠红 李铭新 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2024年第10期7-12,共6页
随着重新布线层半导体封装技术的发展,对可低温固化的正性光敏材料的光刻性能、力学性能、热力学性能和耐化学性能的要求越来越高。为此,笔者研制了一种可低温固化的正性光敏聚酰亚胺(p-PSPI)材料。在溶剂N-甲基吡咯烷酮(NMP)中,将4,4′... 随着重新布线层半导体封装技术的发展,对可低温固化的正性光敏材料的光刻性能、力学性能、热力学性能和耐化学性能的要求越来越高。为此,笔者研制了一种可低温固化的正性光敏聚酰亚胺(p-PSPI)材料。在溶剂N-甲基吡咯烷酮(NMP)中,将4,4′-氧双邻苯二甲酸酐与2,2′-双[3-(3-氨基苯甲酰胺)-4-羟基苯基]六氟丙烷、硅二胺(SiDA)和3-氨基苯酚通过聚合反应得到聚酰胺酸,再进行羧基的酯化得到聚酰胺酸酯(PAE),将PAE与感光剂重氮萘醌化合物、酚酯型热交联剂、偶联剂KBM-1403和亚胺化催化剂2,6-二甲基哌啶溶解于γ-丁内酯中进行复配,得到可低温固化的p-PSPI胶液。对p-PSPI进行水性碱性显影性能测试,在膜厚15μm条件下,光刻分辨率能够达到10μm;经200℃低温固化后,利用傅里叶变换红外光谱仪、动态热机械分析仪、热重分析仪等分析测试,结果表明,p-PSPI的亚胺化率达到98%以上,拉伸强度为108.4 MPa,断裂伸长率为10.35%,储能模量(150℃)为2.18 GPa,5%热失重温度达到367.69℃;经耐化学性能测试,p-PSPI对有机溶剂(NMP,二甲基亚砜和丙酮)、酸碱(30%HNO3,30%H2SO4,1%HF和5%KOH)以及氧化剂(10%H2O2)具有优良的耐化学稳定性,可满足低温固化条件下半导体封装所需的工艺条件。 展开更多
关键词 低温固化 正性 光敏聚酰亚胺 光刻性能 力学性能 耐化学性能
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Recent advances in lithographic fabrication of micro-/nanostructured polydimethylsiloxanes and their soft electronic applications 被引量:2
5
作者 Donghwi Cho Junyong Park +1 位作者 Taehoon Kim Seokwoo Jeon 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2019年第11期48-65,共18页
The intensive development of micro-/nanotechnologies offers a new route to construct sophisticated architectures of emerging soft electronics.Among the many classes of stretchable materials,micro-/nanostructured poly(... The intensive development of micro-/nanotechnologies offers a new route to construct sophisticated architectures of emerging soft electronics.Among the many classes of stretchable materials,micro-/nanostructured poly(dimethylsiloxane)(PDMS)has emerged as a vital building block based on its merits of flexibility,stretchability,simple processing,and,more importantly,high degrees of freedom of incorporation with other functional materials,including metals and semiconductors.The artificially designed geometries play important roles in achieving the desired mechanical and electrical performances of devices and thus show great potential for applications in the fields of stretchable displays,sensors and actuators as well as in health-monitoring device platforms.Meanwhile,novel lithographic methods to produce stretchable platforms with superb reliability have recently attracted research interest.The aim of this review is to comprehensively summarize the progress regarding micro-/nanostructured PDMS and their promising soft electronic applications.This review is concluded with a brief outlook and further research directions. 展开更多
