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基于模糊数学法优化油茶籽粕酱油加工工艺
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作者 焦艳 李宁 李建军 《中国调味品》 CAS 北大核心 2024年第7期99-104,共6页
油茶籽粕中含有丰富的蛋白质、氮、磷和钾等,常被用作家禽饲料或有机肥料,利用率低。该研究为提高油茶籽粕的利用率,通过模糊数学法研究油茶籽粕添加量、发酵时间、盐水质量分数和盐水添加量对油茶籽粕酱油感官评分、总酸含量和氨基酸... 油茶籽粕中含有丰富的蛋白质、氮、磷和钾等,常被用作家禽饲料或有机肥料,利用率低。该研究为提高油茶籽粕的利用率,通过模糊数学法研究油茶籽粕添加量、发酵时间、盐水质量分数和盐水添加量对油茶籽粕酱油感官评分、总酸含量和氨基酸态氮含量的影响。研究结果表明,油茶籽粕酱油的最佳加工工艺为油茶籽粕添加量39%、盐水添加量95%和盐水质量分数14%。该加工工艺条件下获得的油茶籽粕酱油酱香味浓郁,结构组织均匀。油茶籽粕酱油加工工艺的研究促进了农业产业的可持续发展,提高了农产品的附加值,增加了农民的收入并推动了农业现代化进程。 展开更多
关键词 酱油 加工工艺 模糊数学 优化
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核桃粕酱油的研制及品质分析 被引量:1
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作者 谭春雷 盛军 赵存朝 《中国调味品》 CAS 北大核心 2024年第4期154-160,共7页
以螺旋压榨核桃粕、超临界萃取核桃粕和重力压榨核桃粕为原料,考察发酵时间、发酵温度、料液比和盐水浓度对酱油发酵过程中氨基酸态氮含量的影响,并对酱油的理化指标进行分析。研究发现,当发酵时间为32 d、发酵温度为42℃、料液比为1∶... 以螺旋压榨核桃粕、超临界萃取核桃粕和重力压榨核桃粕为原料,考察发酵时间、发酵温度、料液比和盐水浓度对酱油发酵过程中氨基酸态氮含量的影响,并对酱油的理化指标进行分析。研究发现,当发酵时间为32 d、发酵温度为42℃、料液比为1∶1.2、盐水浓度为13%时,3种核桃粕所得酱油中氨基酸态氮含量达到最高,分别为0.75,0.56,0.65 g/100 g。对3种成品酱油进行理化指标检测,3种酱油总氮含量分别为1.05,0.93,0.95 g/dL,无盐固形物含量分别为11.15,11.27,11.67 g/dL,均符合相应国家标准。在3种酱油中共检测出16种游离氨基酸,其中螺旋压榨核桃粕所制酱油中游离氨基酸总量最高,达6.16 g/dL,超临界萃取核桃粕和重力压榨核桃粕所制酱油中氨基酸总量分别为5.02,5.20 g/mL。研究表明3种核桃粕用来制作酱油的适合程度为螺旋压榨核桃粕>重力压榨核桃粕>超临界萃取核桃粕。核桃粕酱油的研制可为云南核桃产业的发展提供理论基础,同时可促进云南酱油产业的发展。 展开更多
关键词 核桃粕酱油 发酵工艺 响应面法 游离氨基酸
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发酵豆制品中生物胺与氨基甲酸乙酯的污染与控制 被引量:1
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作者 周凯 黄开胤 +3 位作者 张笑 李思豪 邱昌扬 徐振林 《中国食品学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期456-468,共13页
