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Dynamic Modeling and Experimental Verification of an RPR Type Compliant Paralle Mechanism with Low Orders
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作者 Shuang Zhang Jingfang Liu +1 位作者 Huafeng Ding Yanbin Zhang 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第3期83-94,共12页
Efficiency of calculating a dynamic response is an important point of the compliant mechanism for posture adjustment.Dynamic modeling with low orders of a 2R1T compliant parallel mechanism is studied in the paper.The ... Efficiency of calculating a dynamic response is an important point of the compliant mechanism for posture adjustment.Dynamic modeling with low orders of a 2R1T compliant parallel mechanism is studied in the paper.The mechanism with two out-of-plane rotational and one lifting degrees of freedom(DoFs)plays an important role in posture adjustment.Based on elastic beam theory,the stiffness matrix and mass matrix of the beam element are established where the moment of inertia is considered.To improve solving efficiency,a dynamic model with low orders of the mechanism is established based on a modified modal synthesis method.Firstly,each branch of the RPR type mechanism is divided into a substructure.Subsequently,a set of hypothetical modes of each substructure is obtained based on the C-B method.Finally,dynamic equation of the whole mechanism is established by the substructure assembly.A dynamic experiment is conducted to verify the dynamic characteristics of the compliant mechanism. 展开更多
关键词 compliant parallel mechanism Dynamic model Modal synthesis method Dynamic experiment
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柔顺并联机构运动静力学建模与实验研究
2
作者 李荣 余宏涛 +1 位作者 张驰 舒鑫东 《机械设计与制造》 北大核心 2024年第8期156-159,165,共5页
柔顺并联机构具有无摩擦、无磨损、无间隙、整体加工和较少装配等优点,广泛应用于微/纳米定位领域。针对大行程平面柔顺并联机构,提出了基于柔度矩阵法的运动静力学建模方法。应用该方法,建立了3-PPR平面柔顺并联机构的运动静力学模型... 柔顺并联机构具有无摩擦、无磨损、无间隙、整体加工和较少装配等优点,广泛应用于微/纳米定位领域。针对大行程平面柔顺并联机构,提出了基于柔度矩阵法的运动静力学建模方法。应用该方法,建立了3-PPR平面柔顺并联机构的运动静力学模型。为进一步验证模型的正确性,设计了基于三轴激光干涉仪和NI数据采集模块的多传感信号同步数据采集系统,并搭建了实验装置,实现了对机构驱动力、关节位移和末端位移的数据采集与分析。实验结果验证了实验方法的可行性和模型的正确性。 展开更多
关键词 大行程 柔顺并联机构 运动静力学 LABVIEW 激光干涉仪
