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Review of low timing jitter mode-locked fiber lasers and applications in dual-comb absolute distance measurement 被引量:10
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作者 Haosen Shi Youjian Song +6 位作者 Runmin Li Yuepeng Li Hui Cao Haochen Tian Bowen Liu Lu Chai Minglie Hu 《Nanotechnology and Precision Engineering》 EI CAS CSCD 2018年第4期205-217,共13页
Passively mode-locked fiber lasers emit femtosecond pulse trains with excellent short-term stability. The quantum-limited timing jitter of a free running femtosecond erbium-doped fiber laser working at room temperatur... Passively mode-locked fiber lasers emit femtosecond pulse trains with excellent short-term stability. The quantum-limited timing jitter of a free running femtosecond erbium-doped fiber laser working at room temperature is considerably below one femtosecond at high Fourier frequency. The ultrashort pulse train with ultralow timing jitter enables absolute time-of-flight measurements based on a dual-comb implementation, which is typically composed of a pair of optical frequency combs generated by femtosecond lasers. Dead-zone-free absolute distance measurement with sub-micrometer precision and kHz update rate has been routinely achieved with a dual-comb configuration, which is promising for a number of precision manufacturing applications, from large step-structure measurements prevalent in microelectronic profilometry to three coordinate measurements in large-scale aerospace manufacturing and shipbuilding. In this paper, we first review the sub-femtosecond precision timing jitter characterization methods and approaches for ultralow timing jitter mode-locked fiber laser design. Then, we provide an overview of the state-of-the-art dual-comb absolute ranging technology in terms of working principles, experimental implementations, and measurement precisions. Finally, we discuss the impact of quantum-limited timing jitter on the dual-comb ranging precision at a high update rate. The route to highprecision dual-comb range finder design based on ultralow jitter femtosecond fiber lasers is proposed. 展开更多
关键词 TIMING JITTER MODE-LOCKED lasers Dual-comb absolute distance measurement
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Rapid and precise distance measurement with hybrid comb lasers
2
作者 Zhichuang Wang Jiawen Zhi +7 位作者 Hanzhong Wu Brent E.Little Sai T.Chu Jie Zhang Zehuang Lu Chenggang Shao Weiqiang Wang Wenfu Zhang 《Advanced Photonics Nexus》 2024年第4期70-81,共12页
