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Influence of reducing anneal on the ferromagnetism in single crystalline Co-doped ZnO thin films
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作者 路忠林 邹文琴 +1 位作者 徐明祥 张凤鸣 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第5期406-411,共6页
This paper reports that the high-quality Co-doped ZnO single crystalline films have been grown on a-plane sapphire substrates by using molecular-beam epitaxy. The as-grown films show high resistivity and non-ferromagn... This paper reports that the high-quality Co-doped ZnO single crystalline films have been grown on a-plane sapphire substrates by using molecular-beam epitaxy. The as-grown films show high resistivity and non-ferromagnetism at room temperature, while they become more conductive and ferromagnetic after annealing in the reducing atmosphere either in the presence or absence of Zn vapour. The x-ray absorption studies indicate that all Co ions in these samples actually substituted into the ZnO lattice without formatting any detectable secondary phase. Compared with weak ferromagnetism (0.16 μB/Co2+) in the Zno.95 Co0.05 O single crystalline film with reducing annealing in the absence of Zn vapour, the films annealed in the reducing atmosphere with Zn vapour are found to have much stronger ferromagnetism (0.65 μB/Co2+) at room temperature. This experimental studies clearly indicate that Zn interstitials are more effective than oxygen vacancies to activate the high-temperature ferromagnetism in Co-doped ZnO films, and the corresponding ferromagnetic mechanism is discussed. 展开更多
关键词 Co-doped ZnO diluted magnetic semiconductors x-ray absorption fine structure single crystalline thin films
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Sol-Gel法合成K(Ta,Nb)O_3材料 被引量:6
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作者 包定华 王世敏 +3 位作者 顾豪爽 黄桂玉 卢朝靖 邝安祥 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1995年第1期32-36,共5页
以金属醇盐乙酸钾[K(OC2H5)],乙醇铌[Nb(OC2H5)5]和乙醇钽[Ta(OC2H5)5]为原料,用Sol-Gel法合成了K(Ta,Nb)O3超细粉末和薄膜,研究了工艺参数如前驱体溶液浓度、热处理温度等因素... 以金属醇盐乙酸钾[K(OC2H5)],乙醇铌[Nb(OC2H5)5]和乙醇钽[Ta(OC2H5)5]为原料,用Sol-Gel法合成了K(Ta,Nb)O3超细粉末和薄膜,研究了工艺参数如前驱体溶液浓度、热处理温度等因素对材料结构及物性的影响.粉料的粒径为20~40nm,所需合成温度约为700℃,比通过传统的固相反应制备同种材料的合成温度低近100℃;以SrTiO3(100)单晶作基片,采用匀胶法获得了沿(100)高取向生长的K(Ta0.65Nb0.35)O3薄膜,薄膜表面均匀、致密,室温时呈立方相晶格结构.研究表明,选择物理性质相似、晶格常数相匹配的材料作基片,适当控制工艺参数,尤其是前驱体溶液的浓度、升降温速度及烧结温度是获得优质薄膜的关键. 展开更多
关键词 钽铌酸钾 超细粉 陶瓷材料 合成Sol-Gel法
