类金刚石薄膜由于其独特的物理化学特性,使得该薄膜在光学、电学、机械、医学、航空航天等领域得到了广泛应用。等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD)制备类金刚石是近几十年兴起的新的制备类金...类金刚石薄膜由于其独特的物理化学特性,使得该薄膜在光学、电学、机械、医学、航空航天等领域得到了广泛应用。等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD)制备类金刚石是近几十年兴起的新的制备类金刚石薄膜的方法,因其对沉积温度要求低,对基底友好,同时还具有沉积速率快和无转移生长的优势,获得了越来越多的研究者关注。详细介绍了类金刚石薄膜优异的特性,阐述了在等离子化学气相沉积条件下,不同沉积条件对沉积类金刚石薄膜结构特性的影响。衬底的选择直接影响着沉积类金刚石薄膜的性能,不同的衬底直接决定着生成类金刚石结构中sp^(3)相的数量和质量;沉积参数是最为常见的控制条件,对沉积薄膜的总体效果影响也是最大的,改变沉积参数,沉积薄膜的表面将会变得更加光滑致密;常用的掺杂元素是硅和氮,掺杂元素的引入往往是为了降低沉积薄膜的内应力,提高与衬底间的结合力,延长使用寿命等;由于很难直接在金属上沉积类金刚石薄膜,所以常通过制备复合层来改善沉积效果。最后对类金刚石薄膜的发展以及今后研究方向进行了展望。展开更多
虚拟仿真实验教学已成为微电子工艺实训实践能力培养的重要手段,弥补和完善了传统教学方式的缺点和不足。文章介绍了PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)薄膜沉积工艺在聚光多结光伏电池芯片制备中应用的虚拟仿真实验项目...虚拟仿真实验教学已成为微电子工艺实训实践能力培养的重要手段,弥补和完善了传统教学方式的缺点和不足。文章介绍了PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)薄膜沉积工艺在聚光多结光伏电池芯片制备中应用的虚拟仿真实验项目,将实验教学融合在多结光伏电池芯片制备应用场景下,以典型的PECVD法沉积电池增透膜为例,设计实验项目。采用虚实结合的实验教学方法,解决了真实实验教学中存在的高安全风险、设备昂贵、材料成本高等问题。通过共享服务平台“ilab-x实验空间”对外免费开放,学生参与PECVD薄膜沉积全工艺流程,对培养和提高学生的创新及实践能力具有很好的作用。展开更多
文摘类金刚石薄膜由于其独特的物理化学特性,使得该薄膜在光学、电学、机械、医学、航空航天等领域得到了广泛应用。等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD)制备类金刚石是近几十年兴起的新的制备类金刚石薄膜的方法,因其对沉积温度要求低,对基底友好,同时还具有沉积速率快和无转移生长的优势,获得了越来越多的研究者关注。详细介绍了类金刚石薄膜优异的特性,阐述了在等离子化学气相沉积条件下,不同沉积条件对沉积类金刚石薄膜结构特性的影响。衬底的选择直接影响着沉积类金刚石薄膜的性能,不同的衬底直接决定着生成类金刚石结构中sp^(3)相的数量和质量;沉积参数是最为常见的控制条件,对沉积薄膜的总体效果影响也是最大的,改变沉积参数,沉积薄膜的表面将会变得更加光滑致密;常用的掺杂元素是硅和氮,掺杂元素的引入往往是为了降低沉积薄膜的内应力,提高与衬底间的结合力,延长使用寿命等;由于很难直接在金属上沉积类金刚石薄膜,所以常通过制备复合层来改善沉积效果。最后对类金刚石薄膜的发展以及今后研究方向进行了展望。
文摘虚拟仿真实验教学已成为微电子工艺实训实践能力培养的重要手段,弥补和完善了传统教学方式的缺点和不足。文章介绍了PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)薄膜沉积工艺在聚光多结光伏电池芯片制备中应用的虚拟仿真实验项目,将实验教学融合在多结光伏电池芯片制备应用场景下,以典型的PECVD法沉积电池增透膜为例,设计实验项目。采用虚实结合的实验教学方法,解决了真实实验教学中存在的高安全风险、设备昂贵、材料成本高等问题。通过共享服务平台“ilab-x实验空间”对外免费开放,学生参与PECVD薄膜沉积全工艺流程,对培养和提高学生的创新及实践能力具有很好的作用。