以蛋白质丰富的豆类或豆粕等为主要原料,经发酵制得的发酵豆制品,具有独特的风味和丰富的营养价值。然而,传统发酵豆制品的原料和加工过程中存在的安全隐患也备受关注。研究表明,发酵豆制品中普遍存在胺(氨)类代谢物,尤其是生物胺与氨... 以蛋白质丰富的豆类或豆粕等为主要原料,经发酵制得的发酵豆制品,具有独特的风味和丰富的营养价值。然而,传统发酵豆制品的原料和加工过程中存在的安全隐患也备受关注。研究表明,发酵豆制品中普遍存在胺(氨)类代谢物,尤其是生物胺与氨基甲酸乙酯污染且含量较高。目前,通过筛选原料及发酵剂,优化发酵工艺,添加抑制剂及采用生化方法降解,是控制生物胺与氨基甲酸乙酯污染的主要途径。本文综述近年来不同发酵豆制品中生物胺与氨基甲酸乙酯的污染情况,阐明其形成规律与机制,重点分析发酵豆制品中氨基甲酸乙酯与生物胺控制策略及其对品质和风味的影响。由于大部分发酵豆制品采用半敞开式发酵,因此工艺优化与添加抑制剂是减少有害氨(胺)积累的低成本且可操作性的方法。 展开更多
关键词 发酵豆制品 氨基甲酸乙酯 生物胺 工艺 抑制剂
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植物乳植杆菌J26高密度发酵工艺优化及其发酵豆乳的应用
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作者 郑亚平 王均豪 +3 位作者 王晨晨 张宇 姜毓君 满朝新 《现代食品科技》 CAS 北大核心 2024年第10期154-164,共11页
以植物乳植杆菌J26为研究对象,通过Biolog GENⅢMicrostation自动微生物鉴定系统筛选碳氮源,优化后用25 g/L的麦芽糖及葡萄糖(1:1)混合代替MRS培养基中碳源,10 g/L的牛肉膏与酵母粉(1:1)混合代替MRS培养基中氮源。利用单因素实验确定菌... 以植物乳植杆菌J26为研究对象,通过Biolog GENⅢMicrostation自动微生物鉴定系统筛选碳氮源,优化后用25 g/L的麦芽糖及葡萄糖(1:1)混合代替MRS培养基中碳源,10 g/L的牛肉膏与酵母粉(1:1)混合代替MRS培养基中氮源。利用单因素实验确定菌株的最优发酵条件为:培养基初始pH值为5.6,发酵温度为33℃,接种量为4%。在此条件下,采用5 L发酵罐进行高密度发酵,植物乳植杆菌J26在发酵14 h到达稳定期,活菌数可达到4.35×10^(10) CFU/mL。由于,植物乳植杆菌J26活菌数高并且发酵活力强,因此可作为发酵剂,用于豆乳的发酵,可以获得具有良好活菌数(3.56×10^(8) CFU/mL)、持水性(48.12%)和质构特性的发酵豆乳。通过优化高密度发酵工艺可以有效提高发酵液活菌数,为植物乳植杆菌J26高密度发酵工艺的应用及发酵豆乳产业化提供理论基础。 展开更多
关键词 植物乳植杆菌J26 高密度发酵 工艺优化 豆乳
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PSD光电位置传感器的实现及SOI结构研究 被引量:5
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作者 张新 高勇 +1 位作者 安涛 王彩琳 《西安理工大学学报》 CAS 2005年第3期236-240,共5页
分析了高灵敏度光电位置传感器(PSD)的设计和工艺制作过程,给出了器件制作工艺流程.对制作的器件进行了参数测试,测试结果为:响应波长为600~1200nm,峰值响应波长为760nm,位置分辨能力为5 μm,位置探测误差为±50 μm,暗电流为1.4&#... 分析了高灵敏度光电位置传感器(PSD)的设计和工艺制作过程,给出了器件制作工艺流程.对制作的器件进行了参数测试,测试结果为:响应波长为600~1200nm,峰值响应波长为760nm,位置分辨能力为5 μm,位置探测误差为±50 μm,暗电流为1.4×10-10A(VR=-5 V),峰值灵敏度为0.8634 A/W.同时为提高器件的响应速度,提出了基于SOI技术的PSD器件结构. 展开更多
关键词 光电位置传感器 电极 灵敏度 位置分辨率 工艺 线性度 soi
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螺旋藻风味酱的发酵工艺研究