Dual-comb ranging allows rapid and precise distance measurement and can be universally implemented on different comb platforms,e.g.,fiber combs and microcombs.To date,dual-fiber-comb ranging has become a mature and po... Dual-comb ranging allows rapid and precise distance measurement and can be universally implemented on different comb platforms,e.g.,fiber combs and microcombs.To date,dual-fiber-comb ranging has become a mature and powerful tool for metrology and industry,but the measurement speed is often at a kilohertz level due to the lower repetition rates.Recently,dual-microcomb ranging has given rise to a new opportunity for distance measurement,in consequence of its small footprint and high repetition rates,but full-comb stabilization is challenging.Here,we report a dual-hybrid-comb distance meter capable of ultrarapid and submicrometer precision distance measurement,which can not only leverage the advantage of easy locking inherited from the fiber comb but also sustain ultrarapid measurement speed due to the microcomb.The experimental results show that the measurement precision can reach 3.572μm at 4.136μs and 432 nm at 827.2μs averaging time.Benefiting from the large difference between the repetition rates of the hybrid combs,the measurement speed can be enhanced by 196 folds,in contrast to the dual-fiber-comb system with about a 250 MHz repetition rate.Our work can offer a solution for the fields of rapid dimensional measurement and spectroscopy. 展开更多
关键词 microcomb absolute distance measurement high-precision measurement high-speed measurement
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Optical Frequency Comb Frequency-division Multiplexing Dispersive Interference Multichannel Distance Measurement 被引量:1
3
作者 Xu Liang Tengfei Wu +2 位作者 Jiarui Lin Linghui Yang Jigui Zhu 《Nanomanufacturing and Metrology》 EI 2023年第1期61-68,共8页
An optical frequency comb(OFC)frequency-division multiplexing dispersive interference multichannel distance measurement method is proposed.Based on the OFC dispersive interference,the wide OFC spectrum is divided into... An optical frequency comb(OFC)frequency-division multiplexing dispersive interference multichannel distance measurement method is proposed.Based on the OFC dispersive interference,the wide OFC spectrum is divided into multiple channels using a wavelength-division multiplexer.Under the existing light source and spectrometer,a single interference system can realize six channels of the high-precision parallel absolute distance measurement.The influence of the spectrum width and shape on the performance of the distance measurement channel is analyzed.The ranging accuracy of six channels is higher than±4μm under the optimization of a nonuniform discrete Fourier transform and Hanning window. 展开更多
