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表面覆膜SnO_2半导体氢敏元件
被引量:
3
1
作者
穆宝贵
黎丽琳
《传感器技术》
CSCD
1991年第1期31-34,共4页
在制备烧结体SnO_2半导体气敏元件的基础上,对元件表面进行了覆膜处理,得到具有高选择性的氢气敏感元件。
关键词
SNO2
半导体
氢敏器件
气敏器件
下载PDF
职称材料
题名
表面覆膜SnO_2半导体氢敏元件
被引量:
3
1
作者
穆宝贵
黎丽琳
机构
哈尔滨通江晶体管厂
出处
《传感器技术》
CSCD
1991年第1期31-34,共4页
文摘
在制备烧结体SnO_2半导体气敏元件的基础上,对元件表面进行了覆膜处理,得到具有高选择性的氢气敏感元件。
关键词
SNO2
半导体
氢敏器件
气敏器件
Keywords
semiconductor gas sensors
,
coating processing
分类号
TN379 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
表面覆膜SnO_2半导体氢敏元件
穆宝贵
黎丽琳
《传感器技术》
CSCD
1991
3
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