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作者 薛宪辉 李思雨 +2 位作者 郭睿 崔文凯 纪蓓 《中国调味品》 CAS 北大核心 2024年第8期69-73,共5页
螺旋藻富含蛋白质、维生素和人体所需的各种微量元素,具有提高免疫力、抗贫血、预防高血脂等功效。以螺旋藻、面粉为主要原料进行发酵,使酱具有独特螺旋藻风味的同时提高了其营养价值。为获得螺旋藻风味酱的发酵工艺,研究不同因素对螺... 螺旋藻富含蛋白质、维生素和人体所需的各种微量元素,具有提高免疫力、抗贫血、预防高血脂等功效。以螺旋藻、面粉为主要原料进行发酵,使酱具有独特螺旋藻风味的同时提高了其营养价值。为获得螺旋藻风味酱的发酵工艺,研究不同因素对螺旋藻风味酱发酵的影响,进行了单因素实验,得到最佳条件为料水比1∶1.25、藻面比100∶0、培养温度35℃、接种量0.1%、盐浓度13%、制曲时间72 h。在此基础上进行四因素三水平正交实验设计,对发酵工艺进行进一步研究。以氨基酸态氮含量作为指标,得到最佳工艺条件为料水比1∶1、藻面比90∶10、培养温度35℃、接种量0.05%、盐浓度13%、制曲时间72 h。进行验证实验,最佳条件下得到的螺旋藻风味酱酯香浓郁,黏稠适度,咸甜适口,氨基酸态氮含量达到(1.54±0.03)g/100 g。通过在酱料中加入不同香料炒制,得到多种口味的螺旋藻风味酱。 展开更多
关键词 螺旋藻 酱油曲精 发酵工艺 氨基酸态氮
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基于SOIS的星载平台软件架构设计探索 被引量:4
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作者 王君 王志杰 乐浪 《航天器工程》 CSCD 北大核心 2017年第3期84-89,共6页
为适应星上信息处理发展需要,文章探索新的星载平台软件架构设计。新架构设计参考了空间数据系统咨询委员会(CCSDS)的航天器在轨接口业务(SOIS)建议书中的信息处理流程,汲取其把应用软件和信息处理软件分离的思想,并结合有线和无线总线... 为适应星上信息处理发展需要,文章探索新的星载平台软件架构设计。新架构设计参考了空间数据系统咨询委员会(CCSDS)的航天器在轨接口业务(SOIS)建议书中的信息处理流程,汲取其把应用软件和信息处理软件分离的思想,并结合有线和无线总线在软件外部接口应用的选择。此架构接口统一,可适应多目标多变量的发展需求,信息处理软件可支持大容量数据存储和传输,使应用软件可获取更丰富的信息,有利于提升卫星自主管理能力和在轨操作能力。 展开更多
关键词 卫星信息处理 航天器在轨接口业务 软件架构设计
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点浆条件对酸浆豆腐品质的影响
8
作者 许壮 丁青芝 +5 位作者 戴意强 王喆 刘振田 陈小阳 虞利俊 夏秀东 《中国粮油学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期65-74,共10页
为探究点浆时豆乳温度、点浆后蹲脑温度和蹲脑时间对酸浆豆腐品质的影响,提高酸浆豆腐品质,本研究利用质构分析、SDS-PAGE和低场核磁等技术分析了豆腐品质、豆乳中蛋白凝固过程、大豆蛋白各亚基含量和水分分布的变化规律。结果表明,点... 为探究点浆时豆乳温度、点浆后蹲脑温度和蹲脑时间对酸浆豆腐品质的影响,提高酸浆豆腐品质,本研究利用质构分析、SDS-PAGE和低场核磁等技术分析了豆腐品质、豆乳中蛋白凝固过程、大豆蛋白各亚基含量和水分分布的变化规律。结果表明,点浆时豆乳温度对豆乳沉淀中蛋白和大豆蛋白各亚基含量无显著影响,但对豆腐品质和水分分布有较大影响。当点浆时豆乳温度为75℃时,豆腐的硬度最小,而其弹性、得率、含水量、保水性、感官得分和T 21弛豫时间最大。蹲脑温度和蹲脑时间对豆腐品质、豆乳沉淀中蛋白含量和大豆蛋白各亚基含量影响显著,当蹲脑温度75℃和蹲脑时间20 min时,豆腐硬度最小为15.80 N,而弹性、得率、含水量、保水性和T 21弛豫时间最佳,分别为5.15 mm、241.3%、76.36%、65.68%、43.29 ms,且豆腐品质豆乳沉淀中蛋白含量最佳。当点浆时豆乳温度为75℃、蹲脑温度为75℃和蹲脑时间20 min时,豆腐品质和感官得分最优。 展开更多
