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Sialon/SiC复相材料的高温氧化行为 被引量:12
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作者 茹红强 张宁 +1 位作者 于佩志 孙旭东 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期417-419,共3页
研究了以粘土直接合成Sialon/SiC复相材料的氧化行为 ,以及Sialon相含量、氧化温度和氧化时间对氧化过程的影响· 结果表明 ,Sialon/SiC复相材料的氧化速度与温度成正比、与时间的平方根成正比·Sialon相的抗氧化性优于SiC相... 研究了以粘土直接合成Sialon/SiC复相材料的氧化行为 ,以及Sialon相含量、氧化温度和氧化时间对氧化过程的影响· 结果表明 ,Sialon/SiC复相材料的氧化速度与温度成正比、与时间的平方根成正比·Sialon相的抗氧化性优于SiC相· 这种材料的氧化反应是一种钝化反应 ,具有较好的抗氧化性 ,Sialon相含量的增加能提高材料的抗氧化性· 展开更多
关键词 β-sialon/sic 复相材料 高温氧化行为 抗氧化性
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黄河泥沙非传统资源制备O′-SiAlON/SiC耐火材料 被引量:4
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作者 程科 徐斌 +2 位作者 徐利华 张菡 刘明 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A02期369-372,共4页
利用黄河泥沙合成O′-SiAlON/SiC复相耐火材料,着重将胶态成型工艺应用到制备过程中,即利用注浆成型工艺制备坯体,使坯体结构更均匀,同时促进最终产物的生成。探索了注浆成型中各工艺参数对坯体性能的影响,利用正交实验对注浆成型工艺... 利用黄河泥沙合成O′-SiAlON/SiC复相耐火材料,着重将胶态成型工艺应用到制备过程中,即利用注浆成型工艺制备坯体,使坯体结构更均匀,同时促进最终产物的生成。探索了注浆成型中各工艺参数对坯体性能的影响,利用正交实验对注浆成型工艺参数进行了优化设计,并得到最佳工艺参数,在此工艺条件下制备的坯体密度最高(1.86 g/cm^3)。最终在较低的烧结温度下制备出O′-SiAlON/SiC复相耐火材料,该材料具有相对较高的O′-SiAlON/SiC比及较少的杂质相含量。 展开更多
关键词 注浆成型 O'-sialon/sic 黄河泥沙 非传统资源
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Sialon/SiC复相材料的组织与性能 被引量:3
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作者 茹红强 张宁 孙旭东 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期550-552,共3页
研究了利用粘土、SiC为主要原料 ,直接合成的Sialon/SiC复相耐火材料的相组成和显微组织 ,并研究了材料中Sialon含量对复相材料的密度、抗折强度、耐压强度和热震稳定性的影响·结果表明 ,复相材料的抗折强度和耐压强度均随Sialon... 研究了利用粘土、SiC为主要原料 ,直接合成的Sialon/SiC复相耐火材料的相组成和显微组织 ,并研究了材料中Sialon含量对复相材料的密度、抗折强度、耐压强度和热震稳定性的影响·结果表明 ,复相材料的抗折强度和耐压强度均随Sialon相含量的增加而增加 ,最大抗折强度为87 6MPa ,最大耐压强度为 193MPa ;材料的体积密度随材料中Al2 O3 残余相含量的增加而增加 ,材料的最大体积密度为 2 6 5 g/cm3;材料的热震稳定性随Sialon相含量的增加而下降 ;材料的显微组织为Sialon和Al2 O3 形成的连续基质相包裹着SiC颗粒的显微复合组织· 展开更多
关键词 粘土 直接合成工艺 sialon/sic 复相耐火材料 组织 性能 碳化硅
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SiC加入量对Sialon/SiC复合陶瓷显微组织的影响 被引量:5