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Application of μ Theory in Compliant Force Control 被引量:4
3
作者 张尚盈 韩俊伟 +1 位作者 赵慧 黄其涛 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第1期89-96,共8页
The application of μ theory in compliant force control system is studied. A compliant force control strategy is developed based on the inner loop position control of 6-DOF parallel robot in order to simulate the push... The application of μ theory in compliant force control system is studied. A compliant force control strategy is developed based on the inner loop position control of 6-DOF parallel robot in order to simulate the push and pull process of forcible alignment in space docking, Considering uncertainties such as parameter perturbations, model perturbations and external disturbances, etc., a robust force controller is designed using μ synthesis theory. The robust stability and robust performance are compared by analysis between the designed robust force controller and the classical force controller. The experiment results of the designed robust force controller and the classical force controller are shown. The results indicate that the designed robust force controller is of efficiency and superiority. 展开更多
关键词 parallel robot μ synthesis μ analysis compliant force control UNCERTAINTY ROBUST
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x-y-θ_(z)大行程无耦合并联压电微动平台的设计 被引量:1
4
作者 陈攀 朱春莉 +3 位作者 崔玉国 胡志谊 杨依领 娄军强 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第5期705-709,共5页
为了实现大位移行程、无耦合运动的精密定位,设计了一种结构紧凑、工作台面大的x-y-θ_(z)三自由度并联压电微动平台。该文首先采用双柔性薄板的柔顺桥式放大机构对微动平台的驱动单元进行了设计,并基于双平行四连杆柔顺机构设计了微动... 为了实现大位移行程、无耦合运动的精密定位,设计了一种结构紧凑、工作台面大的x-y-θ_(z)三自由度并联压电微动平台。该文首先采用双柔性薄板的柔顺桥式放大机构对微动平台的驱动单元进行了设计,并基于双平行四连杆柔顺机构设计了微动平台的台体,进而获得平台的整体结构。再采用有限元方法对平台的应力、位移放大倍数和模态进行了分析。最后对所设计的微动平台进行实验系统的搭建,并对平台的位移和频率响应特性进行测试。实验结果表明,平台在x方向上的最大输出位移为306.1μm,耦合率为0.26%;平台在y方向上的最大输出位移为402.3μm,耦合率为0.14%;在θ_(z)方向(即绕z轴)的最大转角为2.72 mrad。平台在x、y、θ_(z)方向的位移分辨率分别为10 nm、10 nm、0.1μrad,固有频率分别为104.1 Hz、130.0 Hz、115.6 Hz。 展开更多
关键词 微动平台 压电驱动 桥式柔顺放大机构 双平行四连杆柔顺机构
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集成式2PR-R型柔顺并联机构优化设计及精密定位性能研究
5
作者 宋晓蕾 《制造技术与机床》 北大核心 2023年第7期125-131,共7页