关键词 酸浆豆腐 品质 凝固过程 低场核磁 质构分析
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SOI全介质隔离与高频互补双极兼容工艺 被引量:1
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作者 王界平 王清平 《微电子学》 CAS CSCD 1996年第3期150-152,共3页
SOI材料的全介质隔离技术与高频互补双极工艺的结合是研制抗辐照能力强、频带宽、速度高的集成运算放大器的理想途径。从实验的角度提出了一种SOI材料全介质隔离与高频互补双极工艺兼容的工艺途径。
关键词 soi材料 全介质隔离 工艺 高频互补双极
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一种基于刻蚀的SOI深槽介质隔离工艺
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作者 刘勇 邹昭伟 +1 位作者 王胜强 叶兴耀 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期586-588,共3页
 介绍了一种基于刻蚀的SOI深槽介质隔离(DTI)工艺。该工艺采用BOSCH刻蚀、兆声清洗、多晶硅回填、刻蚀平坦化等技术,制作流程简单。其介质隔离击穿电压可以根据电路的需要进行调整,并可根据氧化层厚度进行预测。其介质隔离漏电流极低。
关键词 深槽 介质隔离 soi BOSCH工艺 平坦化工艺 兆声清洗
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具有超高耐压(>1200V)的薄埋氧层BPL SOI LDMOS(英文)
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作者 张海鹏 许生根 《电子器件》 CAS 北大核心 2012年第2期119-124,共6页
为了在薄埋氧层SOI衬底上实现超高耐压LDMOS铺平道路,提出了一种具有P埋层(BPL)的薄埋氧层SOI LDMOS结构,耐压1200V以上。该BPL SOI LDMOS在传统SOI LDMOS的埋氧层和N型漂移区之间引入了一个P型埋层。当器件正向截止时,N型漂移区与P埋... 为了在薄埋氧层SOI衬底上实现超高耐压LDMOS铺平道路,提出了一种具有P埋层(BPL)的薄埋氧层SOI LDMOS结构,耐压1200V以上。该BPL SOI LDMOS在传统SOI LDMOS的埋氧层和N型漂移区之间引入了一个P型埋层。当器件正向截止时,N型漂移区与P埋层之间的反偏PN结将承担器件的绝大部分纵向压降。采用2维数值仿真工具Silvaco TCAD对BPL SOI LDMOS进行虚拟制造和器件仿真,结果表明该结构采用适当的参数既能实现1 280 V的耐压,将BOL减薄到几百纳米以下又可以改善其热特性。 展开更多
关键词 功率LDMOS P埋层soi 工艺与器件仿真 超高耐压 热性能
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四川传统酿造酱油风味品质特点解析
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作者 王泽亮 符怡 +4 位作者 李恒 范智义 李雄波 张其圣 邓维琴 《中国调味品》 CAS 北大核心 2024年第3期169-174,192,共7页