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作者 张阳 韩亚苓 +2 位作者 王辰 白兴亮 吴哲 《中国陶瓷》 CSCD 北大核心 2015年第2期37-40,共4页
以Al2O3、Si3N4和Al N为基础,加入Si C、Y2O3,在常压氮气保护条件下完成Sialon陶瓷的烧结。通过对烧结后陶瓷的致密度、电镜照片及能谱分析来判断Si C加入量对Sialon显微组织的影响。研究结果表明,适量加入Si C有助于Sialon柱状晶的形成... 以Al2O3、Si3N4和Al N为基础,加入Si C、Y2O3,在常压氮气保护条件下完成Sialon陶瓷的烧结。通过对烧结后陶瓷的致密度、电镜照片及能谱分析来判断Si C加入量对Sialon显微组织的影响。研究结果表明,适量加入Si C有助于Sialon柱状晶的形成;相同温度下Si C加入量过高会降低Sialon陶瓷的致密度。 展开更多
关键词 sialon陶瓷 sic 柱状晶 致密度
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SiC_P含量对β-SiAlON/SiC纳米复相陶瓷的影响 被引量:1
5
作者 陈连发 陈悦 +1 位作者 强亮生 张明福 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2016年第2期147-151,共5页
为了研究SiC颗粒对β-SiAlON/SiC纳米复相陶瓷的作用及影响,以β-Si_3N_4,Al_2O_3及AlN作为形成β-SiAlON相的主要原料,以SiC颗粒为第二相,加入Y_2O_3作为烧结助剂,采用冷等静压成型及无压烧结工艺制备了β-SiAlON/SiC纳米复相陶瓷。利... 为了研究SiC颗粒对β-SiAlON/SiC纳米复相陶瓷的作用及影响,以β-Si_3N_4,Al_2O_3及AlN作为形成β-SiAlON相的主要原料,以SiC颗粒为第二相,加入Y_2O_3作为烧结助剂,采用冷等静压成型及无压烧结工艺制备了β-SiAlON/SiC纳米复相陶瓷。利用XRD分析试样相组成,用SEM观察试样显微组织形貌,用EDS分析试样的元素组成。结果表明:SiC_P含量为5wt.%时,试样具有较高的密度及较低的失重率。随着SiC_P含量的增加,试样的径向收缩率和轴向收缩率均呈逐渐下降趋势;β-SiAlON相的z值从1变化至4,且逐步提高;β-SiAlON柱状晶的直径逐渐下降。 展开更多
关键词 Β-sialon 柱状晶 显微组织 无压烧结
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α-SiAlON/SiCnp复合材料在室温和高温下的显微结构与力学性能
6
作者 蒋丹宇 施剑林 +2 位作者 张骋 来亭荣 严东生 《材料科学与工程》 CSCD 1998年第4期14-21,共8页
本文采用机械混合Si3N4,AlN,Al2O3,Dy2O3和纳米β-SiC粉料,通过热压烧结,制备了10wt%纳米SiC颗粒增强α-SiAlON复合材料。力学性能测试表明,在室温时复合材料的维氏硬度,压痕断裂韧性和三... 本文采用机械混合Si3N4,AlN,Al2O3,Dy2O3和纳米β-SiC粉料,通过热压烧结,制备了10wt%纳米SiC颗粒增强α-SiAlON复合材料。力学性能测试表明,在室温时复合材料的维氏硬度,压痕断裂韧性和三点弯曲强度比单相α-SiAlON略高。但复合材料的三点弯曲强度可以保持到1000℃,其值为这时单相α-SiAlON的两倍。断口形貌表明复合材料的晶粒尺寸比单相α-SiAlON的小,这两种材料的室温断裂方式均以穿晶断裂为主。研究表明,低粘度的玻璃相是造成单相α-SiAlON高温性能下降的主要原因,而纳米SiC的加入可以促使晶界相结晶,从而使复合材料的高温性能维持到较高的温度。 展开更多
关键词 sialon sicnp 复合材料 力学性能 显微结构
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多种廉价非金属资源原位合成O'-Sialon/SiC 复合材料
7
作者 王体壮 徐利华 +3 位作者 连芳 徐斌 夏雯 周园 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期363-366,共4页
