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X光电子能谱研究氧离子束辅助PLD共淀积ZnO薄膜
被引量：
3
1
作者
吴正龙
李庚伟
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期373-376,372,共5页
在ZnO的XPS分析中,ZnLMM俄歇峰能很好地指认氧化锌淀积膜中Zn的价态,结合O1s光电子峰的分析,可表征ZnO中缺氧程度。通过XPS的对比实验,表明采用氧(O)离子辅助PLD共淀积ZnO薄膜,能明显改善淀积ZnO膜的缺氧问题,降低薄膜层中的孔隙率,提...
在ZnO的XPS分析中,ZnLMM俄歇峰能很好地指认氧化锌淀积膜中Zn的价态,结合O1s光电子峰的分析,可表征ZnO中缺氧程度。通过XPS的对比实验,表明采用氧(O)离子辅助PLD共淀积ZnO薄膜,能明显改善淀积ZnO膜的缺氧问题,降低薄膜层中的孔隙率,提高淀积ZnO薄膜质量。XPS深度剖析结果还表明采用O离子辅助PLD共淀积后膜层中Zn的氧化组分和孔隙率随深度变化平缓。
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关键词
X光电子能谱
俄歇电子能谱
氧化锌
氧离子束辅助
pld
共淀积
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职称材料
c-BN薄膜研究进展
被引量：
3
2
作者
李勇华
陈学康
+3 位作者
雷占许
吴敢
杨建平
王菁
《真空与低温》
1999年第4期193-197,共5页
立方氮化硼（ｃ－ ＢＮ） 在机械、热、电子及光学方面有许多优异性能，因此世界上有很多研究人员从事ｃ－ ＢＮ 薄膜制备的研究，近年来薄膜沉积技术和ｃ－ ＢＮ 薄膜质量都已取得显著进步。介绍ｃ － ＢＮ 薄膜的用途、结构、制备方...
立方氮化硼（ｃ－ ＢＮ） 在机械、热、电子及光学方面有许多优异性能，因此世界上有很多研究人员从事ｃ－ ＢＮ 薄膜制备的研究，近年来薄膜沉积技术和ｃ－ ＢＮ 薄膜质量都已取得显著进步。介绍ｃ － ＢＮ 薄膜的用途、结构、制备方法及存在的问题。重点总结了控制ｃ－ ＢＮ 相形成的关键因素及ｃ－ ＢＮ 相形成机理。
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关键词
脉冲激光
薄膜沉积
立方氮化硼
离子束辅助
沉积
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职称材料
离子束辅助沉积制备TiO_2-Nb_2O_5氧敏薄膜
被引量：
1
3
作者
牟海川
任琮欣
+3 位作者
陈国梁
朱建中
杨石奇
柳襄怀
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
1997年第1期83-88,共6页
采用离子束辅助沉积方法在Ａｌ２Ｏ３陶瓷衬底上制备了ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５氧敏薄膜。考察了薄膜组分比及退火温度对薄膜氧敏特性和结构的影响。电阻氧分压特性测试结果表明，纯Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性优于纯ＴｉＯ２薄膜；掺入少...