以精密定位装置在平面内的定位精度作为任务需求,设计具有平面二自由度的2PR-R柔顺并联机构作为本体构型,通过矢量映射关系建立该机构的Jacobian矩阵,验证其多输入-多输出的运动性能。进一步,基于2PR-R柔顺并联机构的运动特性,以机构静... 以精密定位装置在平面内的定位精度作为任务需求,设计具有平面二自由度的2PR-R柔顺并联机构作为本体构型,通过矢量映射关系建立该机构的Jacobian矩阵,验证其多输入-多输出的运动性能。进一步,基于2PR-R柔顺并联机构的运动特性,以机构静态刚度与一阶固有频率分别作为两个子目标构建多目标函数。以机构的Jacobian矩阵作为运动约束条件,以材料体积分数为不等式约束条件,构建该机构优化问题的数值模型,运用水平集算法进行优化问题的解算。最后,采用SolidWorks拟合机构优化结果的边界曲线,并由有限元软件进行相同工况条件下的力学分析。结果表明:平面2PR-R柔顺并联机构优化模型具有微米级运动特性,与原型并联机构具有相同的运动特性。 展开更多
关键词 2PR-R柔顺并联机构 Jacobian矩阵 水平集算法 拓扑优化
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柔顺关节并联机器人设计与实验 被引量:16
6
作者 余跃庆 崔忠炜 +1 位作者 赵鑫 马兰 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期274-278,共5页
通过实验研究,运用结构参数化方法设计了满足要求的柔顺关节,用以代替传统运动副进行传动,建立了含有柔顺关节的柔顺并联机器人机构,并与控制系统和OPTOTRAK测量系统一起组成实验系统,开展柔顺关节并联机器人动力学建模、分析、设计、... 通过实验研究,运用结构参数化方法设计了满足要求的柔顺关节,用以代替传统运动副进行传动,建立了含有柔顺关节的柔顺并联机器人机构,并与控制系统和OPTOTRAK测量系统一起组成实验系统,开展柔顺关节并联机器人动力学建模、分析、设计、规划与控制等方面的系统研究。以3自由度柔顺并联机器人为研究对象,分别对用转动副传动的刚性并联机器人和用柔顺关节传动的柔顺并联机器人进行了实验研究。通过对实验数据的对比分析,各项实验指标相对误差均控制在允许之内,表明在并联机器人中用柔顺关节取代转动副的有效性。 展开更多
关键词 柔顺关节 并联机器人 设计 实验
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纳米级精度柔性机器人的设计方法及实现研究 被引量:13
7
作者 于靖军 宗光华 +1 位作者 毕树生 赵玮 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第18期1577-1580,共4页
从材料、几何结构、柔性铰链、驱动器、运动与负载及加工等几个方面总结了面向精密作业的柔性机器人设计准则。对柔性机器人的设计方法进行了探讨。以精密作业中的具体应用为例 ,依据这些设计方法与准则 ,从机械本体和驱动器控制 2个方... 从材料、几何结构、柔性铰链、驱动器、运动与负载及加工等几个方面总结了面向精密作业的柔性机器人设计准则。对柔性机器人的设计方法进行了探讨。以精密作业中的具体应用为例 ,依据这些设计方法与准则 ,从机械本体和驱动器控制 2个方面详细描述了可实现纳米级精度的 3自由度柔性机器人样机设计的具体实现过程 。 展开更多
关键词 纳米级精度 柔性机构 设计原则 柔性铰链 柔性机器人 并联机构
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全柔性并联机器人支链静刚度矩阵的建立 被引量:8
8
作者 杨启志 马履中 +1 位作者 郭宗和 尹小琴 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1156-1159,共4页
设计了一种新型非对称全柔性3-RRRP平移微动并联机器人机构。在柔性铰链静刚度矩阵及柔性移动副静刚度矩阵的基础上,先建立该微动机器人机构单个支链的一般模型,利用坐标矩阵变换(D-H矩阵变换)的方法,推导出一般支链静刚度矩阵求解的理... 设计了一种新型非对称全柔性3-RRRP平移微动并联机器人机构。在柔性铰链静刚度矩阵及柔性移动副静刚度矩阵的基础上,先建立该微动机器人机构单个支链的一般模型,利用坐标矩阵变换(D-H矩阵变换)的方法,推导出一般支链静刚度矩阵求解的理论过程,进而求得该支链端部的静刚度矩阵。最后,通过理论计算一简单模型,并用ANSYS对理论计算结果进行模拟。模拟结果显示,理论计算的静刚度矩阵与模拟结果很相近,说明一般支链静刚度矩阵理论推导过程具有一定的准确性。 展开更多
关键词 全柔性机构 并联机器人 支链静刚度矩阵 坐标变换 仿真
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三平移全柔性微动机器人机构的位置运动分析 被引量:8
