期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到10篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
用虚光栅移相莫尔条纹法测量光学元件的角度偏差 被引量：5
1
作者 武旭华 陈磊 孙娇芬 《计量学报》 CSCD 北大核心 2006年第3期221-223,共3页
引入一种处理静态干涉图的新方法———虚光栅移相莫尔条纹法,详细介绍了此方法的原理。它是一种基于虚光栅技术、移相技术和莫尔技术的载频图像处理方法,用这种方法处理一幅加有载频的干涉图时,可以实现干涉条纹移相的效果,且没有移相... 引入一种处理静态干涉图的新方法———虚光栅移相莫尔条纹法,详细介绍了此方法的原理。它是一种基于虚光栅技术、移相技术和莫尔技术的载频图像处理方法,用这种方法处理一幅加有载频的干涉图时,可以实现干涉条纹移相的效果,且没有移相误差。以玻璃立方体楔角为例,介绍了虚光栅移相莫尔条纹法在光学元件的角度偏差测试方面的应用,给出了实验结果,并与ZYGO的测试结果进行比对,结果吻合,从而证实了这种方法的可行性。测量精度可达到0.1″,因此可应用于对角规精度的标定。 展开更多
关键词 计量学 移相莫尔条纹 虚光栅 角度偏差 干涉图 图像处理
下载PDF
用短相干光源测量平行平板玻璃的光学均匀性 被引量：3
2
作者 王军 陈磊 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2515-2519,共5页
为了解决传统干涉绝对测量法不能测量前后表面平行度很好的光学玻璃和晶体均匀性问题,提出了在以短相干光为光源的泰曼-格林干涉仪上,通过调整参考光路的光程,使被测样品的前后表面分别处在零光程差位置,这样从样品两面反射回来的光就... 为了解决传统干涉绝对测量法不能测量前后表面平行度很好的光学玻璃和晶体均匀性问题,提出了在以短相干光为光源的泰曼-格林干涉仪上,通过调整参考光路的光程,使被测样品的前后表面分别处在零光程差位置,这样从样品两面反射回来的光就不会同时满足和参考光相干涉的条件,从而解决了前后面的反射光干涉混叠问题.用虚光栅移相莫尔条纹法处理采集到的干涉图,得到位相数据,代入绝对测量法的计算公式,得出待测样品的折射率分布.对厚度为13mm、口径为75mm的光学平板玻璃进行测量.结果表明,光学均匀性检测准确度可达到2.6×10-6,被测样品折射率偏差的峰谷值为Δnpv=6.06×10-6,均方根值为Δnrms=8.96×10-7. 展开更多
关键词 光学精密测量 光学均匀性 短相干光 虚光栅移相莫尔条纹法
下载PDF
移相器微位移旋转误差的分析及测试 被引量：1
3
作者 武旭华 陈磊 颜加军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期919-923,共5页
以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象,引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法,设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究,对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析,并给出测试结果·用... 以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象,引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法,设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究,对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析,并给出测试结果·用虚光栅移相叠栅条纹法处理实验中加有载频的干涉图时,不需要使用任何移相器件,可以进行动态位相的检测,整个移相过程用计算机进行控制,避免了引入额外的移相误差· 展开更多
关键词 移相干涉术 虚光栅叠栅条纹法 PZT移相器
