期刊文献+
共找到194篇文章
< 1 2 10 >
每页显示 20 50 100
Transformation optics for efficient calculation of transmembrane voltage induced on cells
1
作者 廖胤鸿 朱铧丞 +1 位作者 唐正明 黄卡玛 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第10期31-35,共5页
We present a novel efficient approach in calculating induced transmembrane voltage(ITV) on cells based on transformation optics. As cell membrane is much thinner than the dimension of a typical cell, discretizing th... We present a novel efficient approach in calculating induced transmembrane voltage(ITV) on cells based on transformation optics. As cell membrane is much thinner than the dimension of a typical cell, discretizing the membrane needs numerous meshes. Using an anisotropic medium based on transformation optics, the thickness of the membrane can be exaggerated by at least one order, which eliminates rigorous mesh refinement and reduces unknowns greatly. The accuracy and efficiency of the proposed method are verified by a cylindrical cell model. Moreover, the influence on ITV with bound water(BW) layers is also studied. The results show that when cells are exposed to nanosecond electric field, BW layers should be rigorously considered in calculating ITV. 展开更多
关键词 efficient calculation transmembrane voltage transformation optics anisotropic medium mem- brane bound water layer
原文传递
An experimental investigation on phenol wastewater treatment from coal gasification by pervaporation with NaY molecular Sieve filling membrane
2
作者 姚杰 何志茹 +4 位作者 雒安国 赵琪 邵泽辉 贾丽 李彪铭 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2012年第1期121-124,共4页
In the experiment,PDMS membrane with NaY molecular sieve filling were chosen as the experimental objects and the flux of phenol and removal efficiency of phenol as evaluation index,the effect of the system operating t... In the experiment,PDMS membrane with NaY molecular sieve filling were chosen as the experimental objects and the flux of phenol and removal efficiency of phenol as evaluation index,the effect of the system operating temperature,the flow rate,liquid membrane downstream pressure,operation time,and