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全耗尽CMOS/SOI工艺 被引量:11
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作者 刘新宇 孙海峰 +5 位作者 刘洪民 陈焕章 扈焕章 海潮和 和致经 吴德馨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期104-108,共5页
对全耗尽 CMOS/ SOI工艺进行了研究 ,成功地开发出成套全耗尽 CMOS/ SOI抗辐照工艺 .其关键工艺技术包括 :氮化 H2 - O2 合成薄栅氧、双栅和注 Ge硅化物等技术 .经过工艺投片 ,获得性能良好的抗辐照 CMOS/ SOI器件和电路 (包括 10 1级... 对全耗尽 CMOS/ SOI工艺进行了研究 ,成功地开发出成套全耗尽 CMOS/ SOI抗辐照工艺 .其关键工艺技术包括 :氮化 H2 - O2 合成薄栅氧、双栅和注 Ge硅化物等技术 .经过工艺投片 ,获得性能良好的抗辐照 CMOS/ SOI器件和电路 (包括 10 1级环振、2 0 0 0门门海阵列等 ) ,其中 ,n MOS:Vt=0 .7V,Vds=4 .5~ 5 .2 V,μeff=4 6 5 cm2 / (V· s) ,p MOS:Vt=- 0 .8V ,Vds=- 5~ - 6 .3V,μeff=2 6 4 cm2 / (V· s) .当工作电压为 5 V时 ,0 .8μm环振单级延迟为 4 5 展开更多
关键词 全耗尽 CMOS soi工艺 氮化H2-O2合成薄栅氧 双栅 注Ge硅化物 注锗
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部分耗尽CMOS/SOI工艺 被引量:1
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作者 刘新宇 孙海峰 +5 位作者 陈焕章 扈焕章 海潮和 刘忠立 和致经 吴德馨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期806-810,共5页
对部分耗尽 CMOS/ SOI工艺进行了研究 ,成功地开发出成套部分耗尽 CMOS/ SOI抗辐照工艺 .其关键工艺技术包括 :PBL (Poly- Buffered L OCOS)隔离、沟道工程和双层布线等技术 .经过工艺投片 ,获得性能良好的抗辐照 CMOS/ SOI器件和电路 ... 对部分耗尽 CMOS/ SOI工艺进行了研究 ,成功地开发出成套部分耗尽 CMOS/ SOI抗辐照工艺 .其关键工艺技术包括 :PBL (Poly- Buffered L OCOS)隔离、沟道工程和双层布线等技术 .经过工艺投片 ,获得性能良好的抗辐照 CMOS/ SOI器件和电路 (包括 10 1级环振、 5 0 0 0门门海阵列和 6 4K CMOS/ SOI静态存储器 ) .其中 ,NMOS:Vt=1.2 V ,BVds=7.5— 9V ,μeff=42 5 cm2 / (V· s) ,PMOS:Vt=- 0 . 9V,BVds=14— 16 V,μeff=2 40 cm2 /(V· s) ,当工作电压为 5 V时 ,0 .8μm环振单级延迟为 10 6 ps,SOI 6 4K CMOS静态存储器数据读取时间为 40 展开更多
关键词 PBL 沟道工程 双层布线 CMOS/soi工艺 集成电路
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SOI工艺抗辐照SRAM型FPGA设计与实现 被引量:2
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作者 郝宁 罗家俊 +8 位作者 刘海南 李彬鸿 吴利华 于芳 刘忠利 高见头 孟祥鹤 邢龙 韩郑生 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1046-1052,共7页
