期刊导航
期刊开放获取
重庆大学
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
一种提高热氧化均匀度的方法
1
作者
张霞
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第7期884-888,共5页
分析了在采用内燃结构进行氢氧合成氧化过程中 ,造成氧化层厚度不均匀的原因 .根据流体力学和热传导理论 ,设计了解决这一问题的半封闭式炉管结构氧化方法和相关的匀流隔热散热装置 .实验结果表明 ,此方法简单易行 ,能够有效改善氢氧合...
分析了在采用内燃结构进行氢氧合成氧化过程中 ,造成氧化层厚度不均匀的原因 .根据流体力学和热传导理论 ,设计了解决这一问题的半封闭式炉管结构氧化方法和相关的匀流隔热散热装置 .实验结果表明 ,此方法简单易行 ,能够有效改善氢氧合成氧化的均匀度 。
展开更多
关键词
热氧化
均匀度
热传导
匀流隔热散热装置
EEACC
7850G
6855
4725Q
下载PDF
职称材料
题名
一种提高热氧化均匀度的方法
1
作者
张霞
机构
北京广播学院光电子学系
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第7期884-888,共5页
文摘
分析了在采用内燃结构进行氢氧合成氧化过程中 ,造成氧化层厚度不均匀的原因 .根据流体力学和热传导理论 ,设计了解决这一问题的半封闭式炉管结构氧化方法和相关的匀流隔热散热装置 .实验结果表明 ,此方法简单易行 ,能够有效改善氢氧合成氧化的均匀度 。
关键词
热氧化
均匀度
热传导
匀流隔热散热装置
EEACC
7850G
6855
4725Q
Keywords
oxidation
heat
conduction
uniformity
structure of heat disturbing
,
distributing and isolating
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种提高热氧化均匀度的方法
张霞
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部