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基于YBa_2Cu_3O_7薄膜的超导故障限流器设计与试验分析 被引量:7
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作者 王晨 张晓锋 +2 位作者 庄劲武 许瀚 杨锋 《电力自动化设备》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期103-107,共5页
针对直流电力系统短路电流分断困难的问题,提出了基于YBa2Cu3O7薄膜的电阻型超导故障限流器(SFCL)保护方案,设计了300V/200A的SFCL模型机。试验分析了不同的电源电压、负载电感和负载电阻等系统参数对薄膜限流效果及失超特性的影响。试... 针对直流电力系统短路电流分断困难的问题,提出了基于YBa2Cu3O7薄膜的电阻型超导故障限流器(SFCL)保护方案,设计了300V/200A的SFCL模型机。试验分析了不同的电源电压、负载电感和负载电阻等系统参数对薄膜限流效果及失超特性的影响。试验表明,YBa2Cu3O7薄膜能在短路电流到达临界电流Ic后准确动作,并在0.1ms时间里将短路电流峰值限制在2Ic以内。随着电源电压的增加,薄膜的失超传播速度和失超电阻值迅速增加。推导出限流器重要指标Umax、Imax与线路参数(L、R、Ue)、材料特性(Ic)的数值关系。 展开更多
关键词 YBa2cu3O7薄膜 超导故障限流器 直流电力系统 短路
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溶胶-凝胶法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜的研究 被引量:2
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作者 陈源清 赵高扬 +2 位作者 薛人中 严复学 李颖 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1423-1425,1428,共4页
传统的TFA-MOD法制备YBa2Cu3O7-x薄膜,采用Y、Ba、Cu 3种金属的三氟醋酸盐(TFA)为先驱体,在热分解时,会产生大量的HF气体,即使通过将近20h的缓慢升温过程来对薄膜进行热分解,也难以获得较为光洁的表面,从而无法实现厚膜的制备。本文提... 传统的TFA-MOD法制备YBa2Cu3O7-x薄膜,采用Y、Ba、Cu 3种金属的三氟醋酸盐(TFA)为先驱体,在热分解时,会产生大量的HF气体,即使通过将近20h的缓慢升温过程来对薄膜进行热分解,也难以获得较为光洁的表面,从而无法实现厚膜的制备。本文提出了一种新的含氟溶胶-凝胶工艺,通过减少溶胶中F的含量,并利用二乙醇胺做修饰剂,缩短了热分解时间,提高了薄膜的表面光洁度。利用该方法在(010)LaAlO3衬底上制备了具有良好c轴取向,临界转变温度为89K的YBCO超导薄膜。 展开更多
关键词 YBA2cu3O7-X TFA 薄膜
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磁控溅射法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)双面超导薄膜 被引量:2
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作者 王小平 刘援 +4 位作者 王霈文 冯稷 林晨光 华志强 张朝兴 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期470-473,共4页
采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量YBa2 Cu3O7-x双面超导薄膜。使用衬底为 (0 0 1)LaAlO3和 (0 0 1)YSZ。双面超导薄膜零电阻温度TC=89~ 91K ,临界电流密度JC≥ 10 6A/cm2 (77K ,零场下 ) ,微波表面电阻RS&l... 采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量YBa2 Cu3O7-x双面超导薄膜。使用衬底为 (0 0 1)LaAlO3和 (0 0 1)YSZ。双面超导薄膜零电阻温度TC=89~ 91K ,临界电流密度JC≥ 10 6A/cm2 (77K ,零场下 ) ,微波表面电阻RS<1mΩ(77K ,10GHz)。对不同氧氩比下制备的双面膜进行了性能的比较。当O2 ∶Ar =1∶2 .5 ,衬底温度在80 0℃时 ,制备出了高质量的双面超导薄膜。同时对双面超导薄膜进行了微结构分析。用制备的 2 5mm× 2 0mm双面膜研制成功中频滤波器 ,中心频率为 1 0 6GHz时 ,插损为 0 6 7dB。 展开更多
关键词 磁控溅射 双面超导薄膜 YBA2cu3O7-X
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化学溶液沉积法制备YBa_2Cu_3O_7超导薄膜 被引量:1
