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X射线掠入射法测定金刚石薄膜厚度的研究 被引量：1
1
作者 方建锋 唐伟忠 +1 位作者 张晋远 郑毅 《物理测试》 CAS 2007年第4期8-11,共4页
本文研究了用近平行的入射X射线,以掠入射的方式,利用薄膜下基体某一晶面衍射强度随掠入射角的变化关系来测定薄膜厚的方法。导出了基体某一晶面的衍射强度的对数InIr与掠入射角函数f(r)之间的线性关系,发现该直线的斜率即为薄膜的线吸... 本文研究了用近平行的入射X射线,以掠入射的方式,利用薄膜下基体某一晶面衍射强度随掠入射角的变化关系来测定薄膜厚的方法。导出了基体某一晶面的衍射强度的对数InIr与掠入射角函数f(r)之间的线性关系,发现该直线的斜率即为薄膜的线吸收系数与其厚度的乘积。对WC-Co硬质合金上的金刚石薄膜厚度进行了测定,并对该方法的重复性进行了验证。结果表明,InIr与f(r)之间的具有很好的线性相关性,而且该方法具有较好的精确性。 展开更多
关键词 掠入射x射线衍射 金刚石薄膜 厚度测定
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Wolter-Ⅰ型X射线聚焦镜有效面积仿真与实验
2
作者 张洪林 杨志韬 +8 位作者 王于仨 赵子健 马佳 侯懂杰 杨雄涛 祝宇轩 杨彦佶 陈勇 汪世杰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期231-241,共11页
为了解Wolter-Ⅰ型X射线聚焦镜的有效面积在地面标定与在轨标定时的差异,并修正地面标定导致的聚焦镜有效面积偏差。对X射线天文卫星—爱因斯坦探针搭载的后随X射线望远镜有效面积进行两种标定工况的仿真分析,并在中国科学院高能物理研... 为了解Wolter-Ⅰ型X射线聚焦镜的有效面积在地面标定与在轨标定时的差异,并修正地面标定导致的聚焦镜有效面积偏差。对X射线天文卫星—爱因斯坦探针搭载的后随X射线望远镜有效面积进行两种标定工况的仿真分析,并在中国科学院高能物理研究所的百米X射线标定装置中进行有效面积的地面标定实验。结果表明:在X射线能量为1.49 keV时,地面标定的有效面积比在轨标定大2.7%;利用地面标定数据结合仿真,可对聚焦镜在轨标定有效面积进行预测,同时聚焦镜离轴有效面积随离轴角度变化明显。该研究方法可以对搭载Wolter-Ⅰ型聚焦镜的X射线天文卫星的有效面积标定提供数据参考。 展开更多
关键词 x射线光学 x射线聚焦镜 x射线掠入射 爱因斯坦探针 Wolter-Ⅰ 有效面积
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掠入射X射线散射法测量超光滑表面 被引量：6
3
作者 王永刚 孟艳丽 +2 位作者 马文生 陈斌 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期60-68,共9页
介绍了掠入射X射线散射法(GXRS)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测量的散射分布进行处理。结果表明,GXRS法得到的样品功率谱... 介绍了掠入射X射线散射法(GXRS)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测量的散射分布进行处理。结果表明,GXRS法得到的样品功率谱密度函数(PSD)与使用原子力显微镜(AFM)所测量的结果基本相符。分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,结果表明,在其他实验条件理想的情况下,当探测器接收狭缝宽度<0.02mm,入射光发散度<43″时,在空间频率>0.03μm-1的范围内,由其引起的PSD函数测量误差<2%。随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小。在所测量的空间频率范围内,PSD函数的误差随频率的增加而减小,仪器的重复精度优于2.6%。 展开更多
关键词 掠入射x射线散射法 超光滑表面 微扰理论 功率谱密度(PSD) 原子力显微镜(AFM) 系统误差
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宏观内应力掠入射衍射分析中X射线折射作用引入的误差 被引量：1
4