filling proportion of NaY molecular sieve on pervaporation treatment efficiency for wastewater from coal gasification were investigated. With the increase of temperature and feed flow rate,pervaporation flux and phenol removal efficiency increases. The decrease of the membrane downstream pressure and elevating NaY molecular sieve filling proportion may result in the increase of flux and then phenol removal efficiency improves. When NaY molecular sieve filling proportion is 45% ,treatment efficiency is the best for coal gasification wastewater containing 1850 mg/L phenol as the flux of phenol was 12948. 23 mg/(h·m2) . 展开更多
关键词 coal gasification wastewater PERVAPORATION PDMS membrane NaY molecular sieve filling mem- brane
下载PDF
镍铬硅薄膜换能元的制备及其发火性能研究
3
作者 任小明 姚洪志 +3 位作者 解瑞珍 刘红娥 王燕兰 王可暄 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期42-45,共4页
为了探索镍铬硅薄膜换能元的发火性能,采用MEMS工艺制备了镍铬硅薄膜换能元。利用扫描电子显微镜(SEM)和四探针法对镍铬硅薄膜进行了性能表征;依据GJB/Z 377B-2022感度实验中兰利法进行了镍铬硅薄膜换能元感度测试;在发火电压27 V、发... 为了探索镍铬硅薄膜换能元的发火性能,采用MEMS工艺制备了镍铬硅薄膜换能元。利用扫描电子显微镜(SEM)和四探针法对镍铬硅薄膜进行了性能表征;依据GJB/Z 377B-2022感度实验中兰利法进行了镍铬硅薄膜换能元感度测试;在发火电压27 V、发火电容33μF条件下对镍铬硅薄膜换能元进行了发火性能测试。结果表明:镍铬硅薄膜表面平整、致密性较好,且具有负电阻温度系数,其换能元平均发火电压比镍铬薄膜换能元高;镍铬硅薄膜换能元作用过程中产生等离子体,瞬发度高。 展开更多
关键词 薄膜换能元 镍铬硅 memS 性能表征 发火性能
下载PDF
内生真菌对宿主布顿大麦耐碱性的渗透调节和膜系统影响 被引量:1
4
作者 任改香 陈水红 +1 位作者 王凯 特木尔布和 《西北农业学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期280-286,共7页
为了研究带内生真菌(E+)和不带内生真菌(E-)布顿大麦(Hordeum bogdanii)的耐碱性,选择来源于新疆阿克苏温宿县的带内生真菌(E+)和不带内生真菌(E-)布顿大麦种子,先在培养皿中进行发芽,然后进行室内蛭石无土栽培,对其进行21 d的不同浓度... 为了研究带内生真菌(E+)和不带内生真菌(E-)布顿大麦(Hordeum bogdanii)的耐碱性,选择来源于新疆阿克苏温宿县的带内生真菌(E+)和不带内生真菌(E-)布顿大麦种子,先在培养皿中进行发芽,然后进行室内蛭石无土栽培,对其进行21 d的不同浓度混合碱胁迫处理,测定其渗透调节和膜系统变化。结果表明,在相同混合碱处理下,E-植株的相对电导率均显著高于E+植株(P<0.05),E+植株的细胞通透性弱于E-植株。在碱胁迫下E+植株的脯氨酸、可溶性糖和可溶性蛋白含量均显著高于E-植株(P<0.05)。内生真菌具有提高宿主渗透调节物质和降低膜损伤来提高布顿大麦抗碱的能力。 展开更多
关键词 内生真菌 布顿大麦 混合碱胁迫 渗透调剂 膜系统
下载PDF
MEMS材料力学性能的测试技术 被引量:45
5
作者 张泰华 杨业敏 +1 位作者 赵亚溥 白以龙 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2002年第4期545-562,共18页
