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具有“层中层”结构的Zr/[Al(Si)N/CrN]涂层制备及其在海水环境中腐蚀磨损特性 被引量：3
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作者 王永欣 汪艺璇 +3 位作者 陈春林 李祥 贺南开 李金龙 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第3期345-357,共13页
采用多弧离子镀技术制备了不同调制比的交替多元多层Zr/CrAlSiN复合涂层,通过交替沉积与间歇性接近不同靶材相结合的方法获得了Zr/[Al(Si)N/CrN]"层中层"结构,并对复合涂层的力学性能、无腐蚀时的摩擦磨损性能、无摩擦磨损时... 采用多弧离子镀技术制备了不同调制比的交替多元多层Zr/CrAlSiN复合涂层,通过交替沉积与间歇性接近不同靶材相结合的方法获得了Zr/[Al(Si)N/CrN]"层中层"结构,并对复合涂层的力学性能、无腐蚀时的摩擦磨损性能、无摩擦磨损时的腐蚀性能及海水环境中的腐蚀磨损性能进行了研究。结果表明:该结构设计对涂层生长缺陷具有明显的抑制和修复作用;随着CrAlSiN层厚度比例增大,调制比为1∶6时Zr/[Al(Si)N/CrN]涂层的综合力学性能最佳;由于CrAlSiN层具有多层Al(Si)N/CrN结构,增加CrAlSiN层厚度比例增加了复合涂层横向界面,从而提升了涂层腐蚀性环境中的阻隔作用,因此CrAlSiN层厚度比例的增加既可以提升无摩擦磨损时涂层的耐腐蚀性能,又可提升涂层摩擦开动后的耐腐蚀性能,并进一步降低涂层腐蚀和磨损的相互促进作用;当调制比为1∶6和1∶8时,Zr/[Al(Si)N/CrN]涂层在海水环境中展现出了较好的抗腐蚀磨损性能。 展开更多
关键词 zr/[Al(Si)n/Crn]涂层 “层中层”结构 海水环境 腐蚀磨损特性
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靶电流对氮化硅陶瓷刀具表面(Ti,Al,Zr)N涂层微观结构和性能的影响
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作者 李安琼 伍尚华 +2 位作者 曾俊杰 蒋强国 古尚贤 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第S1期697-701,共5页
采用多弧离子镀工艺,以Al Ti合金靶和Zr单质靶为组合,通过改变AlTi靶电流,在氮化硅陶瓷刀具表面制备了一组(Ti,Al,Zr)N涂层。分别采用扫描电镜(SEM)、纳米压痕和纳米划痕研究AlTi靶电流对(Ti,Al,Zr)N涂层形貌和结构、硬度和涂层/氮化硅... 采用多弧离子镀工艺,以Al Ti合金靶和Zr单质靶为组合,通过改变AlTi靶电流,在氮化硅陶瓷刀具表面制备了一组(Ti,Al,Zr)N涂层。分别采用扫描电镜(SEM)、纳米压痕和纳米划痕研究AlTi靶电流对(Ti,Al,Zr)N涂层形貌和结构、硬度和涂层/氮化硅陶瓷刀具基体结合力的影响。实验结果表明,随着涂层沉积过程中Al Ti靶电流的增加,(Ti,Al,Zr)N涂层表面大颗粒数量先增加后减少;涂层厚度增加;涂层硬度和膜基结合力先升高后降低。最后,对涂层氮化硅陶瓷刀具进行高速干车削铸铁实验,研究Al Ti靶电流对(Ti,Al,Zr)N涂层氮化硅陶瓷刀具切削性能、磨损机理和切削寿命的影响,评估涂层刀具切削性能。 展开更多
关键词 靶电流 氮化硅陶瓷刀具 (Ti Al zr)n涂层 微观结构 力学性能
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