作者 杜继实 唐兵华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1450-1456,1462,共8页
宏观内应力X射线掠入射衍射分析中,X射线折射作用引入的衍射角测定误差必然对分析产生影响。本文基于数值方法计算了Euler角定位及Hauk角定位的X射线掠入射衍射分析中因X射线折射作用引入的衍射角测定误差及其在几种宏观内应力测试方法... 宏观内应力X射线掠入射衍射分析中,X射线折射作用引入的衍射角测定误差必然对分析产生影响。本文基于数值方法计算了Euler角定位及Hauk角定位的X射线掠入射衍射分析中因X射线折射作用引入的衍射角测定误差及其在几种宏观内应力测试方法中引入的应变测定误差。在一定角度范围内采用侧倾法可避免X射线折射作用引入的应变测定误差,而采用侧倾法及固定X射线有效穿透深度的Ψ-Ω法测试时必须对测定结果进行数据修正。 展开更多
关键词 宏观内应力 掠入射x射线衍射(GIxRD) 折射 误差
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La_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3簿膜的掠入射X射线衍射研究
5
作者 谭伟石 蔡宏灵 +5 位作者 吴小山 蒋树声 贾全杰 郭立平 何庆 高矩 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第12期914-918,共5页
利用90°离轴射频磁控溅射方法将La_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3(LCMO)沉积于(001)取向的SrTiO_3(STO)、MgO和α-Al_2O_3(ALO)单晶基片上,薄膜厚度均为500A。通过掠入射X射线衍射技术测量了LCMO薄膜的横向晶格常数(即面内晶格常数),结合常规... 利用90°离轴射频磁控溅射方法将La_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3(LCMO)沉积于(001)取向的SrTiO_3(STO)、MgO和α-Al_2O_3(ALO)单晶基片上,薄膜厚度均为500A。通过掠入射X射线衍射技术测量了LCMO薄膜的横向晶格常数(即面内晶格常数),结合常规X射线衍射研究了LCMO薄膜的晶格应变及其弛豫情况。结果表明,LCMO薄膜在MgO和ALO基片上的应变弛豫临界厚度很小,这可能与薄膜—基片之间高的晶格失配率有关。LCMO薄膜的应变弛豫与四方畸变的弛豫可能具有不同的机制。利用掠入射X射线衍射对LCMO薄膜面内生长取向的研究给出了与利用电子显微技术研究相同的结果。 展开更多
关键词 La07Ca0.3MnO3薄膜 掠入射x射线衍射 应变弛豫 面内晶格常数
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锗硅量子点掠入射小角X射线散射研究
6
作者 王玉柱 贾全杰 +6 位作者 陈雨 薛宪营 姜晓明 崔健 林健晖 蒋最敏 何庆 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期250-254,共5页
采用同步辐射X射线对MBE制备的锗硅量子点试样进行了掠入射小角X射线散射(GISAXS,grazing incidence small angle X-ray scattering)研究。根据AFM测量得到的量子点尺寸、形状和间距等参数,采用DWBA理论以及合适的分布函数,利用IsGISAX... 采用同步辐射X射线对MBE制备的锗硅量子点试样进行了掠入射小角X射线散射(GISAXS,grazing incidence small angle X-ray scattering)研究。根据AFM测量得到的量子点尺寸、形状和间距等参数,采用DWBA理论以及合适的分布函数,利用IsGISAXS程序对一维和二维GISAXS测量结果进行了模拟,模拟结果与实验数据符合很好,表明GISAXS是一种探测锗硅量子点尺寸、形状和分布等结构信息有效的方法。 展开更多
关键词 锗硅 量子点 掠入射小角x射线散射
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有机聚合物P3HT/PCBM薄膜的同步辐射掠入射X射线衍射
7
作者 杨迎国 郑官豪杰 +3 位作者 季庚午 冯尚蕾 李晓龙 高兴宇 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期1-8,共8页