微电子机械系统(MEMS)技术的迅速崛起,推动了所用材料微尺度力学性能测试技术的发展.首先按作用方式将实验分成压痕/划痕、弯曲、拉伸、扭转四大类,系统介绍检测MEMS材料微尺度力学性能的微型试样、测试方法及其实验结果.测试材料主... 微电子机械系统(MEMS)技术的迅速崛起,推动了所用材料微尺度力学性能测试技术的发展.首先按作用方式将实验分成压痕/划痕、弯曲、拉伸、扭转四大类,系统介绍检测MEMS材料微尺度力学性能的微型试样、测试方法及其实验结果.测试材料主要有硅、氧化硅、氮化硅和一些金属.实验结果主要包括基本的力学性能参数如弹性模量、残余应力、屈服强度、断裂强度和疲劳强度等.最后,简要分析了未来的发展需求. 展开更多
关键词 微电子机械系统 力学性能 纳米压痕/划痕 弯曲 材料 扭转
下载PDF
纳米压入法MEMS材料力学性能测量与评定标准化的初步设想 被引量:4
6
作者 赵则祥 王海容 蒋庄德 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期456-459,共4页
根据纳米压入法测量与评定MEMS材料力学性能的原理 ,对诸如测量仪器、压头、评定模型、测试条件等影响力学性能测量精确度、测量结果的可比性的主要因素进行了分析。在此基础上 。
关键词 memS材料 纳米压入法 力学性能 标准化 微电子机械系统
下载PDF
MEMS中薄膜热物性测试方法研究 被引量:3
7
作者 唐祯安 黄正兴 +1 位作者 顾毓沁 朱德忠 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第2期6-11,14,共7页
介绍关于薄膜热物性的测试方法 ,分析了各种方法的适用条件 ,并对一些方法所得的薄膜热物性作了汇总比较 。
关键词 memS 薄膜 物物性 测试方法 微电子机械系统
下载PDF
MEMS高g加速度传感器固有频率的优化及验证 被引量:7
8
作者 李平 石云波 +2 位作者 朱正强 杜康 刘俊 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期388-392,共5页
由于设计的MEMS高g加速度传感器固有频率低,导致测试过程中出现谐振现象。本文分析了传感器的特殊结构参数对固有频率的影响,提出了一种优化固有频率的方法。该方法通过减小质量块质量和优化梁厚度与长度的比例来调整传感器的固有频率,... 由于设计的MEMS高g加速度传感器固有频率低,导致测试过程中出现谐振现象。本文分析了传感器的特殊结构参数对固有频率的影响,提出了一种优化固有频率的方法。该方法通过减小质量块质量和优化梁厚度与长度的比例来调整传感器的固有频率,并通过理论仿真验证了该结构的固有频率从330 kHz提高到550 kHz,然后利用动态测试系统对优化前后的高g加速度传感器分别在20 000gn和150 000gn作用下测试输出信号。实验表明该优化方法提高了该类传感器结构的固有频率,明显消除了测试中的谐振现象。 展开更多
关键词 memS高g加速度传感器 固有频率 优化 谐振现象 动态测试
下载PDF
CVD制备3C-SiC及其应用于MEMS的研究进展 被引量:2
9
作者 严春雷 刘荣军 +2 位作者 曹英斌 张长瑞 张德坷 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第21期13-16,29,共5页
高温、强振、强腐蚀、高湿等恶劣环境中的监测和控制系统对MEMS(Microelectromechanical systems)提出了新的挑战。SiC具有化学惰性,高热导率及优良的力学、电学、高温性能,在MEMS技术中备受青睐,成为Si-MEMS体系极具竞争力的替代材料... 高温、强振、强腐蚀、高湿等恶劣环境中的监测和控制系统对MEMS(Microelectromechanical systems)提出了新的挑战。SiC具有化学惰性,高热导率及优良的力学、电学、高温性能,在MEMS技术中备受青睐,成为Si-MEMS体系极具竞争力的替代材料。综述了关于立方相碳化硅(3C-SiC)薄膜的化学气相沉积(CVD)制备方法,介绍了其力学、电学性能的最新研究进展,最后举例说明了3C-SiC薄膜在MEMS器件中应用的研究现状。 展开更多
关键词 立方相碳化硅薄膜 化学气相沉积 力学性能 电学性能 memS器件
下载PDF
废旧锂电池综合回收利用技术研究
10
作者 陈雨阳 刘勇 +3 位作者 周成乾 周勇 周洋 罗佳 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期103-108,共6页
为解决当前废旧磷酸铁锂电池造成的环境污染以及锂资源供不应求的问题,利用回收的废旧磷酸铁锂电池为原料,创新性地提出了一种双极膜的方法:酸浸所得Li_(2)SO_(4)经双极膜电渗析制备LiOH,进而获得精制Li_(2)CO_(3),最终制成电池级LiFePO... 为解决当前废旧磷酸铁锂电池造成的环境污染以及锂资源供不应求的问题,利用回收的废旧磷酸铁锂电池为原料,创新性地提出了一种双极膜的方法:酸浸所得Li_(2)SO_(4)经双极膜电渗析制备LiOH,进而获得精制Li_(2)CO_(3),最终制成电池级LiFePO_(4)正极材料。主要工艺包括磷酸铁锂电池破碎分选、黑粉浸出、料液除杂、磷酸铁以及磷酸铁锂的合成,从而获得Li_(2)CO_(3)、FePO_(4)主产品及铝粒、铜粒等副产物,并通过合成再生技术,获得了符合GB/T 30835—2014中Ⅰ级品标准的LiFePO_(4)正极材料。所制备LiFePO_(4)产品具有96%以上的首次库仑效率及94.5%以上的倍率性能。该工艺达到了节约LiFePO_(4)生产成本、实现可再生资源回收利用的目的。 展开更多