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作者 文自立 曹光旱 +3 位作者 许祝安 张年生 沙键 焦正宽 《浙江大学学报(理学版)》 CAS CSCD 2003年第3期268-270,共3页
用钇、钡、铜的环烷酸盐溶液为原料,采用化学溶液沉积法在LaAlO3(001)衬底上制备了YBa2Cu3O7超导薄膜.X射线衍射分析表明薄膜主要沿[001]方向外延生长.原子力显微研究显示晶粒排列严密、整齐有序,表面也较为平整.电阻测量显示该薄膜的... 用钇、钡、铜的环烷酸盐溶液为原料,采用化学溶液沉积法在LaAlO3(001)衬底上制备了YBa2Cu3O7超导薄膜.X射线衍射分析表明薄膜主要沿[001]方向外延生长.原子力显微研究显示晶粒排列严密、整齐有序,表面也较为平整.电阻测量显示该薄膜的超导起始转变温度为87K.本方法有望应用于大面积高温超导薄膜及带材的制备. 展开更多
关键词 YBa2cu3O7超导薄膜 化学溶液沉积法 制备方法 薄膜结构 超导起始转变温度 高温超导薄膜
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Cs_3Cu_2I_5晶体薄膜吸收谱的研究 被引量:1
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作者 孙家林 国清华 +1 位作者 吴源 李师群 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期648-650,共3页
本文测定了Cs3Cu2 I5 晶体薄膜在室温及液氮温度下的吸收谱,并依此计算出该材料的激子参数,即激子束缚能ΔE(1)ex = (0.53±0.07)eV,激子半径aex = 0.326 nm ,禁带宽度Eg = (5.0... 本文测定了Cs3Cu2 I5 晶体薄膜在室温及液氮温度下的吸收谱,并依此计算出该材料的激子参数,即激子束缚能ΔE(1)ex = (0.53±0.07)eV,激子半径aex = 0.326 nm ,禁带宽度Eg = (5.00±0.07)eV。在谱分析的基础上,论证了Cs3Cu2I5 的电子和激子激发定域在该晶体的CuI亚晶格之中,同时,揭示了在低温下Csx Cu1- x I系列化合物的第一激子峰位置随其摩尔组分变化的规律。 展开更多
关键词 Cs3cu2I5 晶体薄膜 薄膜 吸收谱 激子状态
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Cu/Sn比率对Cu_2SnSe_3薄膜若干物理性质的影响 被引量:1
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作者 张伟 陈顺礼 汪渊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期630-634,共5页
利用射频(RF)磁控溅射在玻璃基片上共溅射沉积Cu-Sn预制膜。采用固态硒化法,制备Cu/Sn化学计量比在1.87~2.22之间的Cu2SnSe3薄膜。研究了Cu/Sn比率对Cu2SnSe3薄膜的晶体结构、微结构、光学性能以及电学性能的影响。X射线衍射(XRD)结果... 利用射频(RF)磁控溅射在玻璃基片上共溅射沉积Cu-Sn预制膜。采用固态硒化法,制备Cu/Sn化学计量比在1.87~2.22之间的Cu2SnSe3薄膜。研究了Cu/Sn比率对Cu2SnSe3薄膜的晶体结构、微结构、光学性能以及电学性能的影响。X射线衍射(XRD)结果表明,所制备的Cu2SnSe3薄膜为立方晶体结构,具有(111)择优取向;贫铜的Cu2SnSe3薄膜光学带隙Eg随着Cu/Sn比率增大而增大;富铜的Cu2SnSe3薄膜光学带隙Eg随着Cu/Sn比率增大而不变。薄膜电阻率为1.67~4.62mΩ.cm。 展开更多
关键词 cu2SnSe3薄膜 cu/Sn比率 硒化 物理性质
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Cu_2SnS_3薄膜的制备及性能研究 被引量:2
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作者 杜金会 于振瑞 +2 位作者 张加友 王妍妍 李正群 《光电子技术》 CAS 2004年第3期151-155,158,共6页
采用 LBL(layer- by- layer)法制备了 Cu2 Sn S3 薄膜。即首先采用电化学方法在 Sn O2 衬底上制备 Sn S薄膜 ,然后又在其上用化学沉积法制备 Cu S薄膜 ,最后进行退火处理得到厚度约为960 nm的 Cu2 Sn S3 薄膜。探讨了薄膜的制备机理、... 采用 LBL(layer- by- layer)法制备了 Cu2 Sn S3 薄膜。即首先采用电化学方法在 Sn O2 衬底上制备 Sn S薄膜 ,然后又在其上用化学沉积法制备 Cu S薄膜 ,最后进行退火处理得到厚度约为960 nm的 Cu2 Sn S3 薄膜。探讨了薄膜的制备机理、生长速度、结构和光学特性。制备的薄膜为多晶(Cu2 Sn S3 ) 72 z(三斜或假单斜晶系 )结构 ,其直接光学带隙约为 1 .0 5 e V。 展开更多