9
作者 杨启志 郭宗和 +2 位作者 马履中 尹小琴 王俊英 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期96-99,共4页
研究了新型全柔性微动三平移并联机器人机构{R∥R∥R∥P(4R)}∥{R∥R∥P(4R)∥R}⊥{R∥R∥R∥P(4R)}的运动学特性,首先求解机构的位置正解方程,并对该并联机构的运动学解耦特性进行分析,发现该三平移机构为近似完全解耦;求解出该机构的... 研究了新型全柔性微动三平移并联机器人机构{R∥R∥R∥P(4R)}∥{R∥R∥P(4R)∥R}⊥{R∥R∥R∥P(4R)}的运动学特性,首先求解机构的位置正解方程,并对该并联机构的运动学解耦特性进行分析,发现该三平移机构为近似完全解耦;求解出该机构的位置反解方程及中间变量的表达式;利用ADAMS软件对该机构的位置正解特性进行了仿真模拟,验证了理论推导的正确性。 展开更多
关键词 微动机器人 全柔性机构 并联机构 位置分析 仿真
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仿腕关节柔顺并联打磨机器人设计与试验 被引量:13
10
作者 朱伟 汪源 +2 位作者 沈惠平 邓嘉鸣 许兆棠 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期402-407,348,共7页
根据柔性并联机构逆向自适应运动原理,设计了一种3转动输出的3SPS+S仿腕关节柔性并联打磨机构,建立了机构运动方程,得到了柔性支链变形量与动平台姿态的关系;分析了柔性支链的变形力以及打磨工具打磨力、输出力矩情况,并建立力学模型;... 根据柔性并联机构逆向自适应运动原理,设计了一种3转动输出的3SPS+S仿腕关节柔性并联打磨机构,建立了机构运动方程,得到了柔性支链变形量与动平台姿态的关系;分析了柔性支链的变形力以及打磨工具打磨力、输出力矩情况,并建立力学模型;以打磨工具姿态变化和打磨力恒定为目标,对建立的三维模型进行仿真,并通过样机模拟得到机构的工作参数范围;仿真和试验结果表明,这种打磨机构可根据工件曲面几何形状的改变而实时改变打磨工具姿态,在有效控制力的前提下可保持打磨头和工件间的接触打磨力不变,该机构设计简单、运动灵活、方便控制,具有较好的应用价值。 展开更多
关键词 打磨机器人 腕关节 柔顺并联机构
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3-PRR柔性并联机构动力学分析 被引量:20
11
作者 贾晓辉 田延岭 张大卫 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期199-203,共5页
提出一种可应用于微/纳操作领域的3-PRR柔性并联机构,基于Euler-Bernoulli梁理论,采用假设模态法,分析支链上从动杆的柔性,结合实例说明了将从动杆视为刚性杆处理的依据。为进一步分析各构件惯量参数和柔性构件刚度对系统固有频率的影响... 提出一种可应用于微/纳操作领域的3-PRR柔性并联机构,基于Euler-Bernoulli梁理论,采用假设模态法,分析支链上从动杆的柔性,结合实例说明了将从动杆视为刚性杆处理的依据。为进一步分析各构件惯量参数和柔性构件刚度对系统固有频率的影响,采用拉格朗日方程建立了修正的机构动力学振动微分方程,并结合实例进行分析,利用仿真计算验证了所建模型的有效性。 展开更多
关键词 柔性并联机构 自由振动 动力学分析 拉格朗日方程
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片簧型柔顺并联机器人运动规划与轨迹跟踪技术 被引量:14
12
作者 田浩 余跃庆 吕强 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期372-378,共7页
针对柔顺关节并联机器人系统存在的误差因素,为提高系统整体性能,开展运动规划及轨迹跟踪研究。根据性能要求,设计柔顺关节的结构参数,分析柔顺关节特性,建立机器人系统的分析模型并推导运动学方程。针对柔顺关节轴心漂移引起的杆长误差... 针对柔顺关节并联机器人系统存在的误差因素,为提高系统整体性能,开展运动规划及轨迹跟踪研究。根据性能要求,设计柔顺关节的结构参数,分析柔顺关节特性,建立机器人系统的分析模型并推导运动学方程。针对柔顺关节轴心漂移引起的杆长误差,提出一种机器人主动杆和从动杆实际杆长的计算方法,修正主动杆关节角的期望轨迹。为补偿系统振动及参数摄动误差,基于径向基(RBF)神经网络设计模型逼近控制算法,跟踪期望轨迹。基于Solid Works、ANSYS、ADAMS及Matlab/Simulink建立机器人系统的虚拟仿真模型。仿真结果表明,提出的运动规划和控制方法将未补偿柔顺关节误差时的机器人末端轨迹误差降低了84%以上,能够有效提高柔顺关节并联机器人系统的运行精度。 展开更多