以聚己基噻吩(poly(3-hexyl-thiophene),P3HT)为电子给体材料和富勒烯的衍生物([6,6]-phenyl C61-butyric acid methyl ester,PCBM)为电子受体材料的有机光伏器件,其活性层中P3HT的结构有序性是制约器件光电转换性能的重要因素。本文采... 以聚己基噻吩(poly(3-hexyl-thiophene),P3HT)为电子给体材料和富勒烯的衍生物([6,6]-phenyl C61-butyric acid methyl ester,PCBM)为电子受体材料的有机光伏器件,其活性层中P3HT的结构有序性是制约器件光电转换性能的重要因素。本文采用同步辐射掠入射X射线衍射(Grazing Incidence X-ray Diffraction,GIXRD)方法,研究有机聚合物P3HT/PCBM薄膜经过不同的温度退火后P3HT在薄膜中不同深度处的微结构变化。一维面外GIXRD实验结果表明:退火处理使大量的PCBM分子扩散至薄膜表层,从而增大了薄膜表层P3HT分子edge-on结构的层间距和改善了晶粒倾斜程度;退火处理使得薄膜内部P3HT分子edge-on结构结晶性和有序性得到明显改善。然而,退火处理并没有明显增加薄膜表层和薄膜/衬底界面处的P3HT分子edge-on结构的结晶性。二维GIXRD实验结果表明:退火处理可以明显增加薄膜中P3HT分子edge-on结构结晶性、有序性以及晶粒取向的广泛分布;退火处理也使薄膜沿面内方向出现了结晶性较好的face-on结构。以上结果揭示出退火处理有利于薄膜表面、内部以及薄膜/衬底界面处形成更多且更有序的微相异质节和二维电荷传输通道,大大增强光生激子的分离效率和载流子沿P3HT分子链的迁移速率,这对理解退火处理提高P3HT/PCBM薄膜光伏器件的光电转换性能具有重要意义。 展开更多
关键词 同步辐射掠入射x射线衍射 P3HT PCBM薄膜 Edge-on结构 Face-on结构
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掠入射X射线衍射实验方法研究
8
作者 姜晓明 贾全杰 等 《北京同步辐射装置年报》 1997年第1期58-59,共2页
关键词 掠入射x射线衍射实验 材料 表面结构
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SrTiO_3薄膜的掠入射X射线衍射研究
9
作者 翟章印 《淮阴师范学院学报（自然科学版）》 CAS 2011年第1期22-25,共4页
采用掠入射X射线衍射技术研究了外延SrTiO3薄膜面内晶格应变随着深度的分布.研究发现不管是较薄的还是较厚的薄膜其面内晶格应变随深度的分布都不是连续变化的,而是可以分为三个区域,即表面区、应变驰豫区、界面区.
关键词 掠入射x射线衍射 面内晶格参数 应变深度分布
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Ge/Si(001)量子点组分的掠入射X射线反常衍射测量 被引量：1
10
作者 何庆 贾全杰 姜晓明 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期409-412,共4页
利用掠入射X射线反常散射/衍射实验技术对Si(001)上生长的单层和双层Ge量子点的组分分布进行了直接测量;;结果显示;;在Si间隔层厚度为90nm时得到的双层Ge量子点与单层Ge量子点的组分及其分布特征是几乎相同的。
关键词 组分 量子点 掠入射x射线反常衍射
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掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度 被引量：1
11
作者 杜韦陶 宋丽 +3 位作者 王玉柱 罗红心 张翼飞 王劼 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期255-259,共5页
在Xiaomin Tong等的理论上发展了一个二维理论模型,建立散射光强分布与超光滑表面功率谱密度(PSD)的关系。在上海同步辐射光源小角散射实验站上,用不同粗糙度的210 mm和320 mm长的超光滑反射镜进行掠入射X射线散射法(GIXRS)实验,测量散... 在Xiaomin Tong等的理论上发展了一个二维理论模型,建立散射光强分布与超光滑表面功率谱密度(PSD)的关系。在上海同步辐射光源小角散射实验站上,用不同粗糙度的210 mm和320 mm长的超光滑反射镜进行掠入射X射线散射法(GIXRS)实验,测量散射分布并进行处理,计算出两块反射镜的表面均方根粗糙度(RMS)。与白光干涉法测量结果的比对结果表明,根据这种理论进行数据处理得到的RMS值,与白光干涉法的测量结果非常符合。 展开更多