关键词 Frequency-division multiplexing Dispersive interference absolute distance measurement Fourier transform
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Design of High Precision Horizontal Control Network for Large-Scale Hydropower Project
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作者 ZHANG Zhenglu LUO Changlin +1 位作者 DENG Yong XIE Niansheng 《Geo-Spatial Information Science》 2006年第4期235-239,共5页
A new solution of combination network of GPS and high precise distance measurements with EDM is proposed. Meanwhile, it’s inadvisable only using GPS network without distance measurements. Three schemes: terrestrial n... A new solution of combination network of GPS and high precise distance measurements with EDM is proposed. Meanwhile, it’s inadvisable only using GPS network without distance measurements. Three schemes: terrestrial network, GPS network and combination network are discussed for horizontal control network design of Xiangjiaba Dam in view of precision, reliability, coordinate and outlay in detail. 展开更多
关键词 large-scale hydropower project terrestrial network GPS network combination network of GPS and high precise distance measurements with EDM
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多路绝对激光测距仪精密三维控制网的建立与解算
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作者 黄赫 范百兴 +2 位作者 段童虎 陈哲 邹方星 《测绘工程》 2024年第1期15-24,共10页
建立高精度三维控制网是实现大型粒子加速器等精密工程测量的前提条件,目前主要通过间接测量两点间距离或者自由设站实现,而多路绝对激光测距仪可在0.02~30 m范围内直接测量空间中两点间距离,利用高精度绝对测距值可建立高精度的三维测... 建立高精度三维控制网是实现大型粒子加速器等精密工程测量的前提条件,目前主要通过间接测量两点间距离或者自由设站实现,而多路绝对激光测距仪可在0.02~30 m范围内直接测量空间中两点间距离,利用高精度绝对测距值可建立高精度的三维测边控制网。基于多路绝对激光测距仪高精度绝对测距性能,建立仅含控制点间距离的秩亏自由网平差模型,通过任意初值选取,应用改进的LM算法迭代求解非线性超定方程组实现坐标概算,得到方程组的一组解作为未知数的近似值进行整网平差,获得高精度控制点坐标。实验数据分析表明,在8 m×3.5 m×2.5 m的实验范围内,建立控制点平均点位精度优于±1.14μm的三维测边网,可满足现代工业生产中对安装定位的高精度需求。 展开更多
关键词 多路绝对激光测距仪 三维测边网 改进的LM算法 控制网概算 秩亏自由网平差
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基于时域可区分特征的双飞秒激光多目标绝对距离测量 被引量:1
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作者 胡新源 杨凌辉 +2 位作者 宋有建 杨朔 韩森淼 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期74-81,共8页
伴随当前航空、航天、大型科学仪器智能制造场景下多环节、多过程、多装备制造工艺与制造信息不断融合优化,正推动长度测量需求从传统局部、单参数、离线、分时测量快速转变为全局、多目标的在线、实时、同步测量,现有激光测距方法受到... 伴随当前航空、航天、大型科学仪器智能制造场景下多环节、多过程、多装备制造工艺与制造信息不断融合优化,正推动长度测量需求从传统局部、单参数、离线、分时测量快速转变为全局、多目标的在线、实时、同步测量,现有激光测距方法受到原理限制,在精度、实时性与并行能力等方面面临瓶颈。本文提出了一种基于飞行时间法的双飞秒激光多目标绝对距离测量系统,设计特定的光纤分束方案,使飞秒激光光源同时到达多个目标,并构造时域可区分特征匹配多组脉冲,携带距离信息的脉冲经强度互相关模块后进入FPGA数据处理单元,实现多路绝对距离的实时解算,并完成系统的集成化设计。实验表明系统在2 kHz的更新速度下阿伦偏差评定的测量精度优于10^(-5)m,与干涉仪对比的测距偏差小于4μm,在此基础上,搭建平行光路结构实现多自由度的同时测量,测量偏差优于5″。 展开更多
关键词 飞秒激光 多目标测量 绝对距离 FPGA 系统集成