为提升SRAM型FPGA电路块存储器和配置存储器抗单粒子翻转性能,本文提出一种脉冲屏蔽SRAM单元结构。该结构通过在标准的六管单元中加入延迟结构,增大单元对单粒子事件响应时间,实现对粒子入射产生的脉冲电流屏蔽作用。以64k SRAM作为验... 为提升SRAM型FPGA电路块存储器和配置存储器抗单粒子翻转性能,本文提出一种脉冲屏蔽SRAM单元结构。该结构通过在标准的六管单元中加入延迟结构,增大单元对单粒子事件响应时间,实现对粒子入射产生的脉冲电流屏蔽作用。以64k SRAM作为验证电路进行单粒子翻转性能对比,电路的抗单粒子翻转阈值由采用标准六管单元的抗单粒子翻转阈值大于25 Me V·cm2·mg-1提升至大于45 Me V·cm2·mg-1,加固单元面积较标准六管单元增大约21.3%。30万门级抗辐照FPGA电路通过脉冲屏蔽单元结合抗辐照SOI工艺实现,其抗辐照指标分别为:抗单粒子翻转阈值大于37.3 Me V·cm2·mg-1,抗单粒子锁定阈值大于99.8 Me V·cm2·mg-1,抗电离总剂量能力大于200 krad(Si)。 展开更多
关键词 FPGA SRAM单元 soi工艺 辐照加固 单粒子翻转
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深亚微米SOI工艺ESD防护器件设计 被引量:2
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作者 米丹 周昕杰 +2 位作者 周晓彬 何正辉 卢嘉昊 《电子与封装》 2021年第5期56-62,共7页
在集成电路设计领域,绝缘体上硅(SOI)工艺以其较小的寄生效应、更快的速度,得到广泛应用。但由于SOI工艺器件的结构特点及自加热效应(SHE)的影响,其静电放电(ESD)防护器件设计成为一大技术难点。当工艺进入深亚微米技术节点,基于部分耗... 在集成电路设计领域,绝缘体上硅(SOI)工艺以其较小的寄生效应、更快的速度,得到广泛应用。但由于SOI工艺器件的结构特点及自加热效应(SHE)的影响,其静电放电(ESD)防护器件设计成为一大技术难点。当工艺进入深亚微米技术节点,基于部分耗尽型SOI(PD-SOI)工艺的ESD防护器件设计尤为困难。为了提高深亚微米SOI工艺电路的可靠性,开展了分析研究。结合SOI工艺器件的结构特点,针对性地进行了ESD防护器件选择,合理设计了器件尺寸参数,并优化设计了器件版图。使用该设计的一款数字电路,通过了4.5 k V人体模型(HBM)的ESD测试。该设计有效解决了深亚微米SOI工艺ESD防护器件稳健性弱的问题。 展开更多
关键词 深亚微米 soi工艺 自加热效应 ESD防护器件 栅控二极管
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基于CMOS SOI工艺的低插入损耗的射频开关设计 被引量:1
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作者 肖磊 《集成电路应用》 2022年第2期1-3,共3页
基于0.13μm RF SOI CMOS工艺,提出了一种应用于LTE;DD/FDD接收发射模块的低插入损耗的单刀双掷(SPDT)射频开关电路。该电路通过使用绝缘体上硅(SOI)工艺,以及特殊的MOS器件,让设计的开关具有比传统CMOS器件拥有更好的隔离性能,同时实... 基于0.13μm RF SOI CMOS工艺,提出了一种应用于LTE;DD/FDD接收发射模块的低插入损耗的单刀双掷(SPDT)射频开关电路。该电路通过使用绝缘体上硅(SOI)工艺,以及特殊的MOS器件,让设计的开关具有比传统CMOS器件拥有更好的隔离性能,同时实现了更低的插入损耗,该电路通过流片后验证,在0.1~3GHz的频率范围内,插入损耗都低于0.5dB,隔离度平均大于30dB,输入功率0.1dB压缩点达到了34dBm,可以满足4代通信的标准。 展开更多
关键词 集成电路设计 soi工艺 单刀双掷开关 输入损耗 隔离度
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基于SOI工艺的扭转式微机械扫描光栅设计及制作
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作者 靳倩 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期696-700,共5页
为实现微型光谱仪在工程领域的广泛应用,研究了其核心器件——扭转式微机械扫描光栅的结构与制作方法。利用SOI工艺,设计一种无需启动电极的静电梳齿驱动结构,可以使扭转式微机械扫描光栅具有低频驱动、制作工艺简单、扫描范围广等优点... 为实现微型光谱仪在工程领域的广泛应用,研究了其核心器件——扭转式微机械扫描光栅的结构与制作方法。利用SOI工艺,设计一种无需启动电极的静电梳齿驱动结构,可以使扭转式微机械扫描光栅具有低频驱动、制作工艺简单、扫描范围广等优点。通过设计的制作工艺方法,研制出了能够初步满足性能要求的扭转式微机械扫描光栅样件。测试结果表明:该微扫描光栅在驱动电压为25V时最大转角可达到±4.8°,对应的光学扫描角为19.2°。 展开更多