采用离子束辅助沉积方法在Ａｌ２Ｏ３陶瓷衬底上制备了ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５氧敏薄膜。考察了薄膜组分比及退火温度对薄膜氧敏特性和结构的影响。电阻氧分压特性测试结果表明，纯Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性优于纯ＴｉＯ２薄膜；掺入少量的Ｔｉ可使Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性提高，以５ｍｏｌ％ＴｉＯ２掺杂的Ｎｂ２Ｏ５薄膜最佳；过量掺杂则使Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性明显变差。在５ｍｏｌ％ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５薄膜中再掺入少量的Ｐｔ（０３％０５％）可使其氧敏特性更好，而且其响应时间大大缩短。Ｘ射线衍射谱（ＸＲＤ）和Ｘ射线光电子谱（ＸＰＳ）分析表明，在退火后的ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５薄膜中Ｎｂ２Ｏ５为单斜（Ｍｆｏｒｍ）结晶相，而掺杂的Ｔｉ以非晶的ＴｉＯ２形式存在，即使在高达３４ｍｏｌ％ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５薄膜中也不例外。纯ＴｉＯ２膜为金红石结构。不同退火温度（９００１１０００Ｃ）对薄膜的氧敏特性和结构无明显影响。
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关键词
氧化物半导体
氧敏薄膜
薄膜
离子束辅助沉积
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职称材料
氮氧比对AlO_xN_y薄膜结构和光学性能的影响
4
作者
孟建平
杜淼
+2 位作者
刘晓鹏
付志强
郝雷
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期972-975,共4页
以单晶硅(111)和载玻片为基体,采用离子束辅助沉积技术沉积AlO_xN_y薄膜,使用XPS、XRD和椭偏仪研究了氮氧比对AlO_xN_y薄膜的成分、相结构和光学常数的影响。结果表明,随着氮氧比减小,薄膜中氮含量减小,氧含量增加;薄膜由非晶态转变为...
以单晶硅(111)和载玻片为基体,采用离子束辅助沉积技术沉积AlO_xN_y薄膜,使用XPS、XRD和椭偏仪研究了氮氧比对AlO_xN_y薄膜的成分、相结构和光学常数的影响。结果表明,随着氮氧比减小,薄膜中氮含量减小,氧含量增加;薄膜由非晶态转变为结晶态,结晶相为AlO_xN_y。沉积薄膜的消光系数为零,呈现电介质特性。随着氮氧比减小,沉积薄膜的折射率减小。随着氮氧比的减小,薄膜中的Al-O键增多是导致AlO_xN_y薄膜折射率减小的主要原因。
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关键词
AlOxNy薄膜
氮氧比
离子束辅助沉积
折射率
消光系数
原文传递
题名
X光电子能谱研究氧离子束辅助PLD共淀积ZnO薄膜
被引量：
3
1
作者
吴正龙
李庚伟
机构
北京师范大学分析测试中心
中国地质大学材料科学与工程学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期373-376,372,共5页
基金
国家863高科技计划项目(No.715-001-0162)
中国地质大学(北京)科学技术基金资助项目(No.200524)
文摘
在ZnO的XPS分析中,ZnLMM俄歇峰能很好地指认氧化锌淀积膜中Zn的价态,结合O1s光电子峰的分析,可表征ZnO中缺氧程度。通过XPS的对比实验,表明采用氧(O)离子辅助PLD共淀积ZnO薄膜,能明显改善淀积ZnO膜的缺氧问题,降低薄膜层中的孔隙率,提高淀积ZnO薄膜质量。XPS深度剖析结果还表明采用O离子辅助PLD共淀积后膜层中Zn的氧化组分和孔隙率随深度变化平缓。
关键词
X光电子能谱
俄歇电子能谱
氧化锌
氧离子束辅助
pld
共淀积
Keywords
X-ray photoelectron spectroscopy （XPS）
auger electron spectroscopy （AES）
zenic oxide
pld with assisted oxygen ion beam
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
c-BN薄膜研究进展
被引量：
3
2
作者
李勇华
陈学康
雷占许
吴敢
杨建平
王菁
机构
兰州物理研究所
出处
《真空与低温》
1999年第4期193-197,共5页
文摘
立方氮化硼（ｃ－ ＢＮ） 在机械、热、电子及光学方面有许多优异性能，因此世界上有很多研究人员从事ｃ－ ＢＮ 薄膜制备的研究，近年来薄膜沉积技术和ｃ－ ＢＮ 薄膜质量都已取得显著进步。介绍ｃ － ＢＮ 薄膜的用途、结构、制备方法及存在的问题。重点总结了控制ｃ－ ＢＮ 相形成的关键因素及ｃ－ ＢＮ 相形成机理。