关键词 lithographic technique microstructure NANOSTRUCTURE POLYDIMETHYLSILOXANE SOFT electronics
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Master of the House of Ten Thousand Stones:A Note on Lithographer Sun Huang
6
《China & The World Cultural Exchange》 1998年第1期44-45,共2页
关键词 Master of the House of Ten Thousand Stones:A Note on lithographer Sun Huang
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“园·图”互印研究视角中的苏州古典园林构景研究
7
作者 张健健 邰杰 《湖南包装》 2023年第4期25-30,109,共7页
通过对苏州古典园林的实地调研,从景的内部结构入手,归纳出33种景的构成方式,并且总结了苏州古典园林的构景方法、构景的变化规律以及构景的思想根源。在研究方法上亦采用图像引证法,精心择取苏州古典园林的实景型版刻插图、在苏州刊刻... 通过对苏州古典园林的实地调研,从景的内部结构入手,归纳出33种景的构成方式,并且总结了苏州古典园林的构景方法、构景的变化规律以及构景的思想根源。在研究方法上亦采用图像引证法,精心择取苏州古典园林的实景型版刻插图、在苏州刊刻的文学性版刻插图,即通过历时性与共时性的双重图像资料引证视角,将现实景观照片与园林版画共同运用于“构景法式”的图示指引作用说明。研究结果不仅为古典园林的研究提供新的思路,而且有助于在当代景观设计中继承传统和设计创新。 展开更多
关键词 苏州古典园林 构景 版刻插图 “园·图”互印
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不同气压下毛细管放电三束等离子体发光功率
8
作者 张彧熙 蔡青 张兴强 《湖北汽车工业学院学报》 2023年第3期73-77,共5页
在给定毛细管结构参数和放电条件的情况下,计算了毛细管放电三束等离子体的发光功率,并在毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源演示装置上进行了实测,测量数据与理论值基本相符。结果表明:三束等离子体发光的过程中,由于不同氮气气压... 在给定毛细管结构参数和放电条件的情况下,计算了毛细管放电三束等离子体的发光功率,并在毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源演示装置上进行了实测,测量数据与理论值基本相符。结果表明:三束等离子体发光的过程中,由于不同氮气气压下的光谱吸收和光学屏蔽极大削弱了极紫外光的输出能量,导致毛细管放电三束等离子体的发光功率随氮气气压的变化表现出特有的规律;与毛细管放电单束等离子体相比,极大输出对应的最佳气压明显提高。 展开更多
关键词 极紫外光刻光源 毛细管放电 三束等离子体 发光功率
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浅议“工程创新战略”
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作者 李丽 杜澄 《工程研究(跨学科视野中的工程)》 2023年第6期464-476,共13页
工程创新战略在建设创新型国家的背景下非常重要。文章首先通过案例讨论了工程哲学引发了对工程创新关注;之后从“双碳”目标、科技基础设施建设、集成电路产业、光刻机技术等方面讨论了工程创新的源起和国家战略的落地。工程创新是实... 工程创新战略在建设创新型国家的背景下非常重要。文章首先通过案例讨论了工程哲学引发了对工程创新关注;之后从“双碳”目标、科技基础设施建设、集成电路产业、光刻机技术等方面讨论了工程创新的源起和国家战略的落地。工程创新是实现高质量发展的必由之路,需要解决国家在科技进步和经济增长进程中所遇到的难点和阻碍。只有通过工程创新才能解决碳中和、推动经济高质量发展等国家战略问题。 展开更多
关键词 工程哲学 工程创新 国家战略 高质量发展 “双碳”目标 科技基础设施建设 集成电路产业 光刻机技术
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高数值孔径投影光刻物镜的光学设计 被引量:10
10
