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氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的XPS研究
被引量：
6
1
作者
李庚伟
吴正龙
+3 位作者
杨锡震
杨少延
张建辉
刘志凯
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期174-179,共6页
利用X射线光电子能谱深度剖析方法对ZnO/Si异质结构进行了分析 .用该法可生长出正化学比的ZnO ,不过生长的ZnO薄膜存在孔隙 ,工艺还有待进一步改进 .
关键词
zno/
si
异质结构
x
射线光电子能谱
氧离子束辅助
薄膜
激光器
下载PDF
职称材料
氧离子束辅助PLD法生长ZnO/Si的XPS研究
被引量：
2
2
作者
李庚伟
吴正龙
刘志凯
《渤海大学学报（自然科学版）》
CAS
2007年第1期24-27,共4页
利用X射线光电子能谱(XPS)深度剖析方法对ZnO/Si异质结构同一典型样品的不同部位进行了分析。讨论了同时刻(厚度)样品的生长情况及所说明的问题。提出要使样品生长得更理想,应做到使DIBD系统连续工作。
关键词
zno/
si
异质结构
x
射线光电子能谱(
xps
)
氧离子束辅助(O^+
-
as
si
sted)PLD
下载PDF
职称材料
氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si纯ZnO相的研究
被引量：
1
3
作者
李庚伟
吴正龙
杨少延
《渤海大学学报（自然科学版）》
CAS
2005年第3期193-197,共5页
通过X射线光电子能谱(XPS)深度剖析方法对ZnO/S i异质结构进行了分析。结果表明:用该法可生长出正化学比的纯ZnO相,脉冲激光淀积(PLD)法生长ZnO/S i样品时氧离子束辅助(O+-assisted)是必要的。
关键词
zno/
si
异质结构
x
射线光电子能谱(
xps
)
氧离子束辅助(O^+
-
as
si
sted)
俄歇参数α′
脉冲激光淀积(PLD)
下载PDF
职称材料
题名
氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的XPS研究
被引量：
6
1
作者
李庚伟
吴正龙
杨锡震
杨少延
张建辉
刘志凯
机构
北京师范大学分析测试中心
中国科学院半导体材料科学实验室
出处
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期174-179,共6页
基金
国家"八六三"计划资助
文摘
利用X射线光电子能谱深度剖析方法对ZnO/Si异质结构进行了分析 .用该法可生长出正化学比的ZnO ,不过生长的ZnO薄膜存在孔隙 ,工艺还有待进一步改进 .
关键词
zno/
si
异质结构
x
射线光电子能谱
氧离子束辅助
薄膜
激光器
Keywords
zno/
si
heterostructure
x
-
ray
photoelectron
spectroscopy
(
xps
)
O +
-
as
si
sted pulsed laser depo
si
tion (PLD)
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TN248.25 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
氧离子束辅助PLD法生长ZnO/Si的XPS研究
被引量：
2
2
作者
李庚伟
吴正龙
刘志凯
机构
中国地质大学(北京)材料科学与工程学院
北京师范大学分析测试中心
中国科学院半导体材料科学实验室
出处
《渤海大学学报（自然科学版）》
CAS
2007年第1期24-27,共4页
基金
国家"八六三"计划资项目(NO:863-715-001)-0162
中国地质大学(北京)科技基金资助项目(NO:200524)
文摘
利用X射线光电子能谱(XPS)深度剖析方法对ZnO/Si异质结构同一典型样品的不同部位进行了分析。讨论了同时刻(厚度)样品的生长情况及所说明的问题。提出要使样品生长得更理想,应做到使DIBD系统连续工作。
关键词
zno/
si
异质结构
x
射线光电子能谱(
xps
)
氧离子束辅助(O^+
-
as
si
sted)PLD
Keywords
zno/si x - ray photoelectron spectroscopy （xps）
O^＋
-
as
si
sted Pulsed Laser Depo
si
tion （PLD）
分类号
O611 [理学—无机化学]
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职称材料
题名
氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si纯ZnO相的研究
被引量：
1
3
作者
李庚伟
吴正龙
杨少延
机构
中国地质大学(北京)材料科学与工程学院
北京师范大学分析测试中心
中国科学院半导体材料科学实验室
出处
《渤海大学学报（自然科学版）》
CAS
2005年第3期193-197,共5页
基金
国家"八六三"计划资助项目(863-715-001-0162)
文摘
通过X射线光电子能谱(XPS)深度剖析方法对ZnO/S i异质结构进行了分析。结果表明:用该法可生长出正化学比的纯ZnO相,脉冲激光淀积(PLD)法生长ZnO/S i样品时氧离子束辅助(O+-assisted)是必要的。
关键词
zno/
si
异质结构
x
射线光电子能谱(
xps
)
氧离子束辅助(O^+
-
as
si
sted)
俄歇参数α′
脉冲激光淀积(PLD)
Keywords
zno/
si
heterostructure
x
-
ray
photoelectron
spectroscopy
(
xps
)
O^+
-
as
si
sted
Auger coefficientα′
pulsed laser depo
si
tion(PLD)
分类号
O641 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的XPS研究
李庚伟
吴正龙
杨锡震
杨少延
张建辉
刘志凯
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2001
6
下载PDF
职称材料
2
氧离子束辅助PLD法生长ZnO/Si的XPS研究
李庚伟
吴正龙
刘志凯
《渤海大学学报（自然科学版）》
CAS
2007
2
下载PDF
职称材料
3
氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si纯ZnO相的研究
李庚伟
吴正龙
杨少延
《渤海大学学报（自然科学版）》
CAS
2005
1
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职称材料
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