关键词
脉冲激光
薄膜沉积
立方氮化硼
离子束辅助
沉积
Keywords
pld
,c-BN film,
ion
beam
assistant
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
离子束辅助沉积制备TiO_2-Nb_2O_5氧敏薄膜
被引量：
1
3
作者
牟海川
任琮欣
陈国梁
朱建中
杨石奇
柳襄怀
机构
中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室
中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
1997年第1期83-88,共6页
文摘
采用离子束辅助沉积方法在Ａｌ２Ｏ３陶瓷衬底上制备了ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５氧敏薄膜。考察了薄膜组分比及退火温度对薄膜氧敏特性和结构的影响。电阻氧分压特性测试结果表明，纯Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性优于纯ＴｉＯ２薄膜；掺入少量的Ｔｉ可使Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性提高，以５ｍｏｌ％ＴｉＯ２掺杂的Ｎｂ２Ｏ５薄膜最佳；过量掺杂则使Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性明显变差。在５ｍｏｌ％ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５薄膜中再掺入少量的Ｐｔ（０３％０５％）可使其氧敏特性更好，而且其响应时间大大缩短。Ｘ射线衍射谱（ＸＲＤ）和Ｘ射线光电子谱（ＸＰＳ）分析表明，在退火后的ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５薄膜中Ｎｂ２Ｏ５为单斜（Ｍｆｏｒｍ）结晶相，而掺杂的Ｔｉ以非晶的ＴｉＯ２形式存在，即使在高达３４ｍｏｌ％ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５薄膜中也不例外。纯ＴｉＯ２膜为金红石结构。不同退火温度（９００１１０００Ｃ）对薄膜的氧敏特性和结构无明显影响。
关键词
氧化物半导体
氧敏薄膜
薄膜
离子束辅助沉积
Keywords
Metal oxide semiconductor,
oxygen
sensitivity,
ion
beam
assisted
deposit
ion
, Ti doped Nb 2O 5
分类号
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
氮氧比对AlO_xN_y薄膜结构和光学性能的影响
4
作者
孟建平
杜淼
刘晓鹏
付志强
郝雷
机构
北京有色金属研究总院
中国地质大学(北京)
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期972-975,共4页
基金
国家科技支撑计划(2015BAA02B04)
文摘
以单晶硅(111)和载玻片为基体,采用离子束辅助沉积技术沉积AlO_xN_y薄膜,使用XPS、XRD和椭偏仪研究了氮氧比对AlO_xN_y薄膜的成分、相结构和光学常数的影响。结果表明,随着氮氧比减小,薄膜中氮含量减小,氧含量增加;薄膜由非晶态转变为结晶态,结晶相为AlO_xN_y。沉积薄膜的消光系数为零,呈现电介质特性。随着氮氧比减小,沉积薄膜的折射率减小。随着氮氧比的减小,薄膜中的Al-O键增多是导致AlO_xN_y薄膜折射率减小的主要原因。
关键词
AlOxNy薄膜
氮氧比
离子束辅助沉积
折射率
消光系数
Keywords
AlOxNy films
nitrogen-
oxygen
ratio
IBAD（
ion
beam
assisted
deposit
ion
）
refractive index
extinct
ion
coefficient
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
X光电子能谱研究氧离子束辅助PLD共淀积ZnO薄膜
吴正龙
李庚伟
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
3
下载PDF
职称材料
2
c-BN薄膜研究进展
李勇华
陈学康
雷占许
吴敢
杨建平
王菁
《真空与低温》
1999
3
下载PDF
职称材料
3
离子束辅助沉积制备TiO_2-Nb_2O_5氧敏薄膜
牟海川
任琮欣
陈国梁
朱建中
杨石奇
柳襄怀
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
1997
1
下载PDF
职称材料
4
氮氧比对AlO_xN_y薄膜结构和光学性能的影响
孟建平
杜淼
刘晓鹏
付志强
郝雷
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
0
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