作者 徐明飞 庞武斌 +2 位作者 徐象如 王新华 黄玮 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期740-746,共7页
针对45nm节点投影光刻物镜的应用,开展了工作波长为193nm的深紫外浸没式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径(NA)为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜,并对两个设计方案的... 针对45nm节点投影光刻物镜的应用,开展了工作波长为193nm的深紫外浸没式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径(NA)为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜,并对两个设计方案的优劣进行对比分析,选择了同轴式结构作为最终的设计方案。分析了系统在不同NA情况下可变光阑与其远心度之间的关系,提出了用双可变曲面光阑的设计方案来优化系统的远心度。实验表明,应用本文设计方案,光刻物镜的波像差小于1nm,畸变小于1nm;新型的可变光阑使系统NA在0.85~1.35变化时的最大远心度由5.83~17.57mrad降低至0.26~3.21mrad。本文提出的设计方案为45nm节点高数值孔径投影光刻物镜的研制提供了有益的理论依据和指导。 展开更多
关键词 光学设计 高数值孔径(NA)投影光刻物镜 深紫外投影光刻物镜 远心度 曲面光阑
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利用软模板和紫外光固化技术制备超疏水表面 被引量:38
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作者 刘斌 傅叶勍 +2 位作者 阮维青 和亚宁 王晓工 《高分子学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第2期155-160,共6页
研究了一种制备超疏水表面的新方法.该方法以复制了荷叶表面结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性体为软模板.利用可紫外光交联预聚物在模板压印条件下固化成型,得到了具有微乳突结构的仿荷叶表面.制备的仿荷叶表面表现出了超疏水性能.通过... 研究了一种制备超疏水表面的新方法.该方法以复制了荷叶表面结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性体为软模板.利用可紫外光交联预聚物在模板压印条件下固化成型,得到了具有微乳突结构的仿荷叶表面.制备的仿荷叶表面表现出了超疏水性能.通过对紫外光固化体系中的单体含量、交联剂含量、引发剂含量、以及紫外曝光时间等因素的研究,得到了使仿荷叶表面的疏水性优化的条件. 展开更多
关键词 软模板 超疏水 接触角 紫外光固化 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
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古钾盐成矿条件和塔里木盆地找钾研究 被引量:9
12
作者 姚远 马海州 +2 位作者 谭红兵 董亚萍 马万栋 《盐湖研究》 CSCD 2004年第2期8-13,共6页
我国已发现的钾盐矿床不能满足国民经济发展的需求,寻找新的大型钾盐矿床是一项紧迫的任务,塔里木盆地西部,在地史时期接受多次海侵,且盆地内广泛出露岩盐矿,是一有利的成矿区。古盐湖演化的最后阶段,浓度程度高的卤水汇聚到盆地的次级... 我国已发现的钾盐矿床不能满足国民经济发展的需求,寻找新的大型钾盐矿床是一项紧迫的任务,塔里木盆地西部,在地史时期接受多次海侵,且盆地内广泛出露岩盐矿,是一有利的成矿区。古盐湖演化的最后阶段,浓度程度高的卤水汇聚到盆地的次级拗陷中,最后形成钾盐矿床,所以确定盐湖演化阶段盆地的次级拗陷位置对寻找钾盐矿至关重要。在详细查阅和消化前人资料的基础上,结合最近的野外考察认识和室内样品分析的数据,确立库车盆地的拜城—轮台地区和莎车盆地的喀什—和田、乌恰—阿克陶地区为找矿重点区域。 展开更多
关键词 钾盐矿床 成矿条件 塔里木盆地 岩相古地理 次级拗陷 海侵
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光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 被引量:22
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作者 赵磊 巩岩 赵阳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1425-1433,共9页