四川传统酿造酱油具有区别于广式酱油和日式酱油的独特工艺及风味品质。对此,文章通过采集四川传统酿造酱油、广式酱油及日式酱油3种酿造工艺的典型酱油产品,进行总酸含量、氨基酸态氮含量、还原糖含量、pH、游离氨基酸含量及挥发性风... 四川传统酿造酱油具有区别于广式酱油和日式酱油的独特工艺及风味品质。对此,文章通过采集四川传统酿造酱油、广式酱油及日式酱油3种酿造工艺的典型酱油产品,进行总酸含量、氨基酸态氮含量、还原糖含量、pH、游离氨基酸含量及挥发性风味物质含量测定和差异性分析,以明确四川传统酿造酱油的风味品质特点。结果表明,广式酱油中丙氨酸、谷氨酸等甜、鲜味氨基酸含量及酱油酮、4-乙基苯酚、4-乙基愈创木酚等挥发性风味物质含量相对较高,具有相对突出的甜、鲜滋味及甜香香气、烟熏香气;日式酱油清香香气、烟熏香气相对突出。相比于广式酱油和日式酱油,四川传统酿造酱油中特征挥发性化合物种类数及酸类、醛类等挥发性风味物质含量均相对较高,挥发性风味成分组成相对复杂,具有明显区别于广式酱油和日式酱油的风味品质。该研究可为酱油生产工艺优化及品质提升提供一定的数据参考。 展开更多
关键词 酱油 不同工艺 理化指标 游离氨基酸 挥发性风味物质
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速冻豆腐生产工艺及其品质影响因素的研究进展
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作者 江恒 何荣海 《农产品加工》 2024年第6期71-74,85,共5页
工业化速冻豆腐以大豆分离蛋白为主要原料,通过斩拌、酶促醒发、高温蒸煮、速冻等工序生产制造。在保留了传统豆腐的细腻、鲜香口感的同时,具有良好弹性和咀嚼性,便于烹饪加工,受到消费者的欢迎。主要从工业化速冻豆腐的原辅料、生产工... 工业化速冻豆腐以大豆分离蛋白为主要原料,通过斩拌、酶促醒发、高温蒸煮、速冻等工序生产制造。在保留了传统豆腐的细腻、鲜香口感的同时,具有良好弹性和咀嚼性,便于烹饪加工,受到消费者的欢迎。主要从工业化速冻豆腐的原辅料、生产工艺、品质影响因素及产业发展面临的技术挑战等方面进行了综述。 展开更多
关键词 速冻豆腐 生产工艺 产品品质 大豆分离蛋白 TG酶
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SOI工艺抗辐照SRAM型FPGA设计与实现 被引量:2
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作者 郝宁 罗家俊 +8 位作者 刘海南 李彬鸿 吴利华 于芳 刘忠利 高见头 孟祥鹤 邢龙 韩郑生 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1046-1052,共7页
为提升SRAM型FPGA电路块存储器和配置存储器抗单粒子翻转性能,本文提出一种脉冲屏蔽SRAM单元结构。该结构通过在标准的六管单元中加入延迟结构,增大单元对单粒子事件响应时间,实现对粒子入射产生的脉冲电流屏蔽作用。以64k SRAM作为验... 为提升SRAM型FPGA电路块存储器和配置存储器抗单粒子翻转性能,本文提出一种脉冲屏蔽SRAM单元结构。该结构通过在标准的六管单元中加入延迟结构,增大单元对单粒子事件响应时间,实现对粒子入射产生的脉冲电流屏蔽作用。以64k SRAM作为验证电路进行单粒子翻转性能对比,电路的抗单粒子翻转阈值由采用标准六管单元的抗单粒子翻转阈值大于25 Me V·cm2·mg-1提升至大于45 Me V·cm2·mg-1,加固单元面积较标准六管单元增大约21.3%。30万门级抗辐照FPGA电路通过脉冲屏蔽单元结合抗辐照SOI工艺实现,其抗辐照指标分别为:抗单粒子翻转阈值大于37.3 Me V·cm2·mg-1,抗单粒子锁定阈值大于99.8 Me V·cm2·mg-1,抗电离总剂量能力大于200 krad(Si)。 展开更多