对碳热还原氮化合成O'-Sialon/SiC复合材料进行热力学分析,以我国山西大同土、湖南陶土和长江沙等区域性非金属资源为对象,设计技术路线并进行烧结合成.结果表明当温度达1723 K并继续升温时,SiC相含量增加而O'相含量降低;而在17... 对碳热还原氮化合成O'-Sialon/SiC复合材料进行热力学分析,以我国山西大同土、湖南陶土和长江沙等区域性非金属资源为对象,设计技术路线并进行烧结合成.结果表明当温度达1723 K并继续升温时,SiC相含量增加而O'相含量降低;而在1773 K大同土试样中O'相和SiC相的总量达85%以上(碳含量为化学计量时);SEM微观形貌表明具有一定长径比的Sialon柱晶与细小SiC颗粒均匀分布.原位烧结中晶粒生长机制符合金斯特林格动力方程,温度是控制传质的主要因素. 展开更多
关键词 sialon sic 原位合成 廉价非金属资源
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Sialon/SiC复相耐火材料中Sialon相Z值的控制
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作者 茹红强 于佩志 +1 位作者 赵卫娟 张宁 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 2000年第z1期163-164,共2页
研究了利用SiC为主要原料,粘土等为辅助原料直接合成Sialon/SiC复相耐火材料中Sialon相的Z值控制问题.结果表明,在一定的反应温度下,Sialon相Z值随辅助原料中Al、Si质量比的增加而增加,文中还对实验结果进行了分析讨论.
关键词 Sialo/sic 复相耐火材料 sialon相的Z值
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In-situ Synthesis and Oxidation Resistance of Sialon/SiC Composite Ceramics Applied as Solar Absorber
9
作者 Xu Xiaohong Xu WANGDongbin +2 位作者 RAO Zhenggang WU Jianfeng ZHOU Yang 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2021年第1期6-12,共7页
Sialon/SiC composites were synthesized in situ from SiC,α-Si_(3)N_(4),AlN,calcined bauxite,quartz and Y_(2)O_(3) via layered buried sintering at different temperatures (1 540-1 640 ℃).The results showed that the O’... Sialon/SiC composites were synthesized in situ from SiC,α-Si_(3)N_(4),AlN,calcined bauxite,quartz and Y_(2)O_(3) via layered buried sintering at different temperatures (1 540-1 640 ℃).The results showed that the O’-sialon/SiC sample with 60 wt% silicon carbide sintered at 1 600 ℃ exhibited excellent mechanical properties,with apparent porosity of 16.01%,bulk density of 2.06 g·cm^(-3),bending strength of 52.63 MPa,and thermal expansion coefficient of 5.83×10-6 ℃^(-1).The oxide film formed on the surface was linked closely to O’-sialon,so the oxide film was not easily broken.After 100 h oxidization,the sample surface was smoother and