关键词 cu2SnS3薄膜 LBL(1ayer-by-layer)法 结构特性 光学特性
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Y_1Ba_2Cu_3O_(7-x)半导体薄膜的红外热辐射响应研究 被引量:1
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作者 李然 刘桂霞 +1 位作者 李冰冰 孙强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2003年第3期259-263,共5页
采用直流磁控溅射后退火法制备了Y1Ba2Cu3O7-x/Si和Y1Ba2Cu3O7-x/ZrO2/SiO2两种半导体薄膜,对该薄膜进行了红外热辐射响应特性研究。采用X射线衍射、电阻温度系数法、喇曼散射表征手段对薄膜的显微结构进行了详细分析。结果表明,有过渡... 采用直流磁控溅射后退火法制备了Y1Ba2Cu3O7-x/Si和Y1Ba2Cu3O7-x/ZrO2/SiO2两种半导体薄膜,对该薄膜进行了红外热辐射响应特性研究。采用X射线衍射、电阻温度系数法、喇曼散射表征手段对薄膜的显微结构进行了详细分析。结果表明,有过渡层的Y1Ba2Cu3O7-x半导体薄膜均匀性好,信噪比高,在红外波段和亚毫米波段甚至毫米波段都有良好的热辐射响应,适于制做非制冷探测器的敏感元。 展开更多
关键词 Y1Ba2cu3O7-x 半导体薄膜 热辐射
原文传递
YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的最佳厚度研究 被引量:1
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作者 王茺 张鹏翔 +2 位作者 张国勇 吴慧军 陈雪梅 《昆明理工大学学报(理工版)》 2003年第6期28-30,33,共4页
在H .Lengfellner等人推导的激光感生电压公式以及笔者推导出的YBa2 Cu3O7-δ薄膜激光感生电压信号随时间变化公式的基础上 ,进一步导出产生最大激光感生电压所需的薄膜最佳厚度的方程式 .该方程给出了影响器件响应设计的主要因素 .
关键词 YBa2cu3O7-δ薄膜 脉冲激光感生电压效应 温差电效应 晶体材料 热电场
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YBa_2Cu_3O_(7-x)薄膜的制备与半导体性能的研究
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作者 刘景和 孙强 +7 位作者 李建立 刘向东 谢彪 李国桢 黄宗坦 黄承彩 李丹 黄江平 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期589-591,共3页
采用高温固相反应法制备6 0mmYBa2 Cu3O7-x(YBCO)靶材 ;通过直流磁控溅射后退火法制备具有不同过渡层 (SiO2 /Si,ZrO2 /SiO2 /Si)的薄膜 .对于Si为衬底的YBa2 Cu3O7-x薄膜 ,当x >0 .5时 ,薄膜的导电性由超导态转向半导体态 .进行了... 采用高温固相反应法制备6 0mmYBa2 Cu3O7-x(YBCO)靶材 ;通过直流磁控溅射后退火法制备具有不同过渡层 (SiO2 /Si,ZrO2 /SiO2 /Si)的薄膜 .对于Si为衬底的YBa2 Cu3O7-x薄膜 ,当x >0 .5时 ,薄膜的导电性由超导态转向半导体态 .进行了X射线衍射(XRD)分析 ,电阻温度系数 (RTC)和Hall系数测试 ,并进行Raman散射的微观分析实验 ,认为该半导体薄膜可用作室温工作的红外测辐射热计 (Bolometer)灵敏元 . 展开更多
关键词 半导体薄膜 过滤层 电阻温度系数 YBA2cu3O7-X
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斜切基片上c-取向YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的生长特性及开裂行为
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作者 王天生 漆汉宏 +4 位作者 田永君 胡文斐 赵新杰 陈莺飞 李林 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期470-472,共3页
用脉冲激光沉积方法在斜切SrTiO3 (0 0 1)基片上制备了YBa2 Cu3 O7 δ薄膜 ,并用原子力显微镜、X射线衍射仪及透射电镜研究了薄膜表面形貌、取向特征、结晶性和显微结构。结果表明 ,薄膜表面呈“台阶 台面”结构 ,并伴有与台阶边缘垂... 用脉冲激光沉积方法在斜切SrTiO3 (0 0 1)基片上制备了YBa2 Cu3 O7 δ薄膜 ,并用原子力显微镜、X射线衍射仪及透射电镜研究了薄膜表面形貌、取向特征、结晶性和显微结构。结果表明 ,薄膜表面呈“台阶 台面”结构 ,并伴有与台阶边缘垂直的裂纹产生 ,说明薄膜以“台阶流动”方式生长 ;而且薄膜具有c 轴取向 ,但其结晶性不好。在薄膜中没有观察到a b孪晶的存在。薄膜的开裂和结晶性较差均是由于斜切基片台阶表面晶格四方畸变抑制了薄膜正交转变时a b孪晶的产生 ,而使晶格错配应变不能释放造成的。 展开更多
