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题名半导体光刻过程中的图像处理技术与算法
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作者
王世恩
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机构
上海御微半导体技术有限公司
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出处
《科学与信息化》
2025年第4期79-81,共3页
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文摘
本文以半导体光刻为研究对象,重点探讨了图像处理技术与算法在实现纳米级特征图案化中的关键作用。针对小特征尺寸、高图案密度及工艺变异性等挑战,研究了亚分辨率辅助特征(SRAF)优化、反向光刻技术(ILT)以及人工智能等内容。通过引入模型校正、缺陷检测与实时优化技术,验证了这些算法在提高光刻精度、效率和稳定性方面的显著效果。研究结果表明,先进的图像处理技术和算法为半导体光刻工艺的持续创新提供了有力支持。
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关键词
半导体光刻
图像处理
模式识别
处理技术
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Keywords
Semiconductor Lithography
Image Processing
Pattern Recognition
Processing Techniques
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分类号
TP3
[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]
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题名晶圆表面缺陷自动检测系统设计与实现
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作者
王世恩
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机构
上海御微半导体技术有限公司
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出处
《微型计算机》
2025年第1期145-147,共3页
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文摘
生产半导体产品时,其晶圆加工过程中,会因各方面因素的影响,在晶圆表面产生缺陷,这些缺陷对电路板的质量产生了一定的影响。所以,为规避这种影响,需要在封装电路板之前对缺陷进行检测,排除存在晶圆缺陷的部件。应用相关的设备检测晶圆表面的缺陷,能够保证检测工作的准确率,但由于技术方面的封锁,目前,国内多数企业只能通过人工检测方式进行检测。为此,本文以具体的晶圆表面缺陷检测设备研发项目为例,对该自动检测系统设计技术进行了论述,阐明了晶圆表面缺陷自动光学检测方案,以供参考。
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关键词
晶圆表面缺陷
集成电路
自动检测系统
检测质量
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分类号
TP3
[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]
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