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直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究 被引量:1
3
作者 张卫华 袁媛 +1 位作者 石春梅 赵高扬 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期886-890,共5页
采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性,制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3)前驱溶胶及其凝胶薄... 采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性,制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3)前驱溶胶及其凝胶薄膜;结合直接感光法,首先制备图形化凝胶薄膜,再通过后续热处理,在Pt/TiO_2/SiO_2/Si衬底上最终得到了具有钙钛矿结构的钛酸锶钡图形化薄膜,其图形厚度约为793nm,相对介电常数约为600,介电损耗约为0.03. 展开更多
关键词 BST薄膜 感光性 微细图形 溶胶-凝胶工艺
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纳米表面工程基本问题及其进展 被引量:41
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作者 徐滨士 欧忠文 马世宁 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2001年第3期6-12,共7页
阐述了纳米表面工程的产生背景、内涵、特点和科学问题,详细综述了纳米表面工程在纳米超薄膜的制备、超光滑表面的制备、表面超微细图形加工、纳米结构涂层的组装、制备纳米复合功能涂层方面的研究进展。
关键词 纳米表面工程 纳米材料 纳米超薄膜 超光滑表面 超微细图形 纳米结构涂层
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钇稳定氧化锆薄膜的制备及其微细加工 被引量:5
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作者 张卫华 赵高扬 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期424-428,共5页
以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫... 以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫外光谱测试结果表明:乙酰丙酮与锆离子形成的螯合物在室温、可见光、大气环境下,可以存在于凝胶薄膜中,并具有较好的热稳定性和光化学稳定性,其紫外光谱的特征吸收峰大约在310nm附近;325nm紫外激光光源照射凝胶薄膜,能破坏、分解凝胶薄膜中的这种螯合物结构,使凝胶薄膜的物理化学性质发生变化,实验发现,经过紫外激光照射的凝胶薄膜在适当的有机溶剂(如甲醇等)中的溶解度和溶解速度显著降低,利用这一特性,采用325nm紫外激光通过掩膜照射凝胶薄膜,并在适当的有机溶剂中溶洗掉未受照射的区域,经过800℃,20min热处理,得到了具有微细图形的YSZ薄膜,XRD测试表明该薄膜相结构为立方相. 展开更多
关键词 氧化锆薄膜 溶胶-凝胶法 感光性 微细图形 制备 微细加工 YSZ薄膜
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用弯曲磁过滤提高弧离子镀TiN薄膜质量 被引量:6
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作者 瞿全炎 曾德长 +1 位作者 史新伟 刘正义 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期36-40,共5页
采用弯曲磁过滤真空阴极放电弧离子镀法制备高质量TiN薄膜。用场致发射电子扫描显微镜观察薄膜表面与截面形貌。分析弯曲磁过滤对膜表面质量与晶粒尺寸、膜基结合形态的影响。磁过滤能有效减少大颗粒数量,减小大颗粒尺寸,形成光滑的TiN... 采用弯曲磁过滤真空阴极放电弧离子镀法制备高质量TiN薄膜。用场致发射电子扫描显微镜观察薄膜表面与截面形貌。分析弯曲磁过滤对膜表面质量与晶粒尺寸、膜基结合形态的影响。磁过滤能有效减少大颗粒数量,减小大颗粒尺寸,形成光滑的TiN薄膜表面,细化TiN晶粒,形成结合紧密的膜基结构。 展开更多
关键词 TIN薄膜 弯曲磁过滤 薄膜质量 粗大柱状晶 细小柱状晶
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薄膜材料连接方式的发展现状
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作者 魏成富 张兵 +3 位作者 唐杰 邢丕峰 杨蒙生 张林 《绵阳师范学院学报》 2015年第11期1-6,共6页
在需连接的材料之间,应根据其大小、形状、种类和结构等来确定适当的复合方式,否则很难达到需要的效果.而对小微薄膜而言,其连接方式有特殊之处.本文综述了这类薄膜材料可能用到的连接方式,如物理气相沉积法、精密轧制压延技术、钎焊技... 在需连接的材料之间,应根据其大小、形状、种类和结构等来确定适当的复合方式,否则很难达到需要的效果.而对小微薄膜而言,其连接方式有特殊之处.本文综述了这类薄膜材料可能用到的连接方式,如物理气相沉积法、精密轧制压延技术、钎焊技术、摩擦焊技术和扩散焊接技术等,分析了这些连接方式的适用性和优缺点,指出了扩散焊接技术在小微薄膜连接方面更为适合,展望了该方式的发展前景. 展开更多