关键词 FPGA SRAM单元 soi工艺 辐照加固 单粒子翻转
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基于PD SOI工艺的高压NMOS器件工艺研究
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作者 徐静 廖聪湘 陈正才 《电子与封装》 2013年第3期36-38,42,共4页
由于PD SOI工艺平台的特殊性,P阱浓度呈现表面低、靠近埋氧高的梯度掺杂。常规体硅的高压N管结构是整个有源区在P阱里的,需要用高能量和大剂量的P注入工艺将漂移区的P阱反型掺杂,这在工艺上是不容易实现的。文章针对常规高压NMOS器件做... 由于PD SOI工艺平台的特殊性,P阱浓度呈现表面低、靠近埋氧高的梯度掺杂。常规体硅的高压N管结构是整个有源区在P阱里的,需要用高能量和大剂量的P注入工艺将漂移区的P阱反型掺杂,这在工艺上是不容易实现的。文章针对常规高压NMOS器件做了仿真,发现漂移区必须采用能量高达180 KeV、剂量6×1013以上的P注入才能将P阱反型,形成高压NMOS器件,这在工艺实现上不太容易。而采用漂移区在N阱里的新结构,可以避免将P阱上漂移区反型的注入工艺,在工艺上容易实现。通过工艺流片验证,器件特性良好。 展开更多
关键词 soi 高压NMOS 工艺
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紫菜粉碎方式对紫菜酱油酿造的影响
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作者 吴昊 王灵昭 +4 位作者 王珊 杜静 邱春江 程守礼 程成 《食品研究与开发》 CAS 2024年第5期81-89,共9页
以种曲酶活力与原油品质为指标,探究超微粉碎和普通粉碎预处理对紫菜酱油酿造的影响,并通过单因素和响应面试验,优化制曲工艺。研究结果表明,成曲蛋白酶活力值为未添加紫菜>普通粉碎>超微粉碎,且超微粉碎条斑紫菜>超微粉碎坛紫... 以种曲酶活力与原油品质为指标,探究超微粉碎和普通粉碎预处理对紫菜酱油酿造的影响,并通过单因素和响应面试验,优化制曲工艺。研究结果表明,成曲蛋白酶活力值为未添加紫菜>普通粉碎>超微粉碎,且超微粉碎条斑紫菜>超微粉碎坛紫菜;发酵180 d后,超微粉碎紫菜酱油的黏度高于普通粉碎紫菜酱油,且均高于普通酱油;紫菜酱油成曲的最佳制曲工艺为接种量0.50%、制曲时间48 h、制曲温度32℃,在该条件下,成曲中蛋白酶活力可达到2109.00 U/g。以最佳制曲工艺进行验证试验,结果表明,相比于普通粉碎预处理,超微粉碎可将坛紫菜酱油和条斑紫菜酱油中蛋白质利用率分别提高5.91%和6.05%。 展开更多
关键词 紫菜酱油 超微粉碎 酶活 制曲工艺 利用率
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SOI电路的研制
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作者 栾兰 王雪峰 张斌 《微处理机》 2003年第4期13-14,21,共3页
本文介绍了 SOI晶体管的结构和特点 ,并对体硅 CMOS电路和 SOI CMOS电路在工艺及版图设计上进行了比较。
关键词 soi电路 soi晶体管 版图设计 栅极 CMOS电路
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基于Silvaco的RFSOICMOS工艺仿真
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作者 张剑 商世广 《纳米科技》 2013年第5期5-9,20,共6页