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溯源北斗时基无光学干涉激光扫频测距实验研究
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作者 游淞清 谢博娅 +2 位作者 伍凯凯 何静 杨鹏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第5期348-356,共9页
绝对距离测量在基础科学和技术研发领域的重要性日益彰显。由于传统的光学干涉绝对距离测量方法存在测量距离较短、“位相模糊”、易受噪声干扰等问题,计量学领域提出利用频率合成激光开展非光学干涉的绝对距离测量研究。尽管该方法实... 绝对距离测量在基础科学和技术研发领域的重要性日益彰显。由于传统的光学干涉绝对距离测量方法存在测量距离较短、“位相模糊”、易受噪声干扰等问题,计量学领域提出利用频率合成激光开展非光学干涉的绝对距离测量研究。尽管该方法实验装置简单、具有较强的抗噪声干扰能力、适用于大尺寸测量等优点,然而它对实验装置的工作频率带宽、精度具有较高的要求,先前的工作受限于以上条件,绝对距离测量精度为厘米量级。为进一步提高测距精度,提出一种溯源北斗时间基准的非光学干涉激光扫频测距方法。采用光纤电光调制器,代替空间声光调制器,激光频率扫描范围从10 MHz提高到100 MHz;采用北斗/GPS时钟作为信号源的外部基准,频率精度达到0.03 ppm(1 ppm=10^(-6));采用电子学外差探测与自混频相结合的方案,将高频交流光电流信号解调出低频绝对距离信息,降低了环境噪声和电子学噪声。实验得到绝对距离测量结果9.8436 m,测量精度1.25 mm。该方法减小了设备时基频率误差对测量结果的影响,实现大尺度测量同时测距精度比先前的工作提高了一个数量级,具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 绝对距离测量 GPS/BDS 无光学干涉 时基校准
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偏振调制测距系统频率漂移误差及其补偿 被引量:9
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作者 高书苑 黎尧 +3 位作者 纪荣祎 石俊凯 胡哲文 周维虎 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期279-286,共8页
偏振调制测距方法中,频率测量的稳定性是影响测距精度的关键因素。为提高偏振调制测距系统中频率测量精度,提出一种双向扫频频率测量方法。分析了偏振调制测距原理及测频精度与测距精度的关系,探讨了频率漂移量的影响因素和频率漂移规律... 偏振调制测距方法中,频率测量的稳定性是影响测距精度的关键因素。为提高偏振调制测距系统中频率测量精度,提出一种双向扫频频率测量方法。分析了偏振调制测距原理及测频精度与测距精度的关系,探讨了频率漂移量的影响因素和频率漂移规律,证明调制深度和热致附加相位差是影响频率漂移的重要因素。利用正向扫频和反向扫频时频率漂移方向相反的特点,提出频率漂移误差补偿方法,可在低调制深度条件下补偿热致附加相位差引起的频率漂移。对距离为15.23m的目标进行测量,频率测量标准差从3.822 9×104 Hz减小到5.807 5×103 Hz,测距误差从7.513 7mm减小到0.866 7mm,验证了该方法的有效性。 展开更多
关键词 测量 绝对测距 漂移误差 误差补偿
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基于距离精度的测量机器人标定模型及算法 被引量:35
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作者 任永杰 邾继贵 +1 位作者 杨学友 叶声华 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第3期198-202,共5页
对机器人绝对位置误差进行检测和补偿时,通常要涉及到测量系统坐标系与机器人基础坐标系间的坐标变换,由于这个变换很难精确测定,从而导致测量机器人的绝对位置精度降低。为了克服这一情况,可改用空间两点间的距离精度来衡量机器人的绝... 对机器人绝对位置误差进行检测和补偿时,通常要涉及到测量系统坐标系与机器人基础坐标系间的坐标变换,由于这个变换很难精确测定,从而导致测量机器人的绝对位置精度降低。为了克服这一情况,可改用空间两点间的距离精度来衡量机器人的绝对位置精度,这样可简化测量过程。利用距离精度的定义,建立了机器人的距离误差模型,该模型可以避免坐标转换带来的误差,降低对测量系统的精度要求。同时,激光跟踪仪测试技术的应用,使得机器人的位姿测量变得非常容易。最后给出了此模型及算法在IRB2400机器人上的应用实例。 展开更多
关键词 计量学 测量机器人 绝对位置误差 距离精度 激光跟踪仪
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大尺寸绝对距离测量的现状及发展 被引量:10
10
作者 王林 赵洪志 +3 位作者 赵洋 曹芒 李达成 王佳 《光学技术》 EI CAS CSCD 1997年第2期47-49,共3页
大尺寸绝对距离测量技术是解决工业生产中大型零件高精度测量的重要手段。本文介绍了该技术的基本原理及国内外发展现状,并对影响测量精度的三个重要因素作了分析和讨论,并预言超短波X激光。
关键词 激光干涉仪 大尺寸测量 距离测量 绝对距离
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基于重采样技术的调频连续波激光绝对测距高精度及快速测量方法研究 被引量:18
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作者 孟祥松 张福民 曲兴华 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第23期35-41,共7页