关键词 磷酸铁锂电池 回收利用 破碎分选 湿法冶金 双极膜 Li_(2)CO_(3)
原文传递
MEMS微器件用CoNiMnP永磁体薄膜的工艺制备和性能研究 被引量:2
11
作者 汪红 丁桂甫 +3 位作者 戴旭涵 苏宇锋 张永华 王志民 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1719-1722,共4页
研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜组成、磁性能的对比研究表明:从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co_(82.4) Ni_(11.9)Mn_(0.4)P_(5.3)永磁体薄膜具有... 研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜组成、磁性能的对比研究表明:从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co_(82.4) Ni_(11.9)Mn_(0.4)P_(5.3)永磁体薄膜具有最好的磁性能:H_c= 208790A/m,B_r=0.2T,(BH)_(max)=10.15kJ/m^3,且脆性小、内应力较低。进一步解析发现这可能是因为与易磁化轴相平行的Co(110)面上存在织构所致。在此基础上采用掩膜电沉积技术成功地制备出微继电器原位制造和电磁驱动器永磁体薄膜阵列。 展开更多
关键词 memS器件 CoNiMnP永磁体薄膜 磁性能 掩膜电沉积
下载PDF
MEMS材料力学性能的测试方法 被引量:11
12
作者 汤忠斌 徐绯 李玉龙 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期409-418,共10页
介绍国内外MEMS(micro-electro-mechanical system)材料力学性能的测试方法,包括纳米压痕法、薄膜打压法、梁弯曲试验、微拉曼光谱法、单轴拉伸法等。分析各种测试方法的优缺点、基本原理和最新进展。详细介绍单轴拉伸试验方法的试验原... 介绍国内外MEMS(micro-electro-mechanical system)材料力学性能的测试方法,包括纳米压痕法、薄膜打压法、梁弯曲试验、微拉曼光谱法、单轴拉伸法等。分析各种测试方法的优缺点、基本原理和最新进展。详细介绍单轴拉伸试验方法的试验原理、特点及发展现状,在此基础上介绍作者们在MEMS材料单轴拉伸试验方面的阶段性研究成果,包括单轴拉伸试样设计、夹具设计、加载方法及应变测量技术等。试样和夹具的设计采用有限元方法模拟不同形状参数试样的拉伸试验过程,确定试样的外形和尺寸。应变测量采用的是激光干涉应变计法(interference strain/displacement gauge,ISDG),并用所研制的微小试样拉伸试验机,成功测得多晶铜薄膜材料的应力—应变曲线。 展开更多
关键词 微电子机械系统 力学性能 薄膜 拉伸 激光干涉应变计法
下载PDF
一次性尿管联合人工破膜及催产素在足月妊娠产妇促宫颈成熟中的应用
13
作者 胡会平 杨敏 张志成 《海南医学》 CAS 2024年第17期2469-2473,共5页
目的研究一次性尿管联合人工破膜及催产素在足月妊娠产妇促宫颈成熟中的应用效果。方法回顾性分析2021年3月至2023年10月濮阳县人民医院收治的165例足月妊娠产妇的临床资料,按照不同催产方法分组,其中55例采用缩宫素催产产妇纳入A组,59... 目的研究一次性尿管联合人工破膜及催产素在足月妊娠产妇促宫颈成熟中的应用效果。方法回顾性分析2021年3月至2023年10月濮阳县人民医院收治的165例足月妊娠产妇的临床资料,按照不同催产方法分组,其中55例采用缩宫素催产产妇纳入A组,59例采用人工破膜+缩宫素催产产妇纳入B组,51例采用一次性尿管+人工破膜+缩宫素催产产妇纳入C组。比较三组产妇催产前及催产12 h的宫颈成熟度(Bishop评分);比较三组产妇促宫颈成熟有效率,以及催产至规律宫缩时间,第一产程、第二产程及第三产程时间,剖宫产及阴道分娩率和产妇的母婴结局。