近年来,随着便携式系统和无线通讯系统的迅速发展,电子产品的消费已经转移到射频领域。这为SOI技术的应用开辟了广阔的前景:一方面,由于射频领域的便携式系统和无线通讯系统多数是使用电池作为能源的,因此降低系统功耗和驱动电压... 近年来,随着便携式系统和无线通讯系统的迅速发展,电子产品的消费已经转移到射频领域。这为SOI技术的应用开辟了广阔的前景:一方面,由于射频领域的便携式系统和无线通讯系统多数是使用电池作为能源的,因此降低系统功耗和驱动电压就成为需要解决的首要问题。在这方面,SOIcMOS技术由于寄生电容小而成为解决功耗问题的一项关键技术。另一方面,射频领域的发展要求集成水平和工作频率提高,藕合噪声问题变得更加关键。采用全氧隔离的SOICMOS技术实现了器件和基片之间的完全隔离,显著降低了高频RF和数字、混合信号器件之间的串扰现象,从而使藕合噪声问题得到很大改善。文章详细介绍了0.5umSOICMOS的工艺流程,并利用silvaco软件对工艺进行仿真。 展开更多
关键词 射频soi CMOS 工艺仿真 Silvaco
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用于后栅工艺的SOI-FinFET选择性沟道缩小技术
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作者 李俊锋 马小龙 +1 位作者 王防防 许淼 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第7期460-473,共14页
在FinFET技术中Fin的宽度对器件性能有重要影响。较窄的Fin能够更好地抑制短沟道效应,改善器件亚阈值特性,但同时也导致源漏扩展区寄生电阻增大,驱动电流减小。提出了一种用于FinFET后栅工艺的选择性沟道缩小技术,即在去除多晶硅假栅后... 在FinFET技术中Fin的宽度对器件性能有重要影响。较窄的Fin能够更好地抑制短沟道效应,改善器件亚阈值特性,但同时也导致源漏扩展区寄生电阻增大,驱动电流减小。提出了一种用于FinFET后栅工艺的选择性沟道缩小技术,即在去除多晶硅假栅后,对沟道区露出的Fin进行氢气(含氯基)热退火处理,在减小沟道区Fin的宽度、使沟道区Fin表面光滑的同时,保持源漏扩展区Fin的宽度不变。这种自对准的沟道缩小方法简单有效地解决了亚阈值特性和源漏扩展区寄生电阻对Fin宽要求不一致的问题,并改善了器件的拐角效应。这项工艺集成技术应用于栅长为25 nm^0.5μm的SOI-FinFET器件结构中,并测试得到了良好的器件电学特性。 展开更多
关键词 FinFET器件 soi衬底 后栅工艺 选择性沟道缩小 亚阈值特性
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基于SOI衬底和外延衬底的高速光电探测器研究 被引量:1
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作者 王华强 李冲 +3 位作者 刘巧莉 丰亚洁 何晓颖 郭霞 《光通信技术》 北大核心 2018年第8期37-40,共4页
高速硅基光电探测器价格低廉且易于和光接收机集成,在短距离光通信中被广泛应用。对基于绝缘硅(SOI)和外延(EPI)两种不同衬底的互补金属氧化物(CMOS)工艺的光电探测器进行了理论模拟和实验研究,理论模拟和实验规律一致。实验表明,研制... 高速硅基光电探测器价格低廉且易于和光接收机集成,在短距离光通信中被广泛应用。对基于绝缘硅(SOI)和外延(EPI)两种不同衬底的互补金属氧化物(CMOS)工艺的光电探测器进行了理论模拟和实验研究,理论模拟和实验规律一致。实验表明,研制的基于SOI衬底的光电探测器的小信号带宽最高为205MHz,响应度为0.051A/W;基于EPI衬底的光电探测器在相同条件下最高带宽为131MHz,响应度为0.21A/W。 展开更多
关键词 光电探测器 soi/EPI衬底 互补金属氧化物工艺 小信号带宽 响应度
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