denser,with oxidation weight gain rate 23.6 mg/cm^(2) and oxidation rate constant 2.0 mg^(2)·cm^(-4)·h^(-1).Therefore,the sample had the excellent high-temperature oxidation resistance.It was confirmed that the in-situ sialon/SiC composites could be a promising candidate for solar absorber owing to its high-temperature oxidation resistance. 展开更多
关键词 sialon/sic composites high-temperature oxidation resistance solar absorber
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不同气氛下烧结的α-Sialon/SiC_(w)复合材料
10
作者 许钫钫 温树林 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期320-326,共7页
本工作运用透射电子显微镜(TEM)对N2以及N2+CO两种不同气氛下制备α-Sialon/SiC(W)复合材料的显微结构进行了观察.实验揭示了两种复合材料具有明显不同的相界结构:N2气氛下制备的材料中,基体与晶须间的界面结合牢固;而在N2... 本工作运用透射电子显微镜(TEM)对N2以及N2+CO两种不同气氛下制备α-Sialon/SiC(W)复合材料的显微结构进行了观察.实验揭示了两种复合材料具有明显不同的相界结构:N2气氛下制备的材料中,基体与晶须间的界面结合牢固;而在N2+CO气氛下,由于CO气体与SiC晶须表面发生化学反应生成SiO2;导致相界面上渗入一层很厚的玻璃相.两种相界结构均导致材料性能的下降.本工作提出了改进α-Sialon/SiC(w)复合材料显微结构的几个可能的途径. 展开更多
关键词 复合材料 烧结气氛 相界面 碳化硅晶须 增韧
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逐步回归分析在制备β-Sialon/SiC复合材料中的应用
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作者 张海军 刘战杰 +1 位作者 韩波 杨道媛 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期361-364,共4页
以γ-Al2O3粉、金属硅粉、金属铝粉、SiC颗粒与细粉为原料,通过反应烧结的方法制备了β-Sialon/SiC复合材料;采用逐步回归分析方法对复合材料坯体的体积密度与原料的颗粒配比之间的关系进行了研究,得到了回归效果良好的数学模型,验证实... 以γ-Al2O3粉、金属硅粉、金属铝粉、SiC颗粒与细粉为原料,通过反应烧结的方法制备了β-Sialon/SiC复合材料;采用逐步回归分析方法对复合材料坯体的体积密度与原料的颗粒配比之间的关系进行了研究,得到了回归效果良好的数学模型,验证实验表明回归方程的预报结果与实验值相当接近,回归方程可用于β-Sialon/SiC复合材料常温物理性能的预报. 展开更多
关键词 β-sialon/sic 复合材料 反应烧结 逐步回归分析
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外加剂对Sialon/SiC复合材料结构的影响
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作者 杜皎 王志义 《山东陶瓷》 CAS 2011年第1期11-13,共3页
本文以α-Al2O3微粉、金属硅粉、金属铝粉、SiC颗粒制备了Sialon/SiC复合材料,研究了不同外加剂对Sialon/SiC材料结构的影响。结果表明:制备的Sialon-SiC复合材料样品显微结构以SiC为主晶相,Sialon为次晶相,还有少量Si3N4和Al2O3,Sialo... 本文以α-Al2O3微粉、金属硅粉、金属铝粉、SiC颗粒制备了Sialon/SiC复合材料,研究了不同外加剂对Sialon/SiC材料结构的影响。结果表明:制备的Sialon-SiC复合材料样品显微结构以SiC为主晶相,Sialon为次晶相,还有少量Si3N4和Al2O3,Sialon相晶体呈长剑状;外加Si3N4试样Sialon相为板带状,外加粘土试样Sialon相晶体呈现不规则粒状和短柱状。 展开更多