关键词 小微薄膜 连接 气相沉积 扩散焊接
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化学修饰法制备的ZrO_2-SiO_2系凝胶薄膜的感光特性研究 被引量:4
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作者 赵桂荣 赵高扬 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期207-208,211,共3页
本研究采用溶胶 凝胶与化学修饰相结合的方法制备了xZrO2 ·(10 0 -x)SiO2 系薄膜 ,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性 ,发现了当x >3 0时 ,这种凝胶薄膜在 3 3 5nm附近有较强的吸收峰 ,这一吸收峰对应于与Zr形成配位体的BzAc... 本研究采用溶胶 凝胶与化学修饰相结合的方法制备了xZrO2 ·(10 0 -x)SiO2 系薄膜 ,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性 ,发现了当x >3 0时 ,这种凝胶薄膜在 3 3 5nm附近有较强的吸收峰 ,这一吸收峰对应于与Zr形成配位体的BzAcH的π π 迁移。当紫外光照射薄膜后 ,随着含Zr螯合物的分解 ,吸收峰也消失 ,并引起薄膜在有机溶剂中的溶解特性的显著变化 ,表现出明显的感光特性。这种薄膜经 40 0℃、3 0min热处理以后 ,薄膜中的有机物消失 ,可获得非晶质的ZrO2 SiO2 系薄膜 ,依据这一特性可以用紫外光对这类薄膜进行微细加工。 展开更多
关键词 熔胶-凝胶法 化学修饰 微细加工 吸光度 氧化锆-氧化硅薄膜
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二氯丙醇制备环氧氯丙烷的管式反应薄膜蒸发耦合工艺
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作者 严生虎 何向前 +2 位作者 张跃 沈介发 刘建武 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期663-667,共5页
环氧氯丙烷是一种重要的有机化工原料和生产环氧树脂的聚合单体,工业生产中由二氯丙醇经塔式皂化环合反应工艺制得。为快速高效分离环氧氯丙烷,降低能耗,减少废水排放,设计了管式反应器与薄膜蒸发耦合制备环氧氯丙烷的工艺路线,研究了... 环氧氯丙烷是一种重要的有机化工原料和生产环氧树脂的聚合单体,工业生产中由二氯丙醇经塔式皂化环合反应工艺制得。为快速高效分离环氧氯丙烷,降低能耗,减少废水排放,设计了管式反应器与薄膜蒸发耦合制备环氧氯丙烷的工艺路线,研究了反应物摩尔比、NaOH溶液的质量分数、反应温度、管道反应停留时间、薄膜蒸发温度和薄膜蒸发压力对环氧氯丙烷收率的影响。结果表明,当物料摩尔比n(NaOH)∶n(DCP)=1.05∶1、NaOH溶液的质量分数为20%、反应温度为50℃、管式反应停留时间为15 s、薄膜蒸发温度为50℃、薄膜蒸发压力为9.5 kPa时,环氧氯丙烷的收率达97.3%。薄膜蒸发与管式反应的工艺耦合,降低了原料消耗,缩短了反应时间,产物收率较高;与管式反应-精馏耦合工艺相比,操作弹性较大,产物收率较高,能耗较低,产生废水量较少。 展开更多
关键词 二氯丙醇 环氧氯丙烷 管式反应 薄膜蒸发 耦合工艺 精细化工中间体
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超细矿渣对胶凝材料浆体流变性能的影响 被引量:3
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作者 王恒 刘宇 王登权 《混凝土》 CAS 北大核心 2022年第7期95-98,共4页
研究了不同超细矿渣掺量下胶凝材料浆体流变性能的变化,并通过分析浆体中颗粒表面水膜层的厚度探究了其变化机理。结果表明:胶凝材料浆体呈现出剪切稀化特性。随着超细矿渣掺量的增加,浆体的流动度逐渐降低,屈服应力和稠度因子逐渐增大... 研究了不同超细矿渣掺量下胶凝材料浆体流变性能的变化,并通过分析浆体中颗粒表面水膜层的厚度探究了其变化机理。结果表明:胶凝材料浆体呈现出剪切稀化特性。随着超细矿渣掺量的增加,浆体的流动度逐渐降低,屈服应力和稠度因子逐渐增大,其流变行为指数逐渐减小,浆体剪切稀化程度增强。掺入超细矿渣会降低浆体中颗粒表面的水膜层厚度,从而影响其流变性能。 展开更多
关键词 超细矿渣 胶凝材料浆体 流变性能 工作性 水膜层厚度 剪切稀化
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一种微型化低噪微波AGC接收模组的设计 被引量:1
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作者 周旭烨 董金明 《华侨大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2009年第5期523-525,共3页