关键词 功率谱密度(PSD) 均方根粗糙度(RMS) 掠入射x射线散射法(GIxRS) 超光滑表面 同步辐射光源 白光干涉法
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掠入射X射线衍射方法对α相聚辛基芴(PFO)薄膜结晶性的分析
12
作者 万贺 白莎莎 +3 位作者 高瑛 赖宇晴 李海东 张吉东 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期333-336,共4页
采用掠入射X射线衍射方法对α相均聚辛基芴(PFO)薄膜的结晶性进行了表征,并探讨了不同仪器构型对实验结果的影响。结果表明,与常规X射线衍射方法相比,掠入射X射线衍射可以消除或减小基底的干扰并增大薄膜的衍射信号,能明显地测量出α相... 采用掠入射X射线衍射方法对α相均聚辛基芴(PFO)薄膜的结晶性进行了表征,并探讨了不同仪器构型对实验结果的影响。结果表明,与常规X射线衍射方法相比,掠入射X射线衍射可以消除或减小基底的干扰并增大薄膜的衍射信号,能明显地测量出α相PFO薄膜的各衍射峰。采用较大狭缝的测试系统得到的信号较大,但是仪器的宽化因子也随之增大,通过比较发现利用Scherrer公式计算微晶尺寸时求解真实宽化因子使用公式B2-b2较好。 展开更多
关键词 掠入射x射线衍射 聚芴薄膜 结晶性 α相聚辛基芴
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同步辐射掠入射X射线衍射研究α相聚辛基芴薄膜的微结构
13
作者 陈曦 程凤梅 +1 位作者 李海东 张吉东 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期139-142,共4页
将旋涂制备的薄膜在120oC下退火,得到α相的聚辛基芴薄膜,用吸收光谱和荧光光谱进行了验证。用同步辐射一维和二维掠入射X射线衍射对薄膜进行了结构表征,结果表明,虽然聚辛基芴系非线型分子,但在薄膜微晶中分子链段主要以平行于基底的ed... 将旋涂制备的薄膜在120oC下退火,得到α相的聚辛基芴薄膜,用吸收光谱和荧光光谱进行了验证。用同步辐射一维和二维掠入射X射线衍射对薄膜进行了结构表征,结果表明,虽然聚辛基芴系非线型分子,但在薄膜微晶中分子链段主要以平行于基底的edge-on模式排列。 展开更多
关键词 掠入射x射线衍射 聚辛基芴薄膜 微结构
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X射线成像望远镜像质评价的计算机仿真
14
作者 魏筱斌 李保权 +1 位作者 彭吉龙 张长震 《科学技术与工程》 2010年第13期3303-3307,共5页
高分辨率X射线掠入射望远镜的研究和应用越来越广泛。镜片刚体运动误差、表面误差、表面粗糙度、表面散射和衍射是影响X射线成像望远镜成像质量的主要因素。详细分析了刚体运动误差和低频表面误差对成像质量的影响;使用空间解析几何学... 高分辨率X射线掠入射望远镜的研究和应用越来越广泛。镜片刚体运动误差、表面误差、表面粗糙度、表面散射和衍射是影响X射线成像望远镜成像质量的主要因素。详细分析了刚体运动误差和低频表面误差对成像质量的影响;使用空间解析几何学的二次曲面方程建立WolterI、II型X射线掠入射望远镜镜片的数学模型,降低光线追踪的计算复杂度;借助自主开发的光学仿真软件分析了国内研制的X射线成像望远镜的刚体运动误差和低频表面误差对成像质量的影响,计算出像点艾里斑半径均方根值随误差变化的增长率,对工程上提出合理的制造公差的误差容限有重要的指导意义。 展开更多
关键词 Wolter型x射线掠入射望远镜 刚体运动误差 低频表面误差
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薄膜X射线应力分析的实验方法 被引量：2
15
作者 刘毓舒 《理化检验（物理分册）》 CAS 2005年第9期447-450,共4页
