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离子溅射能量损失及射程的模拟研究
被引量:
1
1
作者
张德根
邹俊峰
赵敏福
《巢湖学院学报》
2009年第6期37-41,共5页
运用SRIM2006软件对靶材的溅射进行了模拟,计算了各种情况下离子入射靶材能量损失和射程分布,分析其内部碰撞机理,得到了入射离子能量损失和射程分布随离子能量得变化规律:低能离子溅射能量损失以核阻止为主,高能离子溅射能量损失以电...
运用SRIM2006软件对靶材的溅射进行了模拟,计算了各种情况下离子入射靶材能量损失和射程分布,分析其内部碰撞机理,得到了入射离子能量损失和射程分布随离子能量得变化规律:低能离子溅射能量损失以核阻止为主,高能离子溅射能量损失以电子阻止为主;载能离子的能量损失及射程与入射离子和靶原子有关;对于低能离子溅射靶材,入射离子主要分布在靶材表面几层原子内。
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关键词
溅射
srim2006
能量损失
射程
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职称材料
题名
离子溅射能量损失及射程的模拟研究
被引量:
1
1
作者
张德根
邹俊峰
赵敏福
机构
皖西学院基础实验中心
出处
《巢湖学院学报》
2009年第6期37-41,共5页
文摘
运用SRIM2006软件对靶材的溅射进行了模拟,计算了各种情况下离子入射靶材能量损失和射程分布,分析其内部碰撞机理,得到了入射离子能量损失和射程分布随离子能量得变化规律:低能离子溅射能量损失以核阻止为主,高能离子溅射能量损失以电子阻止为主;载能离子的能量损失及射程与入射离子和靶原子有关;对于低能离子溅射靶材,入射离子主要分布在靶材表面几层原子内。
关键词
溅射
srim2006
能量损失
射程
Keywords
sputtering
srim2006
energy loss range
分类号
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
离子溅射能量损失及射程的模拟研究
张德根
邹俊峰
赵敏福
《巢湖学院学报》
2009
1
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