针对超微型化、低成本的微波低波段混合集成电路的要求,设计一种微型化2GHz低噪声、高选择性、自动增益控制(AGC)接收模组.该放大模组通过对微型化的低噪声放大、高选择性滤波、平衡混频、电调衰减等电路的设计,采用超微细微带薄... 针对超微型化、低成本的微波低波段混合集成电路的要求,设计一种微型化2GHz低噪声、高选择性、自动增益控制(AGC)接收模组.该放大模组通过对微型化的低噪声放大、高选择性滤波、平衡混频、电调衰减等电路的设计,采用超微细微带薄膜工艺,在68mm×18mm×0.5mm陶瓷基片上制作,具有集成度高、体积小的特点,适合作为无线通信接收电路.在1.8~2.2GHz范围内,其增益≥50dB,噪声系数≤0.9dB,带外抑制≥40dB,AGC≥30dB. 展开更多
关键词 低噪声放大器 椭圆函数带通滤波器 平衡混频 超微细薄膜工艺 自动增益控制
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精细线路用新型挠性覆铜箔聚酰亚胺薄膜 被引量:1
12
作者 王金龙 李小兰 严小雄 《电子元器件应用》 2003年第2期62-63,共2页
概述精细线路用挠性覆铜箔聚酰亚胺薄膜的特性及制作工艺。
关键词 挠性精细线路 超薄铜 聚酰亚胺薄膜 制造工艺 覆铜箔
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微型化2GHz低噪声高选择性放大模组的研制
13
作者 周旭烨 林福华 董金明 《电气电子教学学报》 2008年第5期34-36,41,共4页
本文介绍一种将微波低频段分布参数电路与超微细薄膜工艺结合的微型化、低噪声、高选择性的放大模组。对低噪声放大电路、椭圆函数带通滤波电路及后级平衡放大电路的设计完成后,将其制作在76×20×0.5mm3氧化铝陶瓷基片上。本... 本文介绍一种将微波低频段分布参数电路与超微细薄膜工艺结合的微型化、低噪声、高选择性的放大模组。对低噪声放大电路、椭圆函数带通滤波电路及后级平衡放大电路的设计完成后,将其制作在76×20×0.5mm3氧化铝陶瓷基片上。本模组在1.8-2.2GHz范围内,增益Gp≥50dB,噪声系数Nf≤0.9dB,其1dB压缩点输出功率Po≈30dBm,带外抑制≥80dB。 展开更多
关键词 低噪声放大器 椭圆带通滤波器 高选择性 超微细薄膜工艺
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一种小型化射频低噪选频放大模组
14
作者 周旭烨 洪清泉 傅阳波 《泉州师范学院学报》 2008年第6期51-54,共4页
介绍一种基于超微细射频平面电路技术的小型化900 MHz选频放大模组.该模组制作在90 mm×18 mm×0.5 mm陶瓷基板上,具有噪声系数低、增益可控、滤波电路平面化等特点,适合作为低噪声射频通信选频放大链.且该模组在900 MHz频段,增... 介绍一种基于超微细射频平面电路技术的小型化900 MHz选频放大模组.该模组制作在90 mm×18 mm×0.5 mm陶瓷基板上,具有噪声系数低、增益可控、滤波电路平面化等特点,适合作为低噪声射频通信选频放大链.且该模组在900 MHz频段,增益Gp≥42 dB,噪声系数Nf≤0.9 dB,1 dB压缩点输出功率Po≥30 dBm,带外抑制≥35 dB. 展开更多
关键词 LNA 平衡电路 双螺旋电感交指电容BPF 超微细薄膜工艺
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Analysis of Local Structures around Ni Atoms Doped in ZnO-Based Diluted Magnetic Semiconductors by Fluorescence EXAFS 被引量:1
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作者 李斌斌 修向前 +5 位作者 张荣 陶志阔 陈琳 谢自力 郑有炓 贺博 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2006年第4期907-910,共4页
Zn1-xNixO (x = 0.001, 0.01, 0.02, 0.05 and 0.20) powders are prepared by sol-gel method. An extended x-ray absorption fine structure technique (EXAFS) for the Ni K.edge is employed to probe the local structures ar... Zn1-xNixO (x = 0.001, 0.01, 0.02, 0.05 and 0.20) powders are prepared by sol-gel method. An extended x-ray absorption fine structure technique (EXAFS) for the Ni K.edge is employed to probe the local structures around Ni atoms doped in ZnO powders by fluorescence mode. The near edge EXAFS of the samples does not change in the range of Ni concentration from x = 0.001 to 0.05, which is consistent with the results of x-ray diffraction of the samples. The simulation results for the first shell EXAFS signals indicated that Ni atoms are substituted in Zn sites. 展开更多