针对光刻投影物镜中透镜X-Y调整机构调整量程小、调整精度高的特点,提出了一种基于柔性铰链的X-Y微动调整机构,并将其应用在光刻投影物镜模型中进行了实验验证。首先,基于机构自由度和机构瞬心等概念介绍了该机构的工作原理。然后,用柔... 针对光刻投影物镜中透镜X-Y调整机构调整量程小、调整精度高的特点,提出了一种基于柔性铰链的X-Y微动调整机构,并将其应用在光刻投影物镜模型中进行了实验验证。首先,基于机构自由度和机构瞬心等概念介绍了该机构的工作原理。然后,用柔性铰链代替传统铰链完成了该机构的结构设计,并对该机构的运动方向刚度、位移输入-输出比以及固有频率和阵型等进行了仿真分析。分析结果表明:该机构X,Y方向的刚度值为1.99μm/N和1.96μm/N,X,Y方向的位移输入-输出比值分别为-2.5和-2.56,机构X,Y方向运动的原理误差分别为实际量的8.22%和6.68%。最后,将研制的X-Y微动调整机构用于光刻投影物镜验证模型中,给出了X-Y调整机构补偿前后的系统波像差。结果显示:模型补偿前后的系统波像差RMS分别为50.864nm和25.933nm。由此表明,本文设计的柔性微动调整机构补偿效果明显,能够满足光刻投影物镜高精度X-Y调整补偿要求。 展开更多
关键词 光刻物镜 柔性铰链 微动调整机构 系统波像差
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运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究 被引量:10
14
作者 王学亮 李佩玥 +1 位作者 郑楠 崔洋 《电子测量技术》 2014年第10期33-36,共4页
为了在光刻机投影物镜中使用压电陶瓷对像质补偿镜组进行精密定位,设计了一种以集成运算放大器构成的压电陶瓷驱动电路。针对光刻物镜中压电陶瓷的亚微米量级高精度定位要求,研究了驱动电路的系统精度要求,并对系统误差进行分解,着重分... 为了在光刻机投影物镜中使用压电陶瓷对像质补偿镜组进行精密定位,设计了一种以集成运算放大器构成的压电陶瓷驱动电路。针对光刻物镜中压电陶瓷的亚微米量级高精度定位要求,研究了驱动电路的系统精度要求,并对系统误差进行分解,着重分析了运算放大器放对系统精度的影响。首先,分析运放失调误差的影响;其次,使用PSpice仿真获得运放的固有频率特性,分析工作带宽下运放有限开环增益的影响;然后,对运放反馈网络的影响进行分析;最后,分析运放输出噪声的影响。计算表明,在最坏情况下该压电陶瓷驱动电路中由运算放大器引起的系统误差小于130mV,满足系统误差分配的要求。试制了系统样机并进行了验证实验,实验结果表明由运放引起的系统误差不超过100mV,与理论分析的结果符合。 展开更多
关键词 光刻物镜 压电陶瓷 驱动电路 误差分析 亚微米
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精密光学系统的热像差 被引量:6
15
作者 张巍 于新峰 +3 位作者 周连生 王学亮 倪明阳 彭海峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期3033-3040,共8页
为了精确控制与补偿物镜的热像差,设计了一套三镜实验光学系统,基于该系统验证了热像差计算方法的准确性。介绍了热像差分析方法及验证实验方案。开展不同热载工况下热像差测试实验,并与仿真结果进行了对比。最后,综合实验与仿真结果,... 为了精确控制与补偿物镜的热像差,设计了一套三镜实验光学系统,基于该系统验证了热像差计算方法的准确性。介绍了热像差分析方法及验证实验方案。开展不同热载工况下热像差测试实验,并与仿真结果进行了对比。最后,综合实验与仿真结果,分析了特定热载条件下系统热像差中非轴对称像差成分以及系统最佳焦面的变化趋势,获得了热像差的瞬态特性。实验结果显示:在输入热载大小之比为1∶4∶9的情况下,实验和仿真获得的热像差均方根(RMS)值之比分别为1∶3.75∶9和1∶4.01∶9.01,光学系统所加热载和热像差之间呈线性关系;在实验热载荷作用下,系统最佳焦面的稳态时间小于450min,而热像差中一阶像散(标准Zernike Z4)的稳态时间小于48min,一阶四叶(标准Zernike Z11)的稳态时间小于9min,最佳焦面稳态时间远大于非轴对称成分的稳态时间。基于该三镜实验光学系统所获得的热像差特性能够为投影光刻物镜或其它精密光学系统的热像差控制与补偿提供有力支撑。 展开更多
关键词 精密光学系统 激光辐照 投影光刻物镜 热像差
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光刻物镜中压电陶瓷驱动器的动态性能研究 被引量:6
16
作者 王学亮 巩岩 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期1071-1075,共5页
针对压电陶瓷在光刻机投影物镜中作为像质补偿镜组促动器的特定应用要求,对一种以集成运算放大器构成的压电陶瓷驱动器的动态性能进行了研究.首先,针对驱动器系统中集成运放固有频率特性对动态性能的影响进行了分析,确定了外部补偿网络... 针对压电陶瓷在光刻机投影物镜中作为像质补偿镜组促动器的特定应用要求,对一种以集成运算放大器构成的压电陶瓷驱动器的动态性能进行了研究.首先,针对驱动器系统中集成运放固有频率特性对动态性能的影响进行了分析,确定了外部补偿网络的参量.然后,针对驱动器系统大容性负载对动态性能的影响进行了分析,提出了隔离电阻的补偿方法.最后,讨论了驱动器系统中寄生电容对动态性能的影响.计算表明:补偿后的压电陶瓷驱动器系统相位裕量为79°,阶跃响应无超调量,调节时间为5μs.基本满足压电陶瓷在光刻物镜中作为像质补偿镜组促动器的稳定性强、响应快速、超调量小等动态要求. 展开更多