提出一种适用于薄膜材料X射线应力分析的试样三维定向模式,在X射线低掠入射的前提下允许按实验所需选择测量方向。高密勒指数晶面衍射和测量方向的合理选择有助于提高测量精度,也利于经典sin2ψ分析法实验线性关系的建立,从而简化了分... 提出一种适用于薄膜材料X射线应力分析的试样三维定向模式,在X射线低掠入射的前提下允许按实验所需选择测量方向。高密勒指数晶面衍射和测量方向的合理选择有助于提高测量精度,也利于经典sin2ψ分析法实验线性关系的建立,从而简化了分析和计算程序。 展开更多
关键词 薄膜材料 x射线应力分析 低掠入射x射线束 三维定向模式 测量方向
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AlGaN/GaN异质结构的X射线衍射研究
16
作者 谭伟石 徐金 +5 位作者 蔡宏灵 沈波 吴小山 蒋树声 郑文莉 贾全杰 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期413-416,共4页
在(0001)取向的蓝宝石(α-Al2O3)基片上用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法生长了势垒层厚度为1000?的Al0.22Ga0.78N/GaN异质结构;;利用高分辨X射线衍射(HRXRD)技术测量了样品的对称反射(0002)和非对称反射(1014)的倒易空间Mapping(R... 在(0001)取向的蓝宝石(α-Al2O3)基片上用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法生长了势垒层厚度为1000?的Al0.22Ga0.78N/GaN异质结构;;利用高分辨X射线衍射(HRXRD)技术测量了样品的对称反射(0002)和非对称反射(1014)的倒易空间Mapping(RSM)。结果表明;;样品势垒层的内部微结构与应变状态和下层i-GaN的微结构与应变状态互相关联。样品势垒层的微应变已经发生弛豫;;而且具有一种“非常规”应变弛豫状态;;这种弛豫状态的来源可能与n-AlGaN的内部缺陷以及i-GaN/α-Al2O3界面应变弛豫状态有关。掠入射X射线衍射研究表明样品内部的应变是不均匀的;;由表层的横向压应变状态过渡到下层的张应变状态;;与根据倒易空间Mapping分析得到的结果一致。 展开更多
关键词 AIGaN/GaN异质结构 倒易空间Mapping 应变弛豫 掠入射x射线衍射
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基于掠入射二维X射线衍射的陶瓷应力实验表征方法
17
作者 王硕 王宗 +6 位作者 孙容 张若飞 李伟杰 丛熙 聂志华 仇巍 富东慧 《实验力学》 CSCD 北大核心 2024年第5期580-589,共10页
陶瓷材料被广泛应用于航空航天关键部件的防护涂层以及功率半导体的封装材料。陶瓷材料在服役过程中受环境因素的影响会产生较大的残余应力,这是其破坏失效的主要原因。因此,发展适用于陶瓷材料应力的无损检测方法对其服役安全具有重要... 陶瓷材料被广泛应用于航空航天关键部件的防护涂层以及功率半导体的封装材料。陶瓷材料在服役过程中受环境因素的影响会产生较大的残余应力,这是其破坏失效的主要原因。因此,发展适用于陶瓷材料应力的无损检测方法对其服役安全具有重要意义。X射线衍射(XRD)技术是一种无损、高精度的应力测试方法,在分析材料失效和优化制备工艺方面具有重要作用。然而,目前常用的X射线衍射应力分析方法和装置难以满足陶瓷材料应力快速且精准的测量需求。为此,本文提出了一种基于掠入射二维X射线衍射(GI-XRD~2)原理,采用低衍射角衍射环单次曝光的二维X射线衍射应力快速表征方法,并搭建了前向衍射的实验装置。本文基于大气等离子喷涂(APS)技术制备了8wt.%Y_(2)O_(3)稳定ZrO_(2)(8YSZ)陶瓷样品,通过实验验证了提出方法的有效性、适用性,并分析了其在兼容性、效率、灵敏度等方面相比当前其他相关方法与仪器的特点与优势。 展开更多
关键词 掠入射二维x射线衍射 陶瓷材料 实验应力分析 低衍射角衍射环
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同步辐射小角X射线散射及其在材料研究中的应用 被引量：5
18
作者 杨春明 洪春霞 +4 位作者 周平 缪夏然 李小芸 李秀宏 边风刚 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期112-119,111,共9页