关键词 ABSORPTION fine-STRUCTURE thin-filmS FERROMAGNETISM ORIGIN
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气体传感器中的厚薄膜技术 被引量:6
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作者 易惠中 《传感器技术》 CSCD 1992年第1期1-7,共7页
厚薄膜技术已广泛用于制作气体传感器,在气敏技术中起重要作用。综述了在气体传感器制造中使用的厚薄膜技术,包括厚膜、薄膜、超微粒子薄膜和LB膜技术。
关键词 气体传感器 厚膜 LB膜
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氧化锌超微粒子薄膜的表面性质研究
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作者 赵大春 潘孝仁 戴幕仉 《华东化工学院学报》 CSCD 1993年第3期383-386,共4页
用直流气体放电活化反应沉积的方法,制备了氧化锌超微粒子薄膜,并经AES成分分析及XRD物相结构鉴定,随制备条件不同,结构将明显改变。扫描电子显微镜(SEM)分析结果表明,粒子的粒径为88.5nm。用俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(XPS)... 用直流气体放电活化反应沉积的方法,制备了氧化锌超微粒子薄膜,并经AES成分分析及XRD物相结构鉴定,随制备条件不同,结构将明显改变。扫描电子显微镜(SEM)分析结果表明,粒子的粒径为88.5nm。用俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(XPS)对超微柱子膜的表面成分此、表面电子态进行了研究,用Ar^+枪对样品表面进行了剥离,同时用AES作跟踪分析。结果表明,Zn/O比基本保持不变,C稍有减少。这和电子探针持续作用AES跟踪分析结果基本相同。样品表面的电子态是Zn2p_(1/2)、Zn2p_(3/2),Cls、Ols;粒径及基质对表面光电压谱有较大影响。 展开更多
关键词 薄膜 氧化锌 沉积 结构 超微粒子
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单晶和孪晶的Zn_(0.96)Co_(0.04)O稀磁半导体薄膜的制备与研究 被引量:4
18
作者 路忠林 邹文琴 +1 位作者 徐明祥 张凤鸣 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期8467-8472,共6页
采用分子束外延技术分别在不同晶面的蓝宝石(sapphire Al2O3)基片上制备了沿c轴生长的Zn0.96Co0.04O稀磁半导体薄膜.发现在Al2O3(1120)晶面(a面)上薄膜是二维层状外延生长的高质量单晶薄膜,而在Al2O3(0001)晶面(c面)上薄膜却具有有趣的... 采用分子束外延技术分别在不同晶面的蓝宝石(sapphire Al2O3)基片上制备了沿c轴生长的Zn0.96Co0.04O稀磁半导体薄膜.发现在Al2O3(1120)晶面(a面)上薄膜是二维层状外延生长的高质量单晶薄膜,而在Al2O3(0001)晶面(c面)上薄膜却具有有趣的孪晶结构,部分区域相互之间有一个30°的面内转动来减少和基片之间的失配度.在孪晶薄膜中存在的这些相互旋转形成的区域界面上会引起载流子强烈的散射作用,导致载流子迁移率的下降和平均自由程的缩短.利用X射线吸收精细结构技术证明了无论单晶还是孪晶的Zn0.96Co0.04O薄膜中所有的Co都以+2价替代进入了ZnO的晶格,而没有形成任何杂相.而对其磁性研究发现,孪晶的薄膜样品比高质量的单晶薄膜样品具有大得多的饱和磁矩.这充分说明孪晶薄膜中的铁磁性来源与缺陷有关.我们还对铁磁性耦合机制进行了探讨. 展开更多
关键词 Co掺杂ZnO 稀磁半导体 X射线吸收精细结构 单晶和孪晶薄膜
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真空蒸镀过程基底应力对元件面形的影响 被引量:3
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作者 祝沛 朱健强 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期476-479,共4页
在真空蒸发镀膜过程中,元件面形的改变主要决定于基底应力(包括自重应力与残余应力)在镀膜前后的分布状态。通过建模定性分析发现,基底的自重应力在薄膜沉积前后施加并撤除的状态变化,会导致薄膜与基底界而产生相互制约的应力。由此引... 在真空蒸发镀膜过程中,元件面形的改变主要决定于基底应力(包括自重应力与残余应力)在镀膜前后的分布状态。通过建模定性分析发现,基底的自重应力在薄膜沉积前后施加并撤除的状态变化,会导致薄膜与基底界而产生相互制约的应力。由此引起的基底形变幅度微小,基本可忽略不计;因此,基底的残余应力是导致真空蒸镀过程中基底而形变差的主要因素。在抛光前对基底进行精密退火处理,可以有效地消除由基底残余应力引起的无规则形变。 展开更多
关键词 薄膜 光学加工 应力分析 精密退火 自重应力 残余应力
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