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惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材研究 被引量：15
1
作者 王赞海 王星明 +3 位作者 储茂友 郭奋 赵鑫 沈剑韵 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期688-691,共4页
用W粉和Ti粉作原料, 采用惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材. 研究了靶材致密性、富Ti的β相含量、微观结构均匀性与工艺条件的关系. 结果表明, 控制温度在1250～1450 ℃之间, 压力在20 Mpa左右, 保温时间在30 min左右可制备高性能的W/Ti... 用W粉和Ti粉作原料, 采用惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材. 研究了靶材致密性、富Ti的β相含量、微观结构均匀性与工艺条件的关系. 结果表明, 控制温度在1250～1450 ℃之间, 压力在20 Mpa左右, 保温时间在30 min左右可制备高性能的W/Ti合金靶材. 展开更多
关键词 溅射靶材 w/ti合金靶材 扩散阻挡层 热压
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