关键词 高温超导体 生长 斜切基片 脉冲激光沉积 开裂行为 YBA2cu3O7-Δ 钙钛矿型氧化物 超导薄膜
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退火对Ag与YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜接触界面的影响
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作者 王玉梅 赵永刚 +2 位作者 梁伟 张小平 曹必松 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期665-666,共2页
关键词 退火 AG YBA2cu3O7-Δ 超导薄膜 接触界面 高温超导体 接触点
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Cu_2Sn(S,Se)_3薄膜的溶液法制备及其光电性能研究
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作者 陈建彪 常乐 +2 位作者 赵雲 李燕 王成伟 《西北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2019年第2期50-54,共5页
采用低廉、简便及易于控制元素组成的溶液法在钠钙玻璃和钼玻璃基底上沉积Cu-Sn-S前驱体膜,随后在N_2保护下硒化获得到Cu_2Sn(S,Se)_3薄膜,并通过调控前驱薄膜的硒化退火温度,实现了对薄膜形貌、物相结构、电学及光学性能的有效调制.研... 采用低廉、简便及易于控制元素组成的溶液法在钠钙玻璃和钼玻璃基底上沉积Cu-Sn-S前驱体膜,随后在N_2保护下硒化获得到Cu_2Sn(S,Se)_3薄膜,并通过调控前驱薄膜的硒化退火温度,实现了对薄膜形貌、物相结构、电学及光学性能的有效调制.研究结果表明,适当的硒化退火温度,如480℃,可得到表面平整、结晶度高、晶粒致密和双层结构(上层大、下层小晶粒)的Cu_2Sn(S,Se)_3薄膜,其带隙为1.28 eV,载流子浓度可低至6.780×10^(17) cm^(-3),迁移率高达18.19 cm^2·V^(-1)·S^(-1),可用于薄膜太阳能电池的光吸收层. 展开更多
关键词 cu2Sn(S Se)3薄膜 溶液法 硒化温度
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SrTiO_3斜切基片上外延生长YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的扫描探针显微镜研究
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作者 时东霞 巴德纯 +3 位作者 庞世瑾 胡文斐 李林 高鸿钧 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期100-103,共4页
采用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO3 (0 0 1)斜切基片上外延生长YBa2 Cu3 O7 δ薄膜 ,在大气环境下采用扫描探针显微镜对YBa2 Cu3 O7 δ薄膜的表面纳米形貌进行直接观察。发现YBa2 Cu3 O7 δ薄膜具有相对光滑的表面形貌 ,薄膜表面由沿SrT... 采用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO3 (0 0 1)斜切基片上外延生长YBa2 Cu3 O7 δ薄膜 ,在大气环境下采用扫描探针显微镜对YBa2 Cu3 O7 δ薄膜的表面纳米形貌进行直接观察。发现YBa2 Cu3 O7 δ薄膜具有相对光滑的表面形貌 ,薄膜表面由沿SrTiO3台阶趋向外延生长的纳米台阶组成 ,薄膜生长模式主要以台阶媒体生长为主。 展开更多
关键词 SrTiO3斜切基片 外延生长 扫描探针显微镜 YBA2cu3O7-Δ 薄膜 表面形貌 钛酸锶
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大气环境下YBa_2Cu_3O_7薄膜的摩擦行为和表面形貌
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作者 丁建宁 孟永钢 温诗铸 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期86-89,共4页