关键词 柔顺关节 并联机器人 运动规划 轨迹跟踪 虚拟仿真模型
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基于位置内环的柔顺力控制的研究 被引量:10
13
作者 叶正茂 赵慧 +1 位作者 张尚盈 韩俊伟 《控制与决策》 EI CSCD 北大核心 2006年第6期651-655,共5页
为模拟空间对接强制校正阶段的推出和拉近过程,提出基于六自由度并联机器人位置内环的柔顺力控制策略.综合考虑参数变化、模型变动和外来干扰等不确定性,利用μ综合控制理论设计鲁棒力控制器,并通过μ分析比较鲁棒力控制器和经典力控制... 为模拟空间对接强制校正阶段的推出和拉近过程,提出基于六自由度并联机器人位置内环的柔顺力控制策略.综合考虑参数变化、模型变动和外来干扰等不确定性,利用μ综合控制理论设计鲁棒力控制器,并通过μ分析比较鲁棒力控制器和经典力控制器的鲁棒稳定性和鲁棒性能.鲁棒力控制器和经典力控制器的实验结果,表明了所设计鲁棒力控制器的有效性和优越性. 展开更多
关键词 六自由度并联机器人 Μ综合 Μ分析 柔顺力控制
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空间非对称全柔性三平移并联机器人机构性能分析 被引量:7
14
作者 郭宗和 杨启志 +1 位作者 马履中 马佳佳 《工程设计学报》 CSCD 北大核心 2005年第1期7-11,共5页
运用型综合单开链理论对新型非对称全柔性机器人机构的型进行了分析综合,并通过ADAMS软件进行了运动输出类型的验证;对该机构的运动学的位置正解进行了理论分析,得出机构运动的位置正解方程,对理论分析的结果也进行了仿真模拟;型综合与... 运用型综合单开链理论对新型非对称全柔性机器人机构的型进行了分析综合,并通过ADAMS软件进行了运动输出类型的验证;对该机构的运动学的位置正解进行了理论分析,得出机构运动的位置正解方程,对理论分析的结果也进行了仿真模拟;型综合与仿真结果证明机器人机构仅能实现三维的平动;位置正解理论分析与运动学仿真结果显示机构具有良好的运动解耦特性.为全柔性并联机器人机构的运动控制的易操作性打下坚实的理论基础. 展开更多
关键词 全柔性并联机器人 型综合 位置分析 仿真模拟
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三平移全柔性并联微动机器人机构静力学分析 被引量:9
15
作者 杨启志 马履中 +2 位作者 谢俊 尹小琴 梁庆磊 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期110-113,共4页
对新型非对称三平移并联机构{R∥R∥R∥P(4R)}∥{R∥R∥P(4R)∥R}⊥{R∥R∥R∥P(4R)}普通的转动关节全柔性化,形成非对称全柔性三平移微动并联机器人机构。利用"伪刚体模型"法,以普通的转动副加上等效的双向扭转弹性元件替代... 对新型非对称三平移并联机构{R∥R∥R∥P(4R)}∥{R∥R∥P(4R)∥R}⊥{R∥R∥R∥P(4R)}普通的转动关节全柔性化,形成非对称全柔性三平移微动并联机器人机构。利用"伪刚体模型"法,以普通的转动副加上等效的双向扭转弹性元件替代每个柔弹性关节,形成全柔性并联机器人机构的伪刚体等效模型。采用与"摩擦圆理论"分析法相似的力分析方法,分析了全柔性并联机器人机构的静力学问题,发现机构虽然具有优良运动解耦性,但其静力学性能较差。 展开更多
关键词 并联机构 全柔性机构 伪刚体模型 静力学分析
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全柔性机器人机构的结构构型研究 被引量:8
16
作者 于靖军 宗光华 毕树生 《机器人》 EI CSCD 北大核心 2003年第4期367-372,377,共7页
本文对全柔性机器人机构的结构构型问题进行了系统的讨论 :首先从应用层面上对全柔性机器人机构进行了分类 ,着重讨论了并联机构与全柔性机器人机构之间存在的有机联系 .通过对并联机构的结构及柔性铰链的几何模型进行系统的总结 ,为全... 本文对全柔性机器人机构的结构构型问题进行了系统的讨论 :首先从应用层面上对全柔性机器人机构进行了分类 ,着重讨论了并联机构与全柔性机器人机构之间存在的有机联系 .通过对并联机构的结构及柔性铰链的几何模型进行系统的总结 ,为全柔性机器人机构“型”的选择与构筑提供了丰富的素材 .此外 ,还重点讨论了对全柔性机器人机构的性能产生较为显著影响的结构布局问题 . 展开更多
关键词 全柔性机构 柔性铰链 结构构型 并联机构 机器人
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柔顺关节并联机器人动力学模型 被引量:13
17
作者 李渊 余跃庆 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期345-353,共9页