调频连续波激光测距方法可以实现高精度的大尺寸绝对距离测量,且测量过程无需合作目标,在大空间坐标精密测量领域有很高的研究价值.而如何提高测量分辨率和实用化一直是近年来调频连续波激光绝对测距研究的热点.本文研究了调频连续波激... 调频连续波激光测距方法可以实现高精度的大尺寸绝对距离测量,且测量过程无需合作目标,在大空间坐标精密测量领域有很高的研究价值.而如何提高测量分辨率和实用化一直是近年来调频连续波激光绝对测距研究的热点.本文研究了调频连续波激光测距的原理,基于双光路调频连续波激光测距系统,提出了通过信号拼接提高测量分辨率的信号处理优化方案,该方案可以提高测距分辨率,且可以降低对激光器的性能要求;提出了可实现高速测量的简易测量方法.设计加工了双光路光纤调频连续波激光测距系统,利用该系统进行了测距分辨率及测距误差标定实验,实验结果表明:优化方案可以有效地提高测量分辨率和测量效率,在26 m测量范围内,测距分辨率达到了50μm,测距误差不超过100μm;快速测量方案有较高实用价值. 展开更多
关键词 连续激光调频 绝对测距 干涉测量
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基于OpenCV的双目测距系统 被引量:28
12
作者 王浩 许志闻 +2 位作者 谢坤 李杰 宋成璐 《吉林大学学报(信息科学版)》 CAS 2014年第2期188-194,共7页
为解决利用双目设备实现测距并使测距时间控制在毫秒级的问题,研究了摄像机标定、立体校正、极线约束下的块匹配和三维重建等关键技术。使用立体相机将拍摄多个角度的棋盘照片保存到计算机中进行角点检测和标定,以获得摄像机参数。使用B... 为解决利用双目设备实现测距并使测距时间控制在毫秒级的问题,研究了摄像机标定、立体校正、极线约束下的块匹配和三维重建等关键技术。使用立体相机将拍摄多个角度的棋盘照片保存到计算机中进行角点检测和标定,以获得摄像机参数。使用Bouguet标定立体校正算法、立体匹配使用块匹配方法。得到视差图后求出三维点云,进行三维重建,根据三角相似原理计算目标物体的距离。使用OpenCV2.4.3,在VS2010编译环境下,用VC++编程实现。该系统只需普通立体相机采集图像,成本低,与其他立体匹配方法相比,块匹配方案测距速度快且准确度满足应用的要求。 展开更多
关键词 开源计算机视觉库 块匹配 立体视觉 三维重建 测距
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激光精密测距技术进展 被引量:17
13
作者 王一帆 徐欣 谈宜东 《航天返回与遥感》 CSCD 北大核心 2021年第6期22-33,共12页
随着科学技术的发展和装备制造业的进步,人们对距离测量技术提出了更高的要求,特别是在大型精密机械制造和航空航天等领域,快速、准确地距离测量已成为科学实验和工业生产控制中至关重要的一步。据此,文章回顾了现有的激光精密测距技术... 随着科学技术的发展和装备制造业的进步,人们对距离测量技术提出了更高的要求,特别是在大型精密机械制造和航空航天等领域,快速、准确地距离测量已成为科学实验和工业生产控制中至关重要的一步。据此,文章回顾了现有的激光精密测距技术,介绍了脉冲飞行时间法、相位法、多波长干涉法、调频连续波法、飞秒光频梳法等绝对距离测量技术,以及激光三角法、激光干涉仪、自混合干涉法等相对距离测量技术,对工作原理、技术特点、应用范围和最新研究进展进行了汇总。 展开更多
关键词 精密测距 绝对距离测量 相对距离测量 激光技术 空间探测
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激光跟踪测距方法及其应用的研究 被引量:5
14
作者 谢驰 周肇飞 +1 位作者 蔡鹏 张涛 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1377-1381,共5页
针对大型工件的几何尺寸和形状的测量问题,研究了一种激光跟踪测距方法。由双模热稳频He-Ne激光器产生的双频信号,通过拍波后,以拍波波长作为"光尺",拍波零点对位确定拍波节点数,以同轴光路组合形成的双频激光干涉测量尾数。... 针对大型工件的几何尺寸和形状的测量问题,研究了一种激光跟踪测距方法。由双模热稳频He-Ne激光器产生的双频信号,通过拍波后,以拍波波长作为"光尺",拍波零点对位确定拍波节点数,以同轴光路组合形成的双频激光干涉测量尾数。跟踪定位采用自适应跟踪,控制跟踪反射镜沿水平轴和垂直轴的转动,定位信号由CCD采集入射光与出射光之间的偏移量。同时,驱动系统带动两个光栅编码盘输出跟踪反射镜转动的水平角度值和垂直角度值,实现空间尺寸测量。研究的激光跟踪测量系统具有抗干扰能力强,跟踪速度快,测量精度高的特点。 展开更多
关键词 光学 空间尺寸 激光跟踪 拍波测量 绝对测距
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基于飞秒激光器光学频率梳的绝对距离测量 被引量:8
15
作者 许艳 周维虎 +1 位作者 刘德明 丁蕾 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第8期79-83,89,共6页
提出使用飞秒激光器的光学频率梳测量绝对距离的方法。将一个飞秒激光器作为绝对距离测量的光源,搭建迈克尔逊干涉结构,利用色散干涉原理进行相应的光谱分析,得到干涉光路的光学路径差引起的相位差,最终计算出干涉光路的光学路径差。实... 提出使用飞秒激光器的光学频率梳测量绝对距离的方法。将一个飞秒激光器作为绝对距离测量的光源,搭建迈克尔逊干涉结构,利用色散干涉原理进行相应的光谱分析,得到干涉光路的光学路径差引起的相位差,最终计算出干涉光路的光学路径差。实验结果表明我们的长度测量方法精确度高,分辨力达到纳米量级。最小测量距离达到9μm,非模糊范围达到5.75mm。相对于传统白光色散干涉技术的有限测量范围,最大测量距离可以扩展到任意长度。 展开更多
关键词 绝对距离测量 飞秒激光器 光学频率梳 色散干涉
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一种新型多波长绝对距离干涉测量系统的研究 被引量:10