利用球 -盘摩擦试验装置考察了大气环境下 YBa2 Cu3O7薄膜和多晶硅薄膜同蓝宝石球及钢球对摩时的摩擦行为 ,并用原子力显微镜对其表面形貌进行了分析 .结果表明 :表面相对较粗糙的 YBa2 Cu3O7薄膜与蓝宝石球对摩时的摩擦系数低于多晶硅... 利用球 -盘摩擦试验装置考察了大气环境下 YBa2 Cu3O7薄膜和多晶硅薄膜同蓝宝石球及钢球对摩时的摩擦行为 ,并用原子力显微镜对其表面形貌进行了分析 .结果表明 :表面相对较粗糙的 YBa2 Cu3O7薄膜与蓝宝石球对摩时的摩擦系数低于多晶硅薄膜 /蓝宝石球的摩擦系数 ;而 2种薄膜与钢球对摩时的摩擦系数相当 ;YBa2 Cu3O7薄膜与蓝宝石球对摩时的启动摩擦非常稳定 ,而多晶硅薄膜的启动摩擦很不稳定 ;与钢球对摩时两者的启动摩擦则都比较稳定 .对 YBa2 Cu3O7薄膜的磨损表面形貌分析研究表明 ,其表面突出物结合疏松 ,容易从基体表面磨损脱落 . 展开更多
关键词 高温超导YBa2cu3O7薄膜 摩擦行为 表面形貌 MEMS 大气环境
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脉冲激光蒸发熔融织构靶制备的YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜
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作者 王天生 田永君 +2 位作者 彭炜 胡文斐 李林 《理化检验(物理分册)》 CAS 2002年第11期485-488,共4页
用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO3(0 0 1)单晶基片上制备了YBa2 Cu3O7 δ超导薄膜。用X射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明 ,薄膜呈c轴取向 ,薄膜中有一定数量的颗粒状Y2 O3杂... 用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO3(0 0 1)单晶基片上制备了YBa2 Cu3O7 δ超导薄膜。用X射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明 ,薄膜呈c轴取向 ,薄膜中有一定数量的颗粒状Y2 O3杂相 ,且具有择优取向 ,而靶材中所含的Y2 BaCuO8相却没有在薄膜中形成。沉积温度升高 ,有利于 [0 0 1]取向 ,但不利于 [111]取向的Y2 O3形成。与传统的粉末烧结靶相比 ,用熔融织构靶制备YBa2 Cu3O7 展开更多
关键词 脉冲激光蒸发 熔融织构靶 制备 超导薄膜 YBA2cu3O7-Δ Y2O3杂相 微观结构 表面形貌
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硅基Cu(N3)2@CNTs复合含能薄膜的制备与表征 被引量:4
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作者 魏海 刘旭文 +3 位作者 胡艳 唐惠梁 叶迎华 沈瑞琪 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期557-563,共7页
针对叠氮化铜(Cu(N3)2)静电感度高、难以实际应用的问题,设计了一种基于硅基底的内嵌叠氮化铜碳纳米管复合含能薄膜材料。首先,采用改进的两步阳极氧化法在硅基底上制备多孔氧化铝薄膜,然后将其作为模板,先后通过化学气相沉积法和电化... 针对叠氮化铜(Cu(N3)2)静电感度高、难以实际应用的问题,设计了一种基于硅基底的内嵌叠氮化铜碳纳米管复合含能薄膜材料。首先,采用改进的两步阳极氧化法在硅基底上制备多孔氧化铝薄膜,然后将其作为模板,先后通过化学气相沉积法和电化学沉积法在氧化铝孔道中制备内嵌铜纳米颗粒的定向碳纳米管(CNTs)阵列,最后利用气固相叠氮化反应制备得到可与微机电系统(MEMS,Micro-electro Mechanical Systems)加工工艺相兼容的硅基Cu(N3)2@CNTs复合含能薄膜。利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线衍射(XRD)等手段对材料的微观形貌、晶体结构和组成成分进行了表征,利用差示扫描量热法(DSC)对复合含能薄膜进行了热分解动力学研究,采用升降法测试了复合含能薄膜的静电感度。研究结果表明:硅基Cu(N3)2@CNTs复合含能薄膜的活化能约为230.00 kJ·mol^-1,热爆炸临界温度约为193.18℃;复合薄膜的静电感度明显得到改善,50%的发火能量约为4.0 mJ。 展开更多
关键词 复合含能薄膜 cu(N3)2@CNTs 静电感度 电化学沉积
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Cu/Al_2O_3复合薄膜的制备及其抗氧化性能 被引量:2
18
作者 盛澄成 徐阳 +1 位作者 魏取福 乔辉 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期596-599,606,共5页