关键词 微扫描光栅 soi工艺 衍射光谱 扫描角度
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采用氧化多孔硅埋层的SOI工艺
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作者 Kathy Barla 蔡菊荣 《微电子学》 CAS CSCD 1989年第5期52-56,共5页
在n/n^+/n结构的高浓度掺杂层上形成了多孔硅。多孔硅完全氧化以后,在隔离的单晶硅岛上制作CMOS器件。经测量,迁移率与体硅差不多,而且,硅的漏电很小。
关键词 soi工艺 多孔硅 埋层
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Global Foundries全球首发22nm FD-SOI工艺
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《中国集成电路》 2015年第8期5-5,共1页
Global Foundries近日宣布推出全新的“22FDX”工艺平台,全球第一家实现22nm FD-SOI,专为超低功耗芯片打造。FD-SOI技术仍然采用平面型晶体管,目前并不为业内看好,因为无论Intel还是三星、台积电,22nm时代起就纷纷转入了立体晶体... Global Foundries近日宣布推出全新的“22FDX”工艺平台,全球第一家实现22nm FD-SOI,专为超低功耗芯片打造。FD-SOI技术仍然采用平面型晶体管,目前并不为业内看好,因为无论Intel还是三星、台积电,22nm时代起就纷纷转入了立体晶体管,也就是FinFET。 展开更多
关键词 soi工艺 FINFET soi技术 Intel 超低功耗 晶体管 平面型 台积电
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格罗方德与芯原合作开发FD-SOI工艺
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《集成电路应用》 2015年第10期43-43,共1页
全球能提供Fin FET工艺的fab就是英特尔、TSMC、三星、Global Foundries(格罗方德半导体)这几家,而目前能提供相对稳定量产的就是英特尔,三星与TSMC还在纠结中。Fin FET是一个难度十分高的工艺,对稳定性要求非常高。而面对下一代的手... 全球能提供Fin FET工艺的fab就是英特尔、TSMC、三星、Global Foundries(格罗方德半导体)这几家,而目前能提供相对稳定量产的就是英特尔,三星与TSMC还在纠结中。Fin FET是一个难度十分高的工艺,对稳定性要求非常高。而面对下一代的手机芯片与服务器、网络芯片,大多数人都认为Fin FET是必须的选择,所以现在产能供不应求,更准确的说,一般的芯片设计公司根本拿不到Fin FET的资源。 展开更多
关键词 soi工艺 合作开发 芯片设计公司 TSMC FET 相对稳定 手机芯片 网络芯片
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深亚微米SOI工艺SoC设计中天线效应的消除
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作者 王淑芬 史冬霞 桂江华 《电子与封装》 2020年第4期53-57,共5页
深亚微米SOI片上系统芯片(SoC)因其工艺特性,按照常规的布局布线(PNR)流程,出现了约一万个天线效应违规。介绍了一种在布局布线阶段不插入反偏二极管就可以消除大量天线效应违规的优化迭代流程。通过对天线效应的产生以及天线比率公式... 深亚微米SOI片上系统芯片(SoC)因其工艺特性,按照常规的布局布线(PNR)流程,出现了约一万个天线效应违规。介绍了一种在布局布线阶段不插入反偏二极管就可以消除大量天线效应违规的优化迭代流程。通过对天线效应的产生以及天线比率公式的分析,从线长和栅面积角度考虑天线效应的修复,结合自动布局布线设计工具SoC Encounter对这些因素的控制,可以在布局布线阶段消除天线效应的违规,并能与版图验证的结果保持一致。在一款通用抗辐照SoC芯片的设计中,应用该优化流程在布局布线阶段消除了设计中的天线效应违规,有效节约了芯片整体设计时间。 展开更多