关键词 复合材料 sialon sic
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β-Sialon的含量对β-Sialon/SiC复相陶瓷热膨胀性能的影响
13
作者 劳新斌 江伟辉 +3 位作者 梁健 吴倩 徐笑阳 李亚格 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2019年第5期681-685,共5页
以SiC、Si粉、Al粉和a-Al2O3为原料,经1550℃氮气氛烧成制备了β-Sialon/SiC复相陶瓷,并研究了β-Sialon的含量对热膨胀性能的影响。结果表明,提高P-Sialon的含量对降低热膨胀系数(室温~1000℃)的效果十分显著,其中β-Sialon/SiC质量比... 以SiC、Si粉、Al粉和a-Al2O3为原料,经1550℃氮气氛烧成制备了β-Sialon/SiC复相陶瓷,并研究了β-Sialon的含量对热膨胀性能的影响。结果表明,提高P-Sialon的含量对降低热膨胀系数(室温~1000℃)的效果十分显著,其中β-Sialon/SiC质量比为70:30的样品获得了最低的热膨胀系数,为3.49×10^-60℃;样品的吸水率、气孔率也随着β-Sialon含量的增加而逐渐降低,而体积密度逐渐上升;随着β-Sialon含量的提高,β-Sialon晶粒由颗粒状转变为棒状。 展开更多
关键词 Β-sialon sic 复相陶瓷 热膨胀系数
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SiO_(2)微粉加入量对β-SiAlON-SiC材料性能的影响
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作者 曹会彦 郑翰 +3 位作者 钱凡 吴吉光 万龙刚 马昭阳 《耐火材料》 CAS 北大核心 2023年第2期121-124,共4页
在保证承烧锂电池三元正极材料匣钵用β-SiAlON-SiC材料抗碱性的前提下,以SiC颗粒和细粉、Si粉、Al粉、α-Al_(2)O_(3)微粉等为原料,采用高温氮化法制备β-SiAlON-SiC材料,研究了SiO_(2)微粉加入量(外加质量分数分别为0、1%、2%、3%)对... 在保证承烧锂电池三元正极材料匣钵用β-SiAlON-SiC材料抗碱性的前提下,以SiC颗粒和细粉、Si粉、Al粉、α-Al_(2)O_(3)微粉等为原料,采用高温氮化法制备β-SiAlON-SiC材料,研究了SiO_(2)微粉加入量(外加质量分数分别为0、1%、2%、3%)对β-SiAlON-SiC材料的显气孔率、体积密度、常温抗折强度、高温抗折强度、物相组成、抗碱性的影响。结果表明:1)在β-SiAlON-SiC材料中添加SiO_(2)微粉可以降低其显气孔率,显著提高其常温抗折强度和高温抗折强度;2)添加SiO_(2)微粉不会影响Si粉和Al粉的氮化效果,但会影响Al_(2)O_(3)在Si_(3)N_(4)中的固溶度和β-SiAlON的生成量;3)SiO_(2)微粉的最优添加量为1%(w),所得试样的抗碱性明显优于未添加SiO_(2)微粉试样的。 展开更多
关键词 Β-sialon sic SiO_(2)微粉 抗碱性 正极材料 匣钵
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316L不锈钢掺杂SiC环状同轴送粉TIG熔覆层组织结构与性能 被引量:1
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作者 高辉 周灿丰 +1 位作者 胡晓慧 李文龙 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期49-56,I0006,共9页
