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四氯化硅制备三氯氢硅技术研究进展 被引量:3
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作者 郑静 苏国良 +2 位作者 黄国强 王国锋 潘金花 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2014年第11期14-18,20,共6页
阐述了多晶硅行业的生产背景和现状,概述了由四氯化硅和二氯二氢硅反歧化反应制备三氯氢硅的反歧化方法和四氯化硅氢化制备三氯氢硅的氢化方法,氢化方法主要包括热氢化法、低温催化氢化法、冷氢化法、氯氢化法、等离子体氢化法等,重点... 阐述了多晶硅行业的生产背景和现状,概述了由四氯化硅和二氯二氢硅反歧化反应制备三氯氢硅的反歧化方法和四氯化硅氢化制备三氯氢硅的氢化方法,氢化方法主要包括热氢化法、低温催化氢化法、冷氢化法、氯氢化法、等离子体氢化法等,重点归纳了新型氢化技术低温催化氢化法,并介绍了反歧化方法和多种氢化方法在多晶硅生产过程中的应用,通过对各种方法综合性的分类与讨论,指出了现存方法的优缺点,并对各种方法的应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 反歧化反应 氢化反应
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多晶硅纳米膜欧姆接触特性的研究 被引量:1
2
作者 崔虹云 张海丰 +3 位作者 吴云飞 李祖君 王超 董艳红 《黑龙江工程学院学报》 CAS 2013年第1期71-74,共4页
采用LPCVD和PECVD方法制作单层金属铝的多晶硅纳米膜欧姆接触,并用X射线对其表征,说明铝膜具有多晶结构。在温度为450℃的条件下,分别对5min、20min和40min的不同退火时间进行测试,得到在20min时Ⅰ-Ⅴ特性曲线表现出好的欧姆接触,构成... 采用LPCVD和PECVD方法制作单层金属铝的多晶硅纳米膜欧姆接触,并用X射线对其表征,说明铝膜具有多晶结构。在温度为450℃的条件下,分别对5min、20min和40min的不同退火时间进行测试,得到在20min时Ⅰ-Ⅴ特性曲线表现出好的欧姆接触,构成线性关系,方块电阻达1kΩ,与接触电阻率相吻合,传输长度变到15μm,接触电阻为30Ω,说明电流的传导能力变强。 展开更多
关键词 多晶硅纳米膜 欧姆接触 I—V特性
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聚醚改性乳液型硅油消泡剂的研制 被引量:2
3
作者 李娟 李林 张烨 《山东化工》 CAS 2012年第7期23-25,28,共4页
以二甲基硅油、消泡剂硅油、聚醚为原料,选用适宜的乳化剂,制成了兼有有机硅特性和聚醚特性的乳液型消泡剂,对硅油聚醚的配比、乳化剂的选择等对消泡效果有影响的因素进行了探讨。
关键词 消泡剂 二甲基硅油 消泡剂硅油 聚醚改性 乳液稳定性
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太阳能级多晶硅制备技术与发展方向 被引量:5
4
作者 李伟明 李永峰 吴艳光 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2010年第7期19-23,共5页
介绍了太阳能级多晶硅的制备技术,分析了国内外太阳能级多晶硅的供需状况,指出今后太阳能级多晶硅生产技术的研究方向和太阳能级多晶硅产业亟需解决的问题。
关键词 太阳能级多晶硅 制备技术 供需状况
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多晶硅薄膜晶体管中的晶粒间界电荷分享效应 被引量:1
5
作者 欧秀平 姚若河 吴为敬 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期796-799,816,共5页
通过对晶粒间界两侧耗尽区建立准二维模型,研究晶粒间界电荷分享效应对多晶硅薄膜晶体管阈值电压的影响。研究表明,考虑了晶粒间界电荷分享效应的阈值电压将变小,其中晶粒尺寸对阈值电压的影响最大。在此基础上,建立了多晶硅薄膜晶体管... 通过对晶粒间界两侧耗尽区建立准二维模型,研究晶粒间界电荷分享效应对多晶硅薄膜晶体管阈值电压的影响。研究表明,考虑了晶粒间界电荷分享效应的阈值电压将变小,其中晶粒尺寸对阈值电压的影响最大。在此基础上,建立了多晶硅薄膜晶体管的阈值电压解析模型。 展开更多
关键词 多晶硅 薄膜晶体管 晶粒间界 电荷分享效应
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水解酸化—厌氧—两级接触氧化工艺处理多晶硅废水中COD_(Cr) 被引量:1
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作者 董俊 刘鲁建 +3 位作者 吴靖霆 刘卫勇 王芳 张双峰 《化学与生物工程》 CAS 2012年第12期86-88,共3页
采用水解酸化—厌氧—两级接触氧化工艺处理多晶硅废水中CODCr,CODCr去除率达到95%以上,出水符合《污水综合排放标准》(GB 8978-1996)的一级排放标准。该工艺在进水营养单一的情况下,无需投加碳源,运行稳定,具有抗冲击负荷能力强、产泥... 采用水解酸化—厌氧—两级接触氧化工艺处理多晶硅废水中CODCr,CODCr去除率达到95%以上,出水符合《污水综合排放标准》(GB 8978-1996)的一级排放标准。该工艺在进水营养单一的情况下,无需投加碳源,运行稳定,具有抗冲击负荷能力强、产泥少、污泥处理费用低、运行成本低、管理简单等优点,经济效益和环境效益明显。 展开更多
关键词 多晶硅废水 水解酸化-厌氧-两级接触氧化工艺 CODCR
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多晶硅还原炉冷却水再利用技术 被引量:1
7
作者 尹玉晶 周万礼 《云南化工》 CAS 2014年第1期53-55,共3页
提出一种将多晶硅还原炉高温冷却水用于溴化锂机组驱动热源的余热回收利用方案,能够有效的将冷却水余热进行利用,可适当降低多晶硅生产成本。
关键词 高温冷却水 溴化锂机组 多晶硅还原炉
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多晶硅还原炉硅棒直径检测及生长过程研究 被引量:2
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作者 姜海明 曹忠 刘淑萍 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期169-170,172,共3页
还原炉是多晶硅生产的核心设备,在还原炉的运行控制中,硅棒直径是反应沉积效果的重要参数。笔者设计了一种硅棒直径检测方法,通过试用获得还原炉运行中硅棒直径检测数据,并综合各控制参数进行多晶硅棒生长过程的研究,其结论能够为还原... 还原炉是多晶硅生产的核心设备,在还原炉的运行控制中,硅棒直径是反应沉积效果的重要参数。笔者设计了一种硅棒直径检测方法,通过试用获得还原炉运行中硅棒直径检测数据,并综合各控制参数进行多晶硅棒生长过程的研究,其结论能够为还原炉运行优化提供参考依据。 展开更多
关键词 多晶硅 还原炉 硅棒直径 检测 生长过程
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