本文在纺织纤维基材表面采用二次溅射沉积法制备了Cu/Al_2O_3复合薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线能谱仪(EDX)和矢量网络分析仪对室温环境下存放3600h的复合薄膜的表面形貌、元素含量以及屏蔽效能进行了测试,并与相同工艺条件下制备的纯C... 本文在纺织纤维基材表面采用二次溅射沉积法制备了Cu/Al_2O_3复合薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线能谱仪(EDX)和矢量网络分析仪对室温环境下存放3600h的复合薄膜的表面形貌、元素含量以及屏蔽效能进行了测试,并与相同工艺条件下制备的纯Cu薄膜进行了对比分析。结果表明:与纯Cu薄膜结构的不稳定性相比,由于复合薄膜表层Al_2O_3薄膜的结构稳定性和致密性,Cu/Al_2O_3复合薄膜在保证高屏蔽性能的前提下,具有整体结构的稳定性,表现出了良好的抗氧化性能。 展开更多
关键词 磁控溅射 cu/Al2O3复合薄膜 屏蔽效能 抗氧化性能
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Cu/Sn原子比对溅射法制备的Cu2SnS3薄膜性能的影响 被引量:1
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作者 贾宏杰 程树英 +5 位作者 马为民 胡晟 崔广州 林真 周健飞 钟胜铨 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期11171-11174,共4页
利用磁控溅射法在玻璃基片上沉积Sn/Cu叠层前驱体并将前驱体在H2S:N2气氛中硫化制备Cu2SnS3薄膜。制备出Cu/Sn原子比不同的薄膜样品,利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪、扫描隧道显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、Hall测量系统等表征手... 利用磁控溅射法在玻璃基片上沉积Sn/Cu叠层前驱体并将前驱体在H2S:N2气氛中硫化制备Cu2SnS3薄膜。制备出Cu/Sn原子比不同的薄膜样品,利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪、扫描隧道显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、Hall测量系统等表征手段对薄膜进行性能表征。研究了Cu/Sn原子比对Cu2SnS3薄膜性能的影响。结果表明,制备的薄膜是(^-131)晶向择优生长的Cu2SnS3多晶薄膜,当Cu2SnS3薄膜的Cu/Sn原子比为1.91时,获得结晶性能优异、半导体性能满足太阳电池对吸收层要求的P型Cu2SnS3半导体薄膜,此薄膜在其光学吸收边具有较高的光吸收系数2.07×10^4 cm^-1、合适的载流子浓度6.6×10^18 cm^-3、较高的载流子迁移率5.1 cm^2 v^-1s^-1及较窄的禁带宽度0.97 eV。 展开更多
关键词 cu2SnS3薄膜 磁控溅射 cu/Sn原子比 太阳电池吸收层
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氩氧混合气体及纯氧气氛下脉冲激光沉积法制备YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜的研究 被引量:1
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作者 张宇生 代秀红 +1 位作者 刘保亭 娄建忠 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期534-538,共5页
利用脉冲激光沉积法(PLD)在保证其它实验参数不变的情况下,分别在Ar∶O2为3∶1和纯O2的气氛中,在(001)SrTiO_3(STO)基片上制备了外延的高质量YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导薄膜。X射线衍射表明在氩氧混合气体下制备的YBCO薄膜具有更好的结晶... 利用脉冲激光沉积法(PLD)在保证其它实验参数不变的情况下,分别在Ar∶O2为3∶1和纯O2的气氛中,在(001)SrTiO_3(STO)基片上制备了外延的高质量YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导薄膜。X射线衍射表明在氩氧混合气体下制备的YBCO薄膜具有更好的结晶质量。扫描电子显微镜测量结果发现:相比于纯O2氛围下制备的YBCO样品,在氩氧混合氛围中制备的薄膜表面具有较小颗粒密度。通过四引线法获得YBCO薄膜的归一化电阻(R/R100K)随温度(T)的变化关系发现,虽然对应不同氛围制备的YBCO薄膜的零电阻转变温度均为90.0 K,但是,对应氩氧混合气体的YBCO具有更小的正常态电阻。研究结果表明脉冲激光制备YBCO的过程中,引入氩气可以改善YBCO薄膜的结构和性能。 展开更多
关键词 YBa2cu3O7-δ薄膜 氩气 表面形貌 超导性
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