16
作者 梁晶 龙兴武 张斌 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期681-683,686,共4页
介绍了一种新型多波长绝对距离干涉测量系统。系统采用633nm的双纵模He-Ne激光器和629nm的He-Ne激光器,组成三级合成波长链对较大距离进行精密测量,并作了误差分析。系统采用高稳定度的声光晶体对各波长分别进行偏频,再用外差探测法测... 介绍了一种新型多波长绝对距离干涉测量系统。系统采用633nm的双纵模He-Ne激光器和629nm的He-Ne激光器,组成三级合成波长链对较大距离进行精密测量,并作了误差分析。系统采用高稳定度的声光晶体对各波长分别进行偏频,再用外差探测法测量出光束通过参考光路和测量光路后的位相差。简要介绍了629nm的He-Ne激光器的设计方案。 展开更多
关键词 激光干涉仪 绝对距离干涉术 多波长 相位测量
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半导体激光器自混合干涉绝对测距理论研究 被引量:9
17
作者 孙晓明 马军山 强锡富 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期274-278,共5页
本文采用半导体激光器的双镜腔等效模型,对基于自混合干涉效应的半导体激光绝对测距理论进行了研究,推导出完整的数学模型,与已取得的实验结果相吻合。在此基础上,提出了一种新的采用参考技术的绝对测距方法,理论分析表明,该方法... 本文采用半导体激光器的双镜腔等效模型,对基于自混合干涉效应的半导体激光绝对测距理论进行了研究,推导出完整的数学模型,与已取得的实验结果相吻合。在此基础上,提出了一种新的采用参考技术的绝对测距方法,理论分析表明,该方法可以提高系统的测距精度和抗干扰能力。对促进系统实用化具有重要意义。 展开更多
关键词 半导体激光器 自混合干涉 绝对测距 激光器
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基于外差检测原理的绝对测距性能理论研究 被引量:5
18
作者 王盟盟 董瑞芳 +2 位作者 项晓 刘涛 张首刚 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1861-1868,共8页
基于双光学频率梳外差原理测距将长模糊距离、高精度和高更新率3个关键测距特性完美结合,使测量性能能够满足航空航天、科学研究和工业生产等众多领域的需求。然而所使用的双光学频率梳的脉冲时域宽度、重复频率及相对差值、脉冲的固有... 基于双光学频率梳外差原理测距将长模糊距离、高精度和高更新率3个关键测距特性完美结合,使测量性能能够满足航空航天、科学研究和工业生产等众多领域的需求。然而所使用的双光学频率梳的脉冲时域宽度、重复频率及相对差值、脉冲的固有时间抖动等特性都将会影响测距的性能。对基于双光学频率梳外差原理测距进行了全面的理论分析,并数值模拟了数据脉冲宽度、双光学频率梳重复频率差、啁啾参量、定时噪声、脉冲类型等各因素对测距性能的影响。模拟结果在数值上验证了奈奎斯特采样定律对测距精度的显著影响,表明实验中数据脉冲宽度和重频差的选择应严格满足奈奎斯特采样定律;当飞秒脉冲序列存在一定的时间抖动时,重频差越小,测距性能越差;而脉冲的啁啾特性可转化为脉冲宽度的影响,随着啁啾的增大脉冲宽度被压窄,奈奎斯特采样频率对应的重频差临界值也会变小。通过上述数值分析,为研究人员在特定实验条件下优化测距性能提供了重要指导。 展开更多
关键词 绝对距离测量 光学频率梳 外差原理 测距性能模拟
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基于飞秒光学频率梳的大尺寸精密测距综述 被引量:4
19
作者 王国超 颜树华 +2 位作者 林存宝 邹鹏飞 杨东兴 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期670-677,共8页
飞秒光学频率梳的出现对时间频率技术和光谱学技术产生了深远重大的影响,由此衍生的飞秒光学频率梳绝对测距技术以其快速、大尺寸、高精度等优点已成为国际研究热点,并有望直接应用于大装备制造、激光雷达和卫星编队飞行等大尺寸精密测... 飞秒光学频率梳的出现对时间频率技术和光谱学技术产生了深远重大的影响,由此衍生的飞秒光学频率梳绝对测距技术以其快速、大尺寸、高精度等优点已成为国际研究热点,并有望直接应用于大装备制造、激光雷达和卫星编队飞行等大尺寸精密测距。在简要阐述飞秒光学频率梳的原理特性及主要应用的基础上,围绕光梳测距的发展历程及前沿方向,着重介绍了飞秒光梳精密测距近两年来的最新研究进展,并对该技术进行了总结和展望。 展开更多
关键词 光学测量 飞秒光学频率梳 重复频率 激光干涉 绝对距离
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超外差干涉绝对距离测量研究综述 被引量:4
20
作者 张存满 赵洋 李达成 《光学技术》 CAS CSCD 1998年第1期7-9,23,共4页
近几年来,基于多波长干涉理论的绝对距离测量技术取得了很大的进展。其中,超外差绝对距离干涉测量可以克服光学元件引起的模耦合误差,这是普通的外差干涉测量所不能避免的。超外差测量还能够实现合成波长相位的实时检测。本文简要介... 近几年来,基于多波长干涉理论的绝对距离测量技术取得了很大的进展。其中,超外差绝对距离干涉测量可以克服光学元件引起的模耦合误差,这是普通的外差干涉测量所不能避免的。超外差测量还能够实现合成波长相位的实时检测。本文简要介绍了多波长干涉测量(也叫小数重合法)的基本原理,论述和分析了超外差干涉测量的原理,指出了超外差测量的优点。最后,对超外差测量的方案进行了综述,并指出了它们在实际测量中的特点。 展开更多
关键词 绝对距离测量 超外差干涉仪 综述 测长系统
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