TIG熔覆是经济高效的表面修复方法,与传统的预置粉末法相比,同轴送粉法具有优良的适应性,但是试验研究相对较少.自主设计制造了环状同轴送粉TIG熔覆焊枪,与管状同轴送粉TIG熔覆焊枪相比,制造的熔覆层不存在熄弧位置凹坑、焊缝不够平直... TIG熔覆是经济高效的表面修复方法,与传统的预置粉末法相比,同轴送粉法具有优良的适应性,但是试验研究相对较少.自主设计制造了环状同轴送粉TIG熔覆焊枪,与管状同轴送粉TIG熔覆焊枪相比,制造的熔覆层不存在熄弧位置凹坑、焊缝不够平直以及焊缝熔宽不一致等问题,而且具有更高的熔覆效率.结果表明,采用优化的焊接热输入、送粉量和SiC含量参数匹配,在316L不锈钢表面进行环状同轴送粉TIG熔覆,获得了外观优良的单层单道熔覆层、单层多道熔覆层.对熔覆层进行显微硬度测量、微观组织及元素成分分析、宏观电化学腐蚀试验、微区电化学腐蚀试验以及耐磨性能测试,并与母材进行了比对,环状同轴送粉TIG熔覆导入的SiC粉末有效地提升了熔覆层的耐蚀性与耐磨性. 展开更多
关键词 环状同轴送粉TIG熔覆 316L不锈钢 掺杂sic 耐蚀性 耐磨性
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SiC/SiC复合材料层板低速冲击及其剩余强度试验研究
16
作者 吴军 徐培飞 +2 位作者 荆瑞 张大海 费庆国 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期51-60,共10页
高速飞行器中的陶瓷基复合材料结构在服役过程中不可避免地会遇到低速冲击问题,低速冲击后的损伤形式以及剩余承载能力是影响飞行器结构安全的关键问题。本研究以二维编织SiC/SiC复合材料板件为研究对象,在不同能量下开展了低速冲击试验... 高速飞行器中的陶瓷基复合材料结构在服役过程中不可避免地会遇到低速冲击问题,低速冲击后的损伤形式以及剩余承载能力是影响飞行器结构安全的关键问题。本研究以二维编织SiC/SiC复合材料板件为研究对象,在不同能量下开展了低速冲击试验,分析了低速冲击载荷下试验件的表面损伤状态,通过计算机断层扫描技术观察了试验件内部的损伤形貌,结合冲击过程中的冲击响应曲线以及应变历史曲线,分析了SiC/SiC复合材料低速冲击过程的损伤机理。针对含勉强目视可见损伤的试验件开展了冲击后剩余强度试验,研究了勉强目视可见损伤对SiC/SiC复合材料剩余承载性能的影响。结果表明,在低速冲击载荷的作用下,试验件的表面损伤主要包括无表面损伤、勉强目视可见损伤、半穿透损伤以及穿透损伤,试验件的内部损伤主要有锥形体裂纹、纱线断裂以及分层损伤。低速冲击损伤会严重影响SiC/SiC复合材料的剩余性能,虽然试验件损伤勉强目视可见,但其剩余压缩强度为无损件81%,剩余拉伸强度仅为无损件的68%。 展开更多
关键词 sic/sic 陶瓷基复合材料 低速冲击 损伤特性 剩余强度
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SiC_(f)/Ti65复合材料的拉伸行为研究
17
作者 孟凡玲 刘范凯 +1 位作者 杨丽娜 王玉敏 《热加工工艺》 北大核心 2024年第12期34-40,共7页
采用磁控溅射先驱丝法结合热等静压工艺制备SiC_(f)/Ti65复合材料,研究了SiC_(f)/Ti65复合材料室温、高温拉伸行为,揭示了SiC_(f)/Ti65复合材料拉伸断裂机制。研究结果表明:SiC_(f)/Ti65复合材料的室温、高温抗拉强度相比于Ti65合金的... 采用磁控溅射先驱丝法结合热等静压工艺制备SiC_(f)/Ti65复合材料,研究了SiC_(f)/Ti65复合材料室温、高温拉伸行为,揭示了SiC_(f)/Ti65复合材料拉伸断裂机制。研究结果表明:SiC_(f)/Ti65复合材料的室温、高温抗拉强度相比于Ti65合金的抗拉强度分别提升29%和164%,验证了复合材料的增强效果。SiC_(f)/Ti65复合材料的室温拉伸断裂机制为反应层断裂、纤维/基体界面脱粘、基体脆性断裂、纤维断裂、包套韧性断裂;高温断裂机制为反应层断裂、纤维/基体界面脱粘、纤维断裂、W/SiC界面脱粘、基体和包套韧性断裂。 展开更多
关键词 复合材料 拉伸性能 sic纤维 断裂机制
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高压大功率SiC MOSFETs短路保护方法
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作者 汪涛 黄樟坚 +3 位作者 虞晓阳 张茂强 骆仁松 李响 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期1583-1595,共13页