关键词 光刻物镜 压电陶瓷 动态性能
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光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析 被引量:6
17
作者 彭海峰 巩岩 赵磊 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期71-75,共5页
大口径光学元件的支撑技术是精密光学仪器的关键技术之一,在精密光学仪器的光学元件支撑中,多弹片支撑因其能使光学元件均匀受力且能够较好的消除热像差而得到很多应用。本文针对一种L形多弹片光学元件支撑结构做了结构设计,并对通过相... 大口径光学元件的支撑技术是精密光学仪器的关键技术之一,在精密光学仪器的光学元件支撑中,多弹片支撑因其能使光学元件均匀受力且能够较好的消除热像差而得到很多应用。本文针对一种L形多弹片光学元件支撑结构做了结构设计,并对通过相应的理论推导,得到其力学性能与主要几何参数的关系;以一种典型镜片为例,对镜片在三十六点支撑方式下发生的轴向位移和镜片面形的变化做了分析,得到了轴向位移和镜片面形与弹片的三个主要几何参数的关系。结果表明,在通光口径允许情况下,可以使支撑点距离中心的距离和弹片的宽度缩短以使镜片的面型变好。本文的研究结果为这种支撑结构的实际应用提供了支持和参考。 展开更多
关键词 光刻投影物镜 多弹片支撑结构 自重变形 面形分析
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等离子体软x射线源及其用于微细加工的探讨 被引量:2
18
作者 郭小明 罗承沐 +2 位作者 周兆英 叶雄英 李成榕 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1995年第1期1-6,44,共7页
喷气式Z箍缩等离子体装置可产生较强的脉冲软x射线,利用此x射线进行了初步曝光实验。另外,本文对此装置用于微细加工从理论上进行了初步探讨。
关键词 等离子体 软X线 光刻 微细加工
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一种苯磺酸酯类光致产酸剂的合成与性能研究 被引量:2
19
作者 王筠 杨欢欢 +1 位作者 李全良 谢建平 《应用化工》 CAS CSCD 2014年第10期1830-1832,共3页
以苯酐、盐酸羟胺和4-甲基苯磺酰氯为原料,合成了N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,并利用红外、核磁共振和紫外对其进行表征,研究了溶解性、紫外吸收和光刻等性能。结果表明,该产酸剂在常见有机溶剂中表现出良好的溶解性,并在248 nm... 以苯酐、盐酸羟胺和4-甲基苯磺酰氯为原料,合成了N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,并利用红外、核磁共振和紫外对其进行表征,研究了溶解性、紫外吸收和光刻等性能。结果表明,该产酸剂在常见有机溶剂中表现出良好的溶解性,并在248 nm处有好的透明性,可应用于深紫外光致抗蚀剂体系。 展开更多
关键词 光致产酸剂 合成 光刻技术
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6-PSS型光学元件精密轴向调节机构 被引量:15
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作者 郭抗 巩岩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2648-2655,共8页
设计了一种采用6-PSS型并联机构的光学元件精密轴向调节机构,以使光刻物镜中光学元件的调节行程达微米级,调节精度达纳米级。将6-PSS型并联机构中的6个移动副改进为3个,减少了驱动器的使用数量,提高了轴向调节机构的可靠性;设计了一种... 设计了一种采用6-PSS型并联机构的光学元件精密轴向调节机构,以使光刻物镜中光学元件的调节行程达微米级,调节精度达纳米级。将6-PSS型并联机构中的6个移动副改进为3个,减少了驱动器的使用数量,提高了轴向调节机构的可靠性;设计了一种圆角薄柔性铰链结构作为6-PSS型并联机构中的球铰副,实现了轴向调节机构的结构一体化,简化了光机组件的装调过程,提高了机构的机械精度;利用空间矢量法分析了机构输入构件与输出构件之间的位置关系,推导出了机构的传动比表达式,为机构主要结构尺寸的选取提供了依据。轴向调节机构的验证试验结果表明:机构传动比的理论计算值接近于实测值;轴向调节机构的调节行程为74.4μm,调节精度在40nm以内,满足光刻物镜中光学元件轴向调节机构的使用需求。 展开更多
关键词 光刻物镜 光学元件 调节机构 并联机构 一体化结构 6-PSS
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