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TOPCon太阳电池单面沉积Poly-Si的工艺研究
1
作者 代同光 谭新 +4 位作者 宋志成 郭永刚 袁雅静 倪玉凤 汪梁 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第5期818-823,共6页
目前隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)电池制造技术越来越成熟,所耗成本不断降低。行业内普遍采用低压化学气相沉积(LPCVD)方式进行双面沉积或单面沉积。单面沉积存在Poly-Si绕镀问题,严重影响电池片转化效率和外观质量,同时正面绕镀层去除... 目前隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)电池制造技术越来越成熟,所耗成本不断降低。行业内普遍采用低压化学气相沉积(LPCVD)方式进行双面沉积或单面沉积。单面沉积存在Poly-Si绕镀问题,严重影响电池片转化效率和外观质量,同时正面绕镀层去除难度较大,在用碱溶液去除绕镀层的同时,存在绕镀层去除不彻底或者非绕镀区域P^(+)层被腐蚀的风险,导致P^(+)发射极受损,严重影响电池片外观质量与性能。双面沉积可避免上述问题,但产能减少一半,制造成本增加。本文对单面沉积Poly-Si工艺及绕镀层去除工艺进行研究,在TOPCon电池正面及背面制作了一层合适厚度的氧化层掩膜,搭配合适的清洗工艺、去绕镀清洗工艺,既可有效地去除P^(+)层绕镀的Poly-Si,也可很好地保护正面P^(+)层及背面掺杂Poly-Si层不受破坏,同时可大幅提升产能。 展开更多
关键词 TOPCon太阳电池 poly-si绕镀层 低压化学气相沉积 BSG PSG 腐蚀速率
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多晶硅绕镀层的去除工艺研究 被引量：2
2
作者 张婷 刘大伟 +3 位作者 宋志成 倪玉凤 杨露 刘军保 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第9期1641-1645,共5页
本文旨在针对TOPCon(Tunnel Oxide Passivated Contact背面隧穿氧化钝化接触)晶硅电池制备过程中,背面钝化多晶硅层沉积引起的硅片正面边缘沉积多晶硅绕镀层的去除进行工艺研究,进一步解决了电池外观不良和该多晶硅层对电池正面光的吸... 本文旨在针对TOPCon(Tunnel Oxide Passivated Contact背面隧穿氧化钝化接触)晶硅电池制备过程中,背面钝化多晶硅层沉积引起的硅片正面边缘沉积多晶硅绕镀层的去除进行工艺研究,进一步解决了电池外观不良和该多晶硅层对电池正面光的吸收影响。文中分别尝试采用HF-HNO 3混酸溶液和KOH碱溶液两种方式进行腐蚀处理,然后通过对处理后硅片正面的工艺控制点监控和电池EL检测等手段评估去除效果。其中HF 1wt%、HNO 350wt%混合溶液时腐蚀4 min以上可去除该绕镀层,但是大于6 min后硅片正面的方块电阻提升、硼掺杂浓度等变化幅度很大。KOH质量分数0.1wt%、添加剂体积分数5vol%混合溶液60℃时,腐蚀2.5 min以上可去除该绕镀层且方块电阻等测试相对变化幅度较小。故前者对电池后期电极的制备工艺要求更高否则容易引起欧姆接触不良,后者则对电池电极的制备工艺控制窗口更大。所以认为在多晶硅绕镀层的去除方面KOH腐蚀更适合工业批量化生产工艺选择。 展开更多
关键词 TOPCon电池 多晶硅绕镀层 腐蚀 硼掺杂 去除工艺
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TOPCon结构太阳电池掩膜工艺改进
3
作者 代同光 袁雅静 +2 位作者 宋志成 张富永 谭新 《电源技术》 CAS 北大核心 2024年第10期2066-2070,共5页
研究了TOPCon电池硼掺杂产生的硼硅玻璃(BSG)特性,BSG在电池制程中用来保护p+发射极,若BSG保护能力不足,则p+发射极受损,导致掺杂浓度减少或局部被腐蚀,其前表面钝化性能下降,主要表现为U_(oc)降低;浆料和发射极不能形成良好接触,从而... 研究了TOPCon电池硼掺杂产生的硼硅玻璃(BSG)特性,BSG在电池制程中用来保护p+发射极,若BSG保护能力不足,则p+发射极受损,导致掺杂浓度减少或局部被腐蚀,其前表面钝化性能下降,主要表现为U_(oc)降低;浆料和发射极不能形成良好接触,从而影响填充因子FF;光照在电池表面局部难以产生光生伏特效应,导致I_(sc)偏低,最终影响电池性能。研究了其生长条件、酸碱溶液对其腐蚀情况及其对外观性能的影响,发现通过升高高温氧化时炉管压强,可以快速提高硼扩散BSG生长厚度;降低去BSG工序后HF酸浸泡式清洗溶液浓度,以及当掩膜层厚度处于临界值时,缩短去绕镀poly-Si清洗时间,可有效改善正面外观异常问题及电池性能,从而保证电池片外观质量的稳定和性能的提升。 展开更多
关键词 BSG厚度 去BSG 去PSG 去绕镀poly-si清洗 HF酸浓度
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第二十一讲 真空卷绕镀膜
4
作者 张以忱 《真空》 CAS 2021年第2期86-88,共3页
(接2021年第1期88页)(2)上底漆当材料具有贮气(惰性气体或蒸汽)特性或含有一定比例的挥发性物质,如各种增塑剂及化学试剂等,将严重影响镀膜效果。首先应在该基材表面涂底漆,以填塞和封闭柔性基材上的微孔,杜绝其吸留或放出气体,避免对... (接2021年第1期88页)(2)上底漆当材料具有贮气(惰性气体或蒸汽)特性或含有一定比例的挥发性物质,如各种增塑剂及化学试剂等,将严重影响镀膜效果。首先应在该基材表面涂底漆,以填塞和封闭柔性基材上的微孔,杜绝其吸留或放出气体,避免对真空度和镀层质量的不利影响;其次,是为了消除材料表面上的微小不规则物和缺陷,使镀层平滑光洁。 展开更多
关键词 化学试剂 基材表面 挥发性物质 卷绕镀膜 涂底漆 镀层质量 真空度 柔性基材
原文传递
防止电铸泡沫镍卷绕开裂的措施
5
作者 熊轶智 熊轶娜 肖进春 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2020年第5期283-285,共3页
针对电铸泡沫镍卷绕开裂的问题展开实验研究。结果表明,通过增大卷绕辊直径,增大镀层厚度以及电铸前预热工件能够降低产生裂纹的风险.
关键词 泡沫镍 电铸 开裂 卷绕辊直径 镀层厚度 工件温度 故障排除
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弹簧热处理和电镀工艺
6
作者 柳飞泉 《表面工程资讯》 2005年第1期25-25,共1页
难题内容及要求：弹簧材料一般都采用碳素弹簧钢丝。但是弹簧在绕制成形后进行热处理和镀层处理后，发现弹簧力学性能有下降趋势．严重影响产品性能，缩短产品使用期限。改进后工艺既要到热处理工艺和电镀工艺．又要满足力学民生能不下... 难题内容及要求：弹簧材料一般都采用碳素弹簧钢丝。但是弹簧在绕制成形后进行热处理和镀层处理后，发现弹簧力学性能有下降趋势．严重影响产品性能，缩短产品使用期限。改进后工艺既要到热处理工艺和电镀工艺．又要满足力学民生能不下降的要求． 展开更多
关键词 弹簧热处理 弹簧钢丝 热处理工艺 成形 绕制 力学性能 制成 电镀工艺 镀层 碳素
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