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Si基光子晶体的制备与器件应用
被引量：
1
1
作者
尚勇
彭英才
《微纳电子技术》
CAS
2007年第5期235-240,253,共7页
光子晶体是近十年来迅速发展起来的一种新型人工结构的功能材料。本文简要介绍了Si基光子晶体的主要特点;着重介绍了Si基光子晶体的几种主要制备方法,如精细干式蚀刻法、胶质晶体模板法、宏观多孔Si的电化学腐蚀、多光子聚合法和核壳结...
光子晶体是近十年来迅速发展起来的一种新型人工结构的功能材料。本文简要介绍了Si基光子晶体的主要特点;着重介绍了Si基光子晶体的几种主要制备方法,如精细干式蚀刻法、胶质晶体模板法、宏观多孔Si的电化学腐蚀、多光子聚合法和核壳结构纳米晶粒镶嵌法等;概要介绍了Si基光子晶体在Si基发光器件和Si基光波导器件中的应用。对目前存在的问题进行了讨论,并展望了它的未来发展趋势。
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关键词
si
基
光子
晶体
制备方法
si基光子器件
si
基
光子
集成
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职称材料
面向21世纪的Si基光子学
被引量：
3
2
作者
彭英才
Seiichi Miyazaki
+1 位作者
徐骏
陈坤基
《自然杂志》
北大核心
2006年第2期94-98,共5页
Si基光子学是近年来在半导体光电子学和纳米材料科学领域中迅速发展起来的一个新型分支学科，旨在研究各类Si基低维材料的发光特性。各种Si基光子器件的设计与制作，并进而实现用于现代光通信技术的全Si光电子集成电路。预计在未来10年...
Si基光子学是近年来在半导体光电子学和纳米材料科学领域中迅速发展起来的一个新型分支学科，旨在研究各类Si基低维材料的发光特性。各种Si基光子器件的设计与制作，并进而实现用于现代光通信技术的全Si光电子集成电路。预计在未来10年内，随着Si基纳米材料发光效率的提高，器件制备技术的进步和光电子集成工艺的成熟，Si基光子学的研究将出现重大突破性进展，并很有可能引发一场新的信息技术革命。本文着重介绍了用于Si基光电集成的光子学材料、器件与工艺在近3～5年内所取得的研究进展，并预测了它们的未来发展趋势。
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关键词
si
基
光子
材料
si基光子器件
si
基
光电子集成
现代光通信
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职称材料
Si基芯片光互连研究进展
被引量：
2
3
作者
程勇鹏
陈少武
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第11期649-655,672,共8页
综述了近年来Si基光互连,尤其是和微电子工艺兼容程度较高的芯片间和芯片内的光互连的进展。Luxtera公司已经率先实现了除光源外的所有光子器件的单片集成,IBM也提出并开始实施微电子学领域的片内光互连的技术方案,但Si基光互连大部分...
