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新一代DRSEM系统SEMVisionG2 FIB简介
1
作者
李文胜
江洪波
+1 位作者
金成洛
利定东
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期21-24,共4页
简要介绍了当前半导体生产中对电子显微镜缺陷再检测(Defect Review SEM, DRSEM)系统的要求,以及应用材料公司针对这些要求推出的新一代DRSEM系统 —— SEMVisionG2 FIB的各种主要功能及其在半导体生产线上的应用。
关键词
DRSEM
电子显微镜缺陷再检测
semvisiong2
FIB
半导体
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职称材料
题名
新一代DRSEM系统SEMVisionG2 FIB简介
1
作者
李文胜
江洪波
金成洛
利定东
机构
应用材料中国公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期21-24,共4页
文摘
简要介绍了当前半导体生产中对电子显微镜缺陷再检测(Defect Review SEM, DRSEM)系统的要求,以及应用材料公司针对这些要求推出的新一代DRSEM系统 —— SEMVisionG2 FIB的各种主要功能及其在半导体生产线上的应用。
关键词
DRSEM
电子显微镜缺陷再检测
semvisiong2
FIB
半导体
Keywords
defect, DRSEM,
semvisiong2
FIB
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
新一代DRSEM系统SEMVisionG2 FIB简介
李文胜
江洪波
金成洛
利定东
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
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