关键词 soi工艺 天线效应 天线规则 布局布线
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推动RF-SOI产业发展新傲扩张RF-SOI工艺产能
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《中国集成电路》 2018年第10期6-6,共1页
近日,由SOI产业联盟、上海新傲科技、芯原微电子、SIMIT和硅产业集团组织的“2018国际RF-SOI研讨会”在上海浦东香格里拉大酒店成功举行。来自全球近400位RF-SOI领域的行业领袖和技术专家聚集在香格里拉参加研讨座谈,共同推动RF-SOI... 近日,由SOI产业联盟、上海新傲科技、芯原微电子、SIMIT和硅产业集团组织的“2018国际RF-SOI研讨会”在上海浦东香格里拉大酒店成功举行。来自全球近400位RF-SOI领域的行业领袖和技术专家聚集在香格里拉参加研讨座谈,共同推动RF-SOI技术和产业的发展。 展开更多
关键词 soi工艺 产业联盟 产能 香格里拉 上海浦东 soi技术 产业集团 技术专家
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0.2微米射频SOI工艺设计工具包
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《今日电子》 2015年第4期72-72,共1页
华虹半导体的0.2微米SOII艺平台是专为无线射频前端开关应用优化的工艺解决方案。相比基于砷化镓(GaAs)和蓝宝石(SOS)衬底的射频开关设计。SOI工艺平台提供的2.5V器件具有更低的开关插入损耗、更高的隔离度和更好的线性度。
关键词 soi工艺 工艺设计 射频前端 微米 工具包 射频开关 插入损耗 半导体
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守得云开,FD-SOI工艺迎来爆发期
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《今日电子》 2016年第4期24-24,共1页
FD-SOI(全耗尽绝缘硅)是指一种平面晶体管结构。这种平面架构是通过在绝缘硅片晶圆超薄的绝缘氧化埋层(BOX)上再生长一层超薄的单晶硅层来实现的。由于采用超薄硅层,所以不需要沟道掺杂,使晶体管得以全耗尽。此外,薄氧化埋层使得基... FD-SOI(全耗尽绝缘硅)是指一种平面晶体管结构。这种平面架构是通过在绝缘硅片晶圆超薄的绝缘氧化埋层(BOX)上再生长一层超薄的单晶硅层来实现的。由于采用超薄硅层,所以不需要沟道掺杂,使晶体管得以全耗尽。此外,薄氧化埋层使得基底偏压功能可以满足功耗/性能以及成本要求。相比传统的硅CMOS(bulk COMS)工艺技术来说,FD-SOI结构可以很好地解决晶体管大规模集成到一定数量后的漏电问题,从而进一步推进摩尔定律发展。 展开更多
关键词 soi工艺 绝缘硅片 爆发 大规模集成 soi结构 晶体管 沟道掺杂 摩尔定律
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28nm FD-SOI工艺嵌入式存储器即将问世
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《中国集成电路》 2016年第8期66-66,共1页
三星晶圆代工业务(Samsung Foundry)准备开始以28nmFD—SOI工艺,提供SST—MRAM(spintorque transfer magnetic RAM)以及快闪存储器,做为嵌入式非挥炭性存储器(eNVM)选项。
关键词 嵌入式存储器 soi工艺 快闪存储器 晶圆代工 SST
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格罗方德半导体推出12nm FD-SOI工艺,拓展FDX路线图
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《今日电子》 2016年第10期29-29,共1页
格罗方德半导体日前发布了全新的12nmFD-SOI半导体工艺平台12FDXTM,实现了业内首个多节点FD—SOI路线图。新一代12FDXTM平台建立在其22FDXTM平台的成功基础之上,专为未来的移动计算、5G连接、人工智能、无人驾驶汽车等备类应用智能系... 格罗方德半导体日前发布了全新的12nmFD-SOI半导体工艺平台12FDXTM,实现了业内首个多节点FD—SOI路线图。新一代12FDXTM平台建立在其22FDXTM平台的成功基础之上,专为未来的移动计算、5G连接、人工智能、无人驾驶汽车等备类应用智能系统而设计。 展开更多