首次采用初始弯曲梁的伪刚体模型建立了柔顺关节的双1R伪刚体模型,应用拉格朗日方程和虚拟切割法推导了柔顺关节并联机器人系统动力学方程。对方程进行了数值求解,结果显示在理想结果的基础上存在低幅高频振动,而简化模型结果却比较理想... 首次采用初始弯曲梁的伪刚体模型建立了柔顺关节的双1R伪刚体模型,应用拉格朗日方程和虚拟切割法推导了柔顺关节并联机器人系统动力学方程。对方程进行了数值求解,结果显示在理想结果的基础上存在低幅高频振动,而简化模型结果却比较理想,这表明理论模型比简化模型更能反映柔顺关节并联机器人这种刚柔耦合系统的特征;同时理论轨迹与ADAMS-ANSYS联合仿真轨迹、实验轨迹进行对比,最大相对误差分别为2.41%和4.69%,验证了理论模型的正确性。 展开更多
关键词 并联机器人 柔顺关节 动力学
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3自由度精密定位平台的运动特性和优化设计 被引量:54
18
作者 胡俊峰 张宪民 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期2686-2695,共10页
为了实现3-RRR柔顺并联精密定位平台的精确运动,研究了它的封闭形式精确运动模型和尺寸优化设计。采用卡氏第二定理建立精密定位平台的封闭式柔度模型。根据柔顺并联机构的结构特点,将其划分为3个对称分布的运动支链,并结合铰链的柔度... 为了实现3-RRR柔顺并联精密定位平台的精确运动,研究了它的封闭形式精确运动模型和尺寸优化设计。采用卡氏第二定理建立精密定位平台的封闭式柔度模型。根据柔顺并联机构的结构特点,将其划分为3个对称分布的运动支链,并结合铰链的柔度模型和机构力传递关系分别推导出各个支链的刚度模型,整个系统的刚度为所有支链在同一坐标系下的刚度的叠加。建立的刚度模型是以柔性铰链的柔度为变量的封闭形式模型。根据柔度矩阵可得到反映输入位移和输出位移之间关系的雅可比矩阵。理论模型与有限元分析的比较结果显示,两者所得的运动模型误差为1.0%~9.5%,证明了所推导运动模型的正确性和精确性。根据雅可比矩阵的封闭公式,分析其对结构参数的灵敏度,并由此选出对平台运动特性影响较大的优化设计变量。提出以最大化平台工作空间为目标,以铰链强度、最大输入力、几何尺寸和输入耦合为约束的优化模型。结果表明,优化后的结构参数能获得更大的输出位移,说明该方案能满足优化设计要求。 展开更多
关键词 柔顺并联机构 柔性铰链 精密定位平台 运动特性 优化设计
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空间全柔性并联机构动力学分析 被引量:6
19
作者 贾晓辉 刘今越 田延岭 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期210-214,共5页
针对精密柔性机构多自由度高精度运动的需求,以传统Delta并联机构为基础,设计了一种采用压电陶瓷驱动方式的空间柔性并联机构,基于伪刚体模型进行运动学分析。将从动臂质量分布作简化处理并主要考虑结构中柔性铰链的弹性应变能,利用拉... 针对精密柔性机构多自由度高精度运动的需求,以传统Delta并联机构为基础,设计了一种采用压电陶瓷驱动方式的空间柔性并联机构,基于伪刚体模型进行运动学分析。将从动臂质量分布作简化处理并主要考虑结构中柔性铰链的弹性应变能,利用拉格朗日方程建立动力学弹性振动微分方程,得到其固有频率表达式,并结合实际结构参数得到了相应的理论结果。3个主要运动方向的三阶固有频率的试验结果和理论分析结果误差分别为:12.71%、12.14%和14.90%,有限元仿真结果和试验结果误差分别为:6.20%、5.66%和10.28%,表明理论分析时所作的简化处理合理,得到的动力学数学模型有效、可信。 展开更多
关键词 柔性并联机构 动力学 固有频率 有限元仿真
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全柔性机构在并联微动机器人中的应用 被引量:5
20
作者 杨启志 郭宗和 +2 位作者 马履中 尹小琴 谢俊 《机械设计与研究》 CSCD 北大核心 2005年第5期45-48,共4页
柔性机构,特别是全柔性机构以其特殊的性能在微位移、微操作、微装配等领域得到广泛应用。通过对柔性机构的特点、全柔性微动机器人与普通平面机构、平面并联机构、空间并联机构结合的例子等的介绍,对柔性机构,特别是全柔性机构在微动... 柔性机构,特别是全柔性机构以其特殊的性能在微位移、微操作、微装配等领域得到广泛应用。通过对柔性机构的特点、全柔性微动机器人与普通平面机构、平面并联机构、空间并联机构结合的例子等的介绍,对柔性机构,特别是全柔性机构在微动并联机器人领域的国内外发展现状作了较全面的介绍。指出了目前存在的若干主要问题。 展开更多
关键词 全柔性机构 并联机构 微动机器人 微操作平台 微定位平台
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