结果三组产妇催产12 h的Bishop评分均高于催产前,C组产妇Bishop评分为(8.92±1.53)分,明显高于B组的(7.72±1.24)分及A组的(6.75±0.81)分,B组产妇的Bishop评分高于A组,差异均有统计学意义(P<0.05);C组产妇的促宫颈成熟有效率为94.12%,明显高于B组的81.36%及A组的63.64%,B组产妇的促宫颈成熟有效率高于A组,差异均有统计学意义(P<0.05);C组产妇催产至规律宫缩时间、第一产程、总产程分别为(14.29±2.70)h、(5.27±0.74)h、(6.11±1.15)h,明显短于B组的(15.75±3.04)h、(6.60±0.83)h、(7.14±1.39)h及A组的(16.98±3.07)h、(7.81±1.24)h、(7.96±1.66)h,B组产妇的催产至规律宫缩时间、第一产程、总产程明显短于A组,差异均有统计学意义(P<0.05)。C组产妇的自然分娩率为88.24%,明显高于B组的71.19%及A组的50.91%,且B组明显高于A组,差异均有统计学意义(P<0.05);C组产妇产后尿潴留率明显低于B组及A组,差异均有统计学意义(P<0.05),但B组产妇与A组产妇产后尿潴留率比较差异无统计学意义(P>0.05);三组产妇产后的并发症总发生率及新生儿不良结局发生率比较差异均无统计学意义(P>0.05)。结论一次性尿管联合人工破膜及催产素对足月妊娠产妇促宫颈成熟效果显著,且能够缩短产程,提高自然分娩率,安全性高。 展开更多
关键词 足月妊娠 促宫颈成熟 一次性尿管 人工破膜 催产素 母婴结局
下载PDF
MEMS中Ni-W合金薄膜力学性能的研究 被引量:2
14
作者 刘瑞 汪红 +3 位作者 汤俊 毛胜平 陈辉 丁桂甫 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第8期46-48,共3页
研究了柠檬酸胺—1—羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中Ni-W的力学性能。通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试系统进行拉伸试验。结果表明:在Ni-W薄膜试样尺寸为5μm×50μm×100μm条... 研究了柠檬酸胺—1—羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中Ni-W的力学性能。通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试系统进行拉伸试验。结果表明:在Ni-W薄膜试样尺寸为5μm×50μm×100μm条件下,其杨氏模量约为100.4 GPa,抗拉强度为1.96 GPa,应变约为3.6%。 展开更多
关键词 微机电系统 Ni—W合金 电沉积 力学性能 拉伸试验
下载PDF
MEMS矢量水听器的温度特性及其补偿方法研究 被引量:2
15
作者 韩建军 张国军 +1 位作者 徐伟 张文栋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第7期1-3,11,共4页
文中以MEMS矢量水听器为研究对象,分析其温度特性,采用BP神经网络方法进行温度补偿。海水的温度范围为-2-30℃,在该范围内对水听器的温度特性进行测试。测试结果表明:随着温度的变化,MEMS矢量水听器产生温度漂移,使其灵敏度发生浮动,... 文中以MEMS矢量水听器为研究对象,分析其温度特性,采用BP神经网络方法进行温度补偿。海水的温度范围为-2-30℃,在该范围内对水听器的温度特性进行测试。测试结果表明:随着温度的变化,MEMS矢量水听器产生温度漂移,使其灵敏度发生浮动,这样严重制约了水听器的测量精度和应用范围。采用BP神经网络算法对水听器进行温度补偿,将水听器测量电压值和实时温度进行数据融合,削弱了环境温度的影响。补偿后,水听器的温度漂移显著降低,不同工作温度下的灵敏度曲线高度重合,灵敏度浮动不超过2 d B。 展开更多
关键词 memS 矢量水听器 温度特性 温度补偿 BP神经网络
下载PDF
一种MEMS薄膜材料的力学性能测试方法 被引量:2
16
作者 李雪萍 丁桂甫 +2 位作者 安藤妙子 式田光宏 佐藤一雄 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第2期85-87,91,共4页
介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法。其特点是微小试件两端固定,且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量,提高对准精度。整个机构以微细加工方法制成,硅类试件以干法蚀刻成型,金属类试件以电镀方法成型... 介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法。其特点是微小试件两端固定,且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量,提高对准精度。整个机构以微细加工方法制成,硅类试件以干法蚀刻成型,金属类试件以电镀方法成型,其余加载机构以湿法刻蚀制成。试验表明:使用此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验,获得多项力学性能参数,从而为MEMS器件设计和分析提供可靠的理论基础。 展开更多