小角X射线散射(small angle X-ray scattering,SAXS)是研究物质内部一纳米到数百纳米甚至到微米尺度级别微观结构的有力工具。近年来随着我国同步辐射技术的不断发展,同步辐射SAXS技术被越来越多地应用到各种材料的研究领域。然而,由于S... 小角X射线散射(small angle X-ray scattering,SAXS)是研究物质内部一纳米到数百纳米甚至到微米尺度级别微观结构的有力工具。近年来随着我国同步辐射技术的不断发展,同步辐射SAXS技术被越来越多地应用到各种材料的研究领域。然而,由于SAXS图谱是倒空间的信号,并不像显微镜那么直观,也不如X射线衍射(XRD)那么被大家所熟知。简要介绍了SAXS的基本原理(稀疏体系、稠密体系),简短回顾了我国同步辐射小角散射线站的发展和进步。主要介绍了最近十余年基于同步辐射SAXS原位实时检测技术在高分子材料成型加工(结晶、取向性、周期性),原位SAXS和反常SAXS技术在合金相析出(成分、团簇尺寸),以及掠入射X射线散射在介孔薄膜(区域尺寸、位错因子)和有机光伏薄膜等领域中的典型应用,并展望了同步辐射SAXS技术的发展趋势及其在材料领域的应用前景。 展开更多
关键词 小角x射线散射 同步辐射 掠入射x射线散射 广角x射线散射 原位SAxS 反常小角x射线散射
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X射线聚焦望远镜的支撑结构设计与力学实验分析 被引量：2
19
作者 谢文亮 沈正祥 +4 位作者 余俊 王占山 黄帆 陈昌亚 范峰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第4期192-198,共7页
掠入射X射线聚焦望远镜的支撑框架结构设计是望远镜研制的关键技术之一。国内规划中的XTP卫星低能聚焦望远镜拟采用基于超薄玻璃的X射线聚焦望远镜方案,针对望远镜样机严苛的光学和力学性能要求,经过结构选型优化,设计了一种一体化的六... 掠入射X射线聚焦望远镜的支撑框架结构设计是望远镜研制的关键技术之一。国内规划中的XTP卫星低能聚焦望远镜拟采用基于超薄玻璃的X射线聚焦望远镜方案,针对望远镜样机严苛的光学和力学性能要求,经过结构选型优化,设计了一种一体化的六边形桶式望远镜支撑结构。利用有限元软件对支撑结构进行了模态分析和频率响应分析,并与力学实验进行了对比验证。结果表明,该支撑结构具有较大的结构刚度,望远镜结构在发射环境下不会发生破坏性改变,满足力学性能要求。该支撑框架结构简洁、装配精度高,具有良好的工艺性,为望远镜的研制提供了参考。 展开更多
关键词 掠入射x射线望远镜 结构设计 力学分析 振动试验
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用X射线衍射法测定氮化镓马赛克结构中的面内扭转角(英文) 被引量：1
20
作者 苏月永 陈志涛 +5 位作者 徐科 郭立平 潘尧波 杨学林 杨志坚 张国义 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期514-518,共5页
Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体材料在发光二极管、激光器和探测器方面有着广泛的应用,采用高分辨X射线衍射来测定用金属有机化学气相沉淀法在蓝宝石衬底上生长的氮化镓外延层马赛克结构的扭转角,分别研究了(0002)、(101-3)、(101-2)、(101-1)、(2... Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体材料在发光二极管、激光器和探测器方面有着广泛的应用,采用高分辨X射线衍射来测定用金属有机化学气相沉淀法在蓝宝石衬底上生长的氮化镓外延层马赛克结构的扭转角,分别研究了(0002)、(101-3)、(101-2)、(101-1)、(202-1)五个面的X射线摇摆曲线,并且用Pseudo-Voigt方程拟合每一个面的摇摆曲线,我们利用外推法很方便地测得氮化镓外延薄膜的面内扭转角。另外我们采用同步辐射X射线掠入射衍射对样品进行(11-00)面反射扫描直接测得面内扭转角,对第一种方法进行验证,两种方法测量结果相同。从而提供一种简单、方便的GaN外延层的面内扭转角的测试方法,为深入研究GaN材料奠定良好基础。 展开更多
关键词 氮化镓 马赛克结构 扭曲角 掠入射x射线衍射 x射线衍射
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