综述了近年来Si基光互连,尤其是和微电子工艺兼容程度较高的芯片间和芯片内的光互连的进展。Luxtera公司已经率先实现了除光源外的所有光子器件的单片集成,IBM也提出并开始实施微电子学领域的片内光互连的技术方案,但Si基光互连大部分还停留在各构建单元器件性能提高的阶段,例如Si基发光、Si波导、Si波导耦合器、Si基调制器及光开关、Si基探测器以及用于光波导器件阵列的WDM技术。此外,还对Si基光源、光纤耦合、偏振敏感性以及光子器件的热稳定性提出了看法。总之,随着各种构建单元器件的综合性能、CMOS工艺兼容度、制备成品率的提高以及光电融合单片集成工艺的突破,光互连最终会成为现实,并引发微电子技术和IC行业的下一场革命。
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关键词
si
基
光子
学
芯片光互连
si
基
无源/有源
光子
器件
光子
集成
光电子单片集成电路
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职称材料
题名
Si基光子晶体的制备与器件应用
被引量：
1
1
作者
尚勇
彭英才
机构
河北大学物理科学与技术学院
河北大学电子信息工程学院
出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第5期235-240,253,共7页
文摘
光子晶体是近十年来迅速发展起来的一种新型人工结构的功能材料。本文简要介绍了Si基光子晶体的主要特点;着重介绍了Si基光子晶体的几种主要制备方法,如精细干式蚀刻法、胶质晶体模板法、宏观多孔Si的电化学腐蚀、多光子聚合法和核壳结构纳米晶粒镶嵌法等;概要介绍了Si基光子晶体在Si基发光器件和Si基光波导器件中的应用。对目前存在的问题进行了讨论,并展望了它的未来发展趋势。
关键词
si
基
光子
晶体
制备方法
si基光子器件
si
基
光子
集成
Keywords
si
-based photonic crystals
fabricated methods
si
-based photonic devices
si
-based photonic integration
分类号
O782 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
面向21世纪的Si基光子学
被引量：
3
2
作者
彭英才
Seiichi Miyazaki
徐骏
陈坤基
机构
河北大学电子信息工程学院
Graduate School of Advanced Sciences of Matter
南京大学物理系与固体微结构国家重点实验室
出处
《自然杂志》
北大核心
2006年第2期94-98,共5页
文摘
Si基光子学是近年来在半导体光电子学和纳米材料科学领域中迅速发展起来的一个新型分支学科，旨在研究各类Si基低维材料的发光特性。各种Si基光子器件的设计与制作，并进而实现用于现代光通信技术的全Si光电子集成电路。预计在未来10年内，随着Si基纳米材料发光效率的提高，器件制备技术的进步和光电子集成工艺的成熟，Si基光子学的研究将出现重大突破性进展，并很有可能引发一场新的信息技术革命。本文着重介绍了用于Si基光电集成的光子学材料、器件与工艺在近3～5年内所取得的研究进展，并预测了它们的未来发展趋势。
关键词
si
基
光子
材料
si基光子器件
si
基
光电子集成
现代光通信
Keywords
si
-based photonic materials,
si
-based photonic devices,
si
optoelectronic integration, optical communications
分类号
TN20 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
Si基芯片光互连研究进展
被引量：
2
3
作者
程勇鹏
陈少武
机构
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家联合重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第11期649-655,672,共8页
基金
973计划(2007CB613405)
国家自然科学基金(60877013
60837001)
文摘
综述了近年来Si基光互连,尤其是和微电子工艺兼容程度较高的芯片间和芯片内的光互连的进展。Luxtera公司已经率先实现了除光源外的所有光子器件的单片集成,IBM也提出并开始实施微电子学领域的片内光互连的技术方案,但Si基光互连大部分还停留在各构建单元器件性能提高的阶段,例如Si基发光、Si波导、Si波导耦合器、Si基调制器及光开关、Si基探测器以及用于光波导器件阵列的WDM技术。此外,还对Si基光源、光纤耦合、偏振敏感性以及光子器件的热稳定性提出了看法。总之,随着各种构建单元器件的综合性能、CMOS工艺兼容度、制备成品率的提高以及光电融合单片集成工艺的突破,光互连最终会成为现实,并引发微电子技术和IC行业的下一场革命。
关键词
si
基
光子
学
芯片光互连
si
基
无源/有源
光子
器件
光子
集成
光电子单片集成电路
Keywords
si
licon-based photonics chip optical interconnection
si
licon-based pas
si
ve and active devices photonic integrated circuit（PIC） optics electronic integrated circuit（OEIC）
分类号
TN205 [电子电信—物理电子学]
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Si基光子晶体的制备与器件应用
尚勇
彭英才
《微纳电子技术》
CAS
2007
1
下载PDF
职称材料
2
面向21世纪的Si基光子学
彭英才
Seiichi Miyazaki
徐骏
陈坤基
《自然杂志》
北大核心
2006
3
下载PDF
职称材料
3
Si基芯片光互连研究进展
程勇鹏
陈少武
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009
2
下载PDF
职称材料
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