关键词 半导体工艺 soi工艺 路线图 无人驾驶汽车 移动计算 人工智能 智能系统 平台
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华虹半导体推出0.2微米射频SOI工艺设计工具包
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《集成电路应用》 2015年第4期44-44,共1页
华虹半导体有限公司推出全新的0.2微米射频SOI(绝缘体上硅)工艺设计工具包(Process Design Kit,PDK)。这标志着新的0.2微米射频SOI工艺平台已成功通过验证,并正式投入供客户设计开发使用。工艺设计工具包(PDK)的推出可协助客户快... 华虹半导体有限公司推出全新的0.2微米射频SOI(绝缘体上硅)工艺设计工具包(Process Design Kit,PDK)。这标志着新的0.2微米射频SOI工艺平台已成功通过验证,并正式投入供客户设计开发使用。工艺设计工具包(PDK)的推出可协助客户快速完成高质量射频器件的设计与流片。华虹半导体的0.2微米SOI工艺平台是专为无线射频前端开关应用优化的工艺解决方案。 展开更多
关键词 soi工艺 工艺设计 射频器件 工具包 半导体 微米 绝缘体上硅 射频前端
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格罗方德推出12nm FD—SOI工艺,拓展FDX路线图
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《中国集成电路》 2016年第10期5-5,共1页
格罗方德半导体日前发布了全新的12nm FD—SOI半导体工艺平台12FDXTM,实现了业内首个多节点FD—SOI路线图。新一代12FDXTM平台建立在其22FDXTM平台的成功基础之上,专为未来的移动计算、5G连接、人工智能、无人驾驶汽车等各类应用智能... 格罗方德半导体日前发布了全新的12nm FD—SOI半导体工艺平台12FDXTM,实现了业内首个多节点FD—SOI路线图。新一代12FDXTM平台建立在其22FDXTM平台的成功基础之上,专为未来的移动计算、5G连接、人工智能、无人驾驶汽车等各类应用智能系统而设计。 展开更多
关键词 soi工艺 路线图 FD 半导体工艺 无人驾驶汽车 移动计算 人工智能 智能系统
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华润上华200V SOI工艺实现量产
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《集成电路应用》 2012年第12期46-46,共1页
华润上华科技有限公司(华润微电子有限公司附属公司)近日宣布,继2010年首颗200V SOI CDMOS产品量产后,具有更高性价比的第二代SOI工艺实现量产。该工艺是一种集成多种半导体器件的集成电路制造技术,
关键词 soi工艺 集成电路 半导体器件 高性价比 制造技术 微电子 第二代
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28nmFD-SOI工艺嵌入式存储器即将问世
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《中国集成电路》 2016年第9期7-7,共1页
三星晶圆代工业务(SamsungFoundry)准备开始以28nmFD—SOI工艺,提供SST—MRAM(spintorque transfer magneticRAM)以及快闪存储器,做为嵌入式非挥发性存储器(eNVM)选项。
关键词 嵌入式存储器 soi工艺 非挥发性存储器 快闪存储器 晶圆代工 SST
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IBM开发SOI工艺技术
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《微电子技术》 1999年第5期48-48,共1页
关键词 soi工艺 微芯片 介质层 运算速度 工艺技术 低成本实现 移动计算机 soi技术 通信终端 半导体芯片
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