关键词 微机电系统 力学性能 薄膜 拉伸试验
下载PDF
表面特性对棘齿型Knudsen泵气体分离特性影响的模拟研究
17
作者 韩峰 张志军 +1 位作者 张世伟 王晓伟 《真空》 CAS 2024年第3期13-19,共7页
Knudsen泵作为一种微型泵,在微机电系统(MEMS)中具有广泛应用。本文提出了一种具有不同表面反射系数的棘齿型Knudsen泵,通过直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法对该泵内He-Xe混合气体流动特性进行了数值模拟研究。结果表明:表面反射特性对Knud... Knudsen泵作为一种微型泵,在微机电系统(MEMS)中具有广泛应用。本文提出了一种具有不同表面反射系数的棘齿型Knudsen泵,通过直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法对该泵内He-Xe混合气体流动特性进行了数值模拟研究。结果表明:表面反射特性对Knudsen泵内的流场特性和气体分离特性影响巨大,不同的表面反射特性导致了Knudsen泵内不同的热驱流动机理;三角形倾斜边的α_(n)=σ_(t)=0时Knudsen泵内主要热驱流动为辐射流,有利于气体分离,而α_(n)=σ_(t)=1时Knudsen泵内主要热驱流动为热边缘流,对气体分离没有明显有利作用;三角形倾斜边的α_(n)=σ_(t)=0时He和Xe的速度和扩散速度在三角形棘齿上顶点附近差异最大,而α_(n)=σ_(t)=1时在三角形棘齿左侧顶点附近差异最大;越轻的气体流动速度和扩散速度越快。本文可为实际工程应用中微型气体分离装置的设计和生产提供理论依据。 展开更多
关键词 Knudsen泵 气体分离 表面特性 热驱流动 棘齿型微通道 DSMC方法 微机电系统(memS)
原文传递
翼状胬肉术后复发的危险因素及治疗的研究进展
18
作者 王佳琦 张亚琼 +2 位作者 万昊 孟雪雨 殷晖 《中国中医眼科杂志》 2024年第1期79-82,共4页
翼状胬肉是一种眼科常见病及多发病,术后复发是常见的问题之一,且多次复发可造成睑球粘连、结膜囊狭窄、眼球运动受限等严重并发症。近年来,翼状胬肉术后复发逐渐成为眼科医师关注的焦点。本文系统梳理了翼状胬肉术后复发的危险因素,包... 翼状胬肉是一种眼科常见病及多发病,术后复发是常见的问题之一,且多次复发可造成睑球粘连、结膜囊狭窄、眼球运动受限等严重并发症。近年来,翼状胬肉术后复发逐渐成为眼科医师关注的焦点。本文系统梳理了翼状胬肉术后复发的危险因素,包括全身及眼部危险因素,翼状胬肉自身相关危险因素,分子生物学、基因、病原微生物相关危险因素等;并阐述了减少翼状胬肉术后复发的治疗策略,如手术的选择,辅助药物、物理治疗策略,中医药治疗策略等。本研究可为眼科医师在临床实践中预防翼状胬肉复发提供一定参考。 展开更多
关键词 翼状胬肉 危险因素 复发 结膜瓣移植术 羊膜移植术
下载PDF
MEMS材料力学性能测试方法
19
作者 陈樟 苏伟 万敏 《微纳电子技术》 CAS 2007年第6期319-323,共5页
随着微机电系统(MEMS)的蓬勃发展,如何准确获得MEMS材料的力学性能参数成为当今研究的热点。由于尺度微小,试样的夹持、载荷的施加和测量、位移的测量等问题十分突出。本文对当今MEMS力学性能研究中一些典型的微测试方法,如纳米压痕法... 随着微机电系统(MEMS)的蓬勃发展,如何准确获得MEMS材料的力学性能参数成为当今研究的热点。由于尺度微小,试样的夹持、载荷的施加和测量、位移的测量等问题十分突出。本文对当今MEMS力学性能研究中一些典型的微测试方法,如纳米压痕法、单轴拉伸法、鼓膜法、微梁弯曲法及衬底曲率法等分别进行了阐述,详细介绍了这些方法的原理、优缺点以及可测得的力学性能参数。 展开更多
关键词 力学性能测试 微机电系统 纳米压痕 单轴拉伸 鼓膜
下载PDF
微机电系统(MEMS)中薄膜力学性能的研究
20
作者 陈光红 吴清鑫 +1 位作者 于映 罗仲梓 《中国仪器仪表》 2007年第5期49-51,共3页
主要介绍微机电系统(MEMS)中几种测量薄膜力学性能的方法,如纳米压入法、单轴拉伸法、基底弯曲法、微旋转结构法,比较了各种方法的优缺点。这对MEMS器件的设计与研究具有重要意义。
关键词 薄膜 力学性能 微旋转结构法 memS
下载PDF
上一页 1 2 10 下一页 到第
使用帮助 返回顶部