碳化硅(SiC)MOSFETs短路承受能力弱,研究其短路保护方法成为保障电力电子设备安全运行的重要课题。现有方法大多围绕低压小功率SiC MOSFETs,然而随着电压和功率等级的提升,器件特性有所差异,直接套用以往设计难以实现高压大功率SiC MOSF... 碳化硅(SiC)MOSFETs短路承受能力弱,研究其短路保护方法成为保障电力电子设备安全运行的重要课题。现有方法大多围绕低压小功率SiC MOSFETs,然而随着电压和功率等级的提升,器件特性有所差异,直接套用以往设计难以实现高压大功率SiC MOSFETs的快速、可靠保护。该文首先详细研究了几种常用短路检测方法;其次基于高压大功率SiC MOSFETs器件特性,深入对比分析了不同短路检测方法的适用性,提出一种阻容式漏源极电压检测和栅极电荷检测相结合的短路保护方法;最后搭建了实验平台验证所提方法的可行性。结果表明,提出的方法在硬开关短路故障(hard switching fault,HSF)下,保护响应时间缩短了1.4μs,短路能量降低了62.5%;且能可靠识别负载短路故障(fault under load,FUL)。 展开更多
关键词 sic MOSFETs 高压大功率 短路保护 器件特性 漏源极电压 栅极电荷
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高灵敏度SiC动态高温压力传感器仿真研究 被引量:1
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作者 李强 梁庭 +2 位作者 雷程 李永伟 周行健 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第1期62-64,68,共4页
为了提高碳化硅(SiC)动态高温压力传感器的灵敏度,采用p型SiC材料,同时对传感器的敏感单元的不同结构———方膜和圆膜,利用Ansys软件进行了静力学仿真与分析,并完成了敏感芯片的尺寸设计。仿真结果表明:优化后的传感器输出灵敏度为14.2... 为了提高碳化硅(SiC)动态高温压力传感器的灵敏度,采用p型SiC材料,同时对传感器的敏感单元的不同结构———方膜和圆膜,利用Ansys软件进行了静力学仿真与分析,并完成了敏感芯片的尺寸设计。仿真结果表明:优化后的传感器输出灵敏度为14.2μV/(V·kPa)。在100~600℃内非线性误差小于1.53%。动态仿真表明:传感器的固有频率为481kHz,传感器可以在160kHz高频环境中安全工作,该结果为进一步制备SiC高温压力传感器奠定了理论支撑。 展开更多
关键词 碳化硅 高温压力传感器 有限元分析 高灵敏度
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化学气相沉积SiC涂层反应特性及沉积过程的模拟研究
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作者 高恒蛟 曹生珠 +6 位作者 张凯锋 丁旭 刘同 李毅 李坤 成功 熊玉卿 《真空与低温》 2024年第1期98-104,共7页
借助基于有限元原理的COMSOL软件和分子动力学模拟原理的Reax FF软件对化学气相沉积技术制备SiC涂层的反应特性及沉积过程进行模拟研究,为高温抗氧化复合涂层体系中SiC中间层的工艺优化及制备提供理论支持。结果表明,化学气相沉积SiC涂... 借助基于有限元原理的COMSOL软件和分子动力学模拟原理的Reax FF软件对化学气相沉积技术制备SiC涂层的反应特性及沉积过程进行模拟研究,为高温抗氧化复合涂层体系中SiC中间层的工艺优化及制备提供理论支持。结果表明,化学气相沉积SiC涂层过程包括前驱体三氯甲基硅烷(CH_(3)SiCl_(3))的扩散过程和热解反应过程,SiC涂层在扩散过程不会生长,仅从10^(−4)s后的热解反应过程开始生长,沉积生长过程同时伴随涂层的解离。随着入射粒子能量的增大,单位时间内沉积到基底表面的Si和C粒子数不断增加。提高粒子入射能量有利于提高SiC涂层的致密度,当入射粒子能量大于2 eV时可以实现SiC涂层的均匀生长,而当入射能量高于6 eV时,解离的Si和C粒子数量增大,不利于SiC涂层的生长。综合而言,当入射能量为3 eV时,化学气相沉积的SiC涂层综合性能最佳。 展开更多
关键词 CVD sic涂层 反应特性 生长过程 入射能量
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