下载PDF
DMD芯片在光栅投影三维轮廓测量技术中的应用 被引量：3
4
作者 陈坦 赖建军 赵悦 《红外》 CAS 2006年第9期24-28,共5页
光栅投影成像法经常用于物体的非接触形状测量和形变测量。通过莫尔相移法,可以实时获得物体表面的等高轮廓线。但是在测量高速运动物体三维轮廓图像时误差较大,因为相移法需要拍摄几张经过相移后的变形光栅。在加入了DMD芯片后,可以在... 光栅投影成像法经常用于物体的非接触形状测量和形变测量。通过莫尔相移法,可以实时获得物体表面的等高轮廓线。但是在测量高速运动物体三维轮廓图像时误差较大,因为相移法需要拍摄几张经过相移后的变形光栅。在加入了DMD芯片后,可以在CCD的一帧图像时间内完成所有的相移后变形光栅的图像拍摄,有效地降低了高速运动物体三维轮廓成像的误差。 展开更多
关键词 光栅投影成像 莫尔相移法 数字微镜器件 三维物体成像
下载PDF
基于单幅干涉图的溶液浓度变化量测量 被引量：1
5
作者 吉欣文 王军 +3 位作者 袁梦 钱心宇 陆佳蕾 吴泉英 《激光杂志》 北大核心 2020年第3期78-81,共4页
溶液浓度变化量的测量在材料、生物医学等领域具有重要的研究意义。为快速、非接触地测量溶液浓度的变化量,在马赫曾德干涉仪基础上构建测量光路,采用虚光栅莫尔条纹法处理含有浓度变化信息的单幅干涉图,借助对干涉图中溶液区域外部干... 溶液浓度变化量的测量在材料、生物医学等领域具有重要的研究意义。为快速、非接触地测量溶液浓度的变化量,在马赫曾德干涉仪基础上构建测量光路,采用虚光栅莫尔条纹法处理含有浓度变化信息的单幅干涉图,借助对干涉图中溶液区域外部干涉条纹的分析,解决了常规虚光栅莫尔条纹法难以处理条纹密度分布不均匀的干涉图的问题。实验定量测得了NaCl溶液浓度变化量的分布情况。 展开更多
关键词 浓度 马赫曾德干涉仪 虚光栅莫尔条纹法 载频
原文传递
用虚光栅移相莫尔条纹法测量小球面曲率半径 被引量：1
6
作者 李啸 尼川 +1 位作者 王良鹏 徐永祥 《光学仪器》 2011年第3期5-10,共6页
随着近代光学、光通信等领域的迅猛发展,光学元器件的微小化已成为一个重要的发展趋势。球面是微小光学元件常见的一种面形。研究了一种基于虚光栅移相莫尔条纹术测量小球面曲率半径的方法。实验以Askania环形球径仪配备的曲率半径为17.... 随着近代光学、光通信等领域的迅猛发展,光学元器件的微小化已成为一个重要的发展趋势。球面是微小光学元件常见的一种面形。研究了一种基于虚光栅移相莫尔条纹术测量小球面曲率半径的方法。实验以Askania环形球径仪配备的曲率半径为17.92mm的标准凸球面样板为例,利用干涉显微镜拍摄了一幅含有载频的被测球面非接触干涉图,通过运用4幅虚光栅、图像相乘、频域滤波和四步移相等算法得到了被测球面的曲率半径。测量均值为R=17.97mm。实验结果表明:用虚光栅移相莫尔条纹法测量小球面曲率半径是完全可行的。 展开更多
关键词 虚光栅 移相干涉术 莫尔条纹 空间载频干涉术 曲率半径 图像处理
下载PDF
基于叠栅条纹投影成像的差动式光栅位移测量系统
7
作者 姚云飞 高旭 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第14期135-143,共9页
为突破传统光栅位移测量系统依赖四裂相正弦波光电信号测量的局限,提出了一种基于叠栅条纹投影成像的差动式光栅位移测量方法。根据光栅偏振光干涉原理,利用图像处理方法和叠栅条纹的位移放大特性,规避了当前光栅的加工水平对高精度位... 为突破传统光栅位移测量系统依赖四裂相正弦波光电信号测量的局限,提出了一种基于叠栅条纹投影成像的差动式光栅位移测量方法。根据光栅偏振光干涉原理,利用图像处理方法和叠栅条纹的位移放大特性,规避了当前光栅的加工水平对高精度位移测量的限制,设计了叠栅条纹投影成像的高分辨率单光栅位移光学感知系统,实现了4倍光学细分位移信号的获取,并利用CMOS图像探测器完成了位移信号的图像式转换。推导了图像式位移感知信号的数学模型,从叠栅成像的光学机理出发,对光栅这一核心元件的刻划误差、平整度误差、装调误差等进行了具体的解算,并对系统进行了仿真模拟和设计性能的分析,进一步阐述了系统动态工作的最大允许速度与帧率之间的关系,在0.048 mm/s的最大允许速度下,该系统的基础分辨率可达2.075μm,细分后分辨率可达纳米/亚纳米量级。 展开更多
关键词 物理光学 光栅位移测量系统 叠栅条纹投影成像 相移
原文传递
利用空域滤波虚光栅叠栅法提取干涉图波面 被引量：4
8
作者 王军 陈磊 吴泉英 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期212-216,共5页
虚光栅叠栅条纹法是一种利用单幅干涉图提取波面信息的方法,为了解决叠栅条纹的滤波问题,提出了一种基于高斯函数的空域滤波法。利用高斯函数在空域中对叠栅条纹图进行模糊处理,滤除不需要的高频分量,仅保留包含波面相位信息的低频分量... 虚光栅叠栅条纹法是一种利用单幅干涉图提取波面信息的方法,为了解决叠栅条纹的滤波问题,提出了一种基于高斯函数的空域滤波法。利用高斯函数在空域中对叠栅条纹图进行模糊处理,滤除不需要的高频分量,仅保留包含波面相位信息的低频分量。重点研究了高斯函数滤波窗口的选择和干涉图的载频之间的对应关系。该方法具有计算量小、易于选取滤波窗口的优点。对一光学平面的面形测量结果表明,利用空域滤波虚光栅叠栅法提取的波面[峰谷(PV)值为0.080λ,均方根(RMS)值为0.020λ,λ=632.8nm]与利用Zygo GPI干涉仪的四步移相法得到的波面(PV值为0.079λ,RMS值为0.017λ)相吻合。 展开更多
关键词 测量 干涉测量 虚光栅叠栅条纹法 波面 空间滤波
原文传递
一种适合低信噪比投影栅的时空二维相移算法 被引量：2
9
作者 周灿林 刘业鹏 +2 位作者 司书春 刘同川 杨允鑫 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期1389-1394,共6页
提出了一种适合低信噪比投影栅的时空二维相移算法。首先设计四步相移正弦光栅条纹图,由DLP投影仪投影到待测物体表面,再由CCD相机采集受物体形貌调制的变形条纹图;然后对其中一幅变形条纹图进行傅里叶变换以确定抽样间隔,再对4幅相移... 提出了一种适合低信噪比投影栅的时空二维相移算法。首先设计四步相移正弦光栅条纹图,由DLP投影仪投影到待测物体表面,再由CCD相机采集受物体形貌调制的变形条纹图;然后对其中一幅变形条纹图进行傅里叶变换以确定抽样间隔,再对4幅相移条纹图用相移法求得条纹背景和调制幅度后,对每幅变形条纹图做归一化处理;对每幅相移条纹图在空间域进行下采样抽样和灰度插值,构建相移莫尔条纹图,得到多帧时空域相移条纹图;对多帧时空域相移条纹图按时空二维相移法处理求得莫尔相位,再将莫尔相位与抽样点相位叠加求和得到变形条纹图对应的相位数据;最后,以面膜作为样品进行了实验测量,结果表明,经典四步相移法重构的物体形貌出现明显失真,而本文方法能较好恢复物体的三维形貌。 展开更多
关键词 抽样云纹法 相位测量轮廓术(PMP) 四步相移法 莫尔条纹 相位去包裹 插值
原文传递
基于短相干光干涉的平行平板型光学元件面形测量
10
作者 王军 陈磊 +1 位作者 吴泉英 臧涛成 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2012年第12期138-143,共6页
为了解决使用激光干涉仪测量平行平板光学元件面形时会产生干扰条纹的问题,提出了一种利用短相干光干涉测量平行平板光学元件面形的方法。在泰曼-格林干涉仪中使用钠光为光源,由于钠光为短相干光源,当参考面与被测平板前表面光程匹配时... 为了解决使用激光干涉仪测量平行平板光学元件面形时会产生干扰条纹的问题,提出了一种利用短相干光干涉测量平行平板光学元件面形的方法。在泰曼-格林干涉仪中使用钠光为光源,由于钠光为短相干光源,当参考面与被测平板前表面光程匹配时,平行平板后表面的反射光无法与参考光和测试光干涉,从而避免了干扰条纹的产生。测量时采集到的为单幅干涉图,使用虚光栅移相叠栅条纹法从中提取波面数据,即可得到平行平板光学元件的面形数据。实验测量了一平行平板光学元件的面形,其面形数据与使用Zygo干涉仪测得的结果吻合。 展开更多
关键词 测量 平行平板 短相干光 虚光